流量计简介R3.doc

流量计Flowmeter概述流量计英文名称是Flowmeter，全国科学技术名词审定委员会把它定义为：指示被测流量和（或）在选定的时间间隔内流体总量的仪表。简单来说就是用于测量管道或明渠中流体流量的一种仪表，工程上常用单位m3/h，它可分为瞬时流量（Flow Rate）和累计流量（Total Flow），瞬时流量即单位时间内过封闭管道或明渠有效截面的量，流过的物质可以是气体、液体、固体；累计流量即为在某一段时间间隔内（一天、一周、一月、一年）流体流过封闭管道或明渠有效截面的累计量。通过瞬时流量对时间积分亦可求得累计流量，所以瞬时流量计和累计流量计之间也是可以相互转化的。中国船级社（CCS）要求参照海上移动平台入级规范第1篇 第3章 附录1 平台入级产品持证要求一览表：5.3：级管系以及除5.1以外的阀和附件证件类型：制造厂证明（级管系应提供工厂认可证书，除5.1以外的阀和附件应提供型式认可证书）认可模式：型式认可B（可选项：型式认可A）常见流量计流量测量方法和仪表的种类繁多，分类方法也很多。至今为止，可供工业用的流量仪表种类达60种之多。品种如此之多的原因就在于至今还没找到一种对任何流体、任何量程、任何流动状态以及任何使用条件都适用的流量仪表。这60多种流量仪表，每种产品都有它特定的适用性，也都有它的局限性。按测量对象划分就有封闭管道和明渠两大类；按测量目的又可分为总量测量和流量测量，其仪表分别称作总量表和流量计。此外，按测量原理可分为如下几个大类：1力学原理：属于此类原理的仪表有利用伯努利定理的差压式、转子式；利用动量定理的冲量式、可动管式；利用牛顿第二定律的直接质量式；利用流体动量原理的靶式；利用角动量定理的涡轮式；利用流体振荡原理的旋涡式、涡街式；利用总静压力差的皮托管式以及容积式和堰、槽式等等；2电学原理：用于此类原理的仪表有电磁式、差动电容式、电感式、应变电阻式等；3声学原理：利用声学原理进行流量测量的有超声波式、声学式（冲击波式）等；4热学原理：利用热学原理测量流量的有热量式、直接量热式、间接量热式等；5光学原理：激光式、光电式等是属于此类原理的仪表；6原子物理原理：核磁共振式、核辐射式等是属于此类原理的仪表；7其它原理：标记原理（示踪原理、核磁共振原理）、相关原理等；流量计的主要生产商阿西布朗勃法瑞(ABB)，艾默生(Emerson)，恩德斯豪斯(EndressHauser或E H)，科隆(Krohne)，西门子(Siemens)，横河(Yokogawa)，以及通用电气(GeneralElectric)，霍尼韦尔(Honeywell)，英维思(Invensys)和山武(Yamatake)。流量计市场集中度相对较高，前三名厂商艾默生，E H和ABB占整个市场近50%的市场份额。差压流量计（Differential pressure flowmeter）差压式流量计是根据安装于管道中流量检测件产生的差压、已知的流体条件和检测件与管道的几何尺寸来测量流量的仪表。由一次元件(检测件)和二次元件(差压转换和流量显示仪表)组成。通常以检测件形式对差压式流量计分类，如孔板流量计、文丘里流量计、均速管流量计、皮托管原理式-毕托巴流量计等。二次装置为各种机械、电子、机电一体式差压计、差压变送器及流量显示仪表。它已发展为三化（系列化、通用化及标准化）程度很高的、种类规格庞杂的一大类仪表，它既可测量流量参数，也可测量其它参数（如压力、物位、密度等）。差压式流量计的检测件按其作用原理可分为：节流装置、水力阻力式、离心式、动压头式、动压头增益式及射流式几大类。检测件又可按其标准化程度分为二大类：标准的和非标准的。所谓标准检测件是只要按照标准文件（ISO5167或GB2624）设计、制造、安装和使用，无须经实流标定即可确定其流量值和估算测量误差。应用概况：差压式流量计应用范围特别广泛，它在各工业部门的用量约占流量计全部用量的1/41/3，在封闭管道的流量测量中各种对象都有应用。如：流体方面：单相、混相、洁净、脏污、粘性流等；工作状态方面：常压、高压、真空、常温、高温、低温等；管径方面：从几毫米到几米；流动条件方面：亚音速、音速、脉动流等应用特点：1. 常用标准节流装置（孔板）、（喷嘴）、（文丘利管）；2. 孔板常用取压方法有（角接取压）、（法兰取压），其它方法有（理论取压）、（径距取压）和（管接取压）；3. 标准孔板法兰取压法，上下游取压孔中心距孔板前后端面的间距均为（25.40.8）mm，也叫1英寸法兰取压；4. 