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椭偏光法测量薄膜的厚度和折射率引言实验目的实验原理实验仪器实验内容注意事项实验数据1. 氦氖激光器：波长632,8nm；2. 硅衬底：折射率3.85，消光系数-0.02；3. 样品测量入射角60薄膜折射率薄膜厚度/nm厚度周期/nm快速法1.472162.00265.82作图法1.470162查表法1.472162.00入射角65薄膜折射率薄膜厚度/nm厚度周期/nm快速法1.467162.90274.28作图法1.465163查表法1.467162.90入射角70薄膜折射率薄膜厚度/nm厚度周期/nm快速法1.466163.10281.19作图法1.464163查表法1.466163.10思考题1. 椭偏参数和的物理含义是什么？消光时，它们与起、检偏器方位角P，A之间有什么样的表达式？答：tan 表征了p波和s波经薄膜系统反射后的相对振幅变化，表征其相位差p-s的变化。消光时，=A=180-p-si 当A0-p-si 当A02. 试分析本实验测量中系统误差的来源。答：薄膜表面不干净会给实验带来系统误差，另外光路调节得不好也会给实验带来一定的系统误差。参考
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