管道内的流体速度，一般情况下，在（管道中心线）处的流速最大，在（管壁）处的流速等于零；5. 若（雷诺数）相同，流体的运动就是相似的；6. 当充满管道的流体流经节流装置时，流束将在（缩口）处发生（局部收缩），从而使（流速）增加，而（静压力）降低；7. 常用的流量单位、体积流量为（m3/h）、（t/h），质量流量为（kg/h）、（t/h）；8. 节流孔板前的直管段一般要求（10）d，孔板后的直管段一般要求（5）d，为了正确测量，孔板前的直管段最好为（3050）d，特别是孔板前有泵或调节阀时更是如此。9. 为了使孔板流量计的流量系数趋向定值，流体的雷诺数应大于（界限雷诺数）。常见差压式流量计孔板流量计（Orifice meter）：优点：（1）应用最多的孔板式流量计结构牢固，性能稳定可靠，使用寿命长；（2）应用范围广泛，至今尚无任何一类流量计可与之相比拟； （3）检测件与变送器、显示仪表分别由不同厂家生产，便于规模经济生产。缺点：（1）测量的重复性、精度在流量计中属于中等水平，由于众多因素的影响错综复杂精度难以提高；（2）范围度窄，一般范围度仅3:14:1； （3）检测件与压差显示仪表之间引管线为薄弱环节，易产生泄漏、堵塞、冻结及信号失真等故障；（4）现场安装条件要求高；（5）压损大（指孔板、喷嘴等）。参考资讯正式名称： 孔板流量计 应用学科： 化学工程-传递过程与单元操作 英文名称： orifice meter 应用学科： 力学-流体力学 英文名称： orifice meter 应用学科： 石油学-油气收集与储运工程 英文名称： orifice meter 目前主要运作品牌：ROSEMOUNT、DANIEL、SONIC文丘里流量计（Venturi meter）：文丘里流量计是通过量测收缩管段与进口管道之间的压差来推算管道流量的仪器，一般用于测量封闭管道中单相稳定流体的流量，常用于测量空气、天然气、煤气、水等流体的流量。原理：其基本测量原理是以能量守恒定律伯努力方程和流动连续性方程为基础的流量测量方法。内文丘里管由一圆形测量管和置入测量管内并与测量管同轴的特型芯体所构成。特型芯体的径向外表面具有与经典文丘里管内表面相似的几何廓形，并与测量管内表面之间构成一个异径环形过流缝隙。流体流经内文丘里管的节流过程同流体流经经典文丘里管、环形孔板的节流过程基本相似。内文丘里管的这种结构特点，使之在使用过程中不存在类似孔板节流件的锐缘磨蚀与积污问题，并能对节流前管内流体速度分布梯度及可能存在的各种非轴对称速度分布进行有效的流动调整（整流），从而实现了高精确度与高稳定性的流量测量。分类：1. 经典文丘里管：应用于各种介质的流量测量，具有永久压力损失小、要求的前后直管段长段短、寿命长等特点。2. 套管式文丘里管：主要应用于石化行业各种大口径并且高压或者危险介质的流量测量和控制。3. 文丘里喷嘴：适用于各种介质的测量场合，具有永久压力损失小、要求的前后直管段长段短、寿命长等特点，本体安装长度比经典文丘里管短。适用范围：1. 公称直径： 50mmDN1200mm ,超过1200mm需标定粗铸收缩段：100mmDN800mm机械加工收缩段：50mmDN250mm粗焊铁板收缩段：200mmDN1200mm2. 节流孔径比：0.30.75粗铸收缩段：0.30.75机械加工收缩段：0.40.75粗焊铁板收缩段：0.40.73. 雷诺数范围： 2105ReD2106粗铸收缩段：2105ReD2106机械加工收缩段：2105ReD106粗焊铁板收缩段：2105ReD21064. 精度等级：1级优缺点：优点：如果能完全按照ASME标准精确制造，测量精度也可以达到 0.5%，但是国产文丘里由于其制造技术问题，精度很难保证，国内老资格的技术力量雄厚的开封仪表厂也只能保证4% 测量精度，对于超超临界发电的工况，这种喉管处的均压环在高温高压下使用是一个很危险的环节，不采用均压环，就不符合ASNE ISO5167标准，测量精度就无法保证，这是高压经典式文丘里制造中的一个矛盾。缺点：喉管和进口/出口一样材质，流体对喉管的冲刷和磨损严重，无法保证长期测量精度。结构长度必须按ISO-5167规定制造，否则就达不到所需精度，由于ISO-5167对经典文丘里的严格结构规定，使得它的流量测量范围最大/最小流量比很小，一般在 3 5 之间，很难满足流量变化幅度大的流量测量。均速管流量计（Annubar flowmeter）：均速管流量计（又称笛形均速管流量计、阿牛巴流量计、托巴管流量计）是采用皮托管测量原理测量挡体上游的动压力与下游的静压力之间形成的压差，从而达到测量流量的目的。测量管道直径在DN20到DN12000之间。均速管流量计主要用于工业过程中各种能源如液体、燃料气、蒸气和气体的测量，具有较高的稳定性和重复性。用途及特点：安装简便、压损小、强度高、不受磨损影响、无泄漏等特点而成为替代孔板的理想产品。可广泛用于工矿企业的高炉煤气、压缩空气、蒸汽和其他液体、气体的流量测量。工作原理：当流体流过探头时，在其前部产生一个高压分布区，高压分布区的压力略高于管道的静压。根据伯努利方程原理，流体流过探头时速度加快，在探头后部产生一个低压分布区，低压分布区的压力略低于管道的静压。流体从探头流过后在探头后部产生部分真空，并在探头的两侧出现旋涡。均速流量探头的截面形状、表面粗糙状况和低压取压孔的位置是决定探头性能的关键因素。低压信号的稳定和准确对均速探头的精度和性能起决定性作用。流量探头能精确地检测到由流体的平均速度所产生的平均差压。流量探头在高、低压区有按一定准则排布的多对取压孔，使准确测平均流速成为可能。浮子流量计（Float flowmeter）浮子流量计，又称转子流量计，是变面积式流量计的一种。在一根由下向上扩大的垂直锥管中，圆形横截面的浮子的重力是由液体动力承受的，从而使浮子可以在锥管内自由地上升和下降。浮子流量计是仅次于差压式流量计应用范围最宽广的一类流量计，特别在小、微流量方面有举足轻重的作用。特点：（1） 玻璃锥管浮子流量计结构简单，使用方便，缺点是耐压力低，有玻璃管易碎的较大风险；（2） 适用于小管径和低流速； （3） 压力损失较低。目前主要运作品牌：KROHNE、ABB、HEINRICHS参考资讯正式名称： 浮子流量计 应用学科： 自动化-控制技术 英文名称： float flowmeter 又称： 转子流量计(rotameter) 质量流量计（Mass flowmeter）简单介绍质量流量计泛指可以直接测出质量流量读数的流量计，专指利用科里奥利原理的流量计。质量流量密度流速流通面积（M=A ），当式中的密度由流量计自行检测获得时，这种流量计就可以称为质量流量计。质量流量计可分为直接式和间接式两种：直接式的工作原理往往和介质的质量（密度）相关，即直接测出与成比例的信号。目前运用较多的直接式质量流量计有：利用科里奥利原理的质量流量计和利用流体与固体的热能交换原理的热式流量计。前者只能用于液体介质测量，后者多用于气体介质测量。间接式则是在测流速的同时测量介质密度，或者测量介质的温度、压力并通过计算获得介质密度，并由密度、流速和流通面积推导出质量流量。需要特别指出的是：由于测量过程中，介质密度值获得和计算时，会存在时间不同步，或者运算的非连续性，得到的质量流量只是一段时间的平均值，往往不适用于瞬时流量。所以不是所有以此原理工作的流量计或流量测量系统都可以称质量流量计。目前主要运作品牌：KROHNE、E+H、ABB科里奥利流量计（Coriolis Mass flowmeter- CMF）：在一个转动中的轮盘中，当一个质点从圆心沿着半径向边沿运动时，会产生一个导致圆盘转速下降的力。反之则会产生一个导致圆盘转速上升降的力。这个力的大小和质点的质量以及运动速度有直接关系。最早系统研究这类现象的人叫科里奥利，这个力也被称为科氏力。将上述现象中的质点运动及轨迹换成管道及其中流动的介质，将上述现象中的转动限制在很小范围内的来回转动。则根据科里奥利原理可知，当沿管道由圆心向外流动时，会产生一个使来回转动频率下降的力。当沿管道向圆心流动时，会产生一个使来回转动频率上升的力。这个力的大小和介质的密度以及流速大小有直接关系。制作一个使介质向先下流动，然后再向上使流动的管道，施加一个使管道下方来回震动的，具有固定频率的力，使管道下降段和上升段做来回圆周运动。当管道中介质流动时，由于科氏力的作用，管道下降段和上升段的震动频率与推动管道震动的频率会产生一个相位差。这个相位差与介质的密度、流速、以及管道形状(流通面积)成一定的比例关系，检出这个相位差，可以直接得到质量流量。根据这个原理工作的流量计，目前都称为质量流量计。靶式流量计（Target flowmeter）靶式流量计是基于力学原理的一种流量计，它在工业上的开发应用已有数十年的历史。中国于20世纪70年代开发电动、气动靶式流量变送器它是电动、气动单元组合仪表的检测仪表。由于当时力转换器直接采用差压变送器的力平衡机构，这种流量计使用时不免带来力平衡机构本身所造成的诸多缺陷，如零位易漂移，测量精确度低，杠杆机构可靠性差等。由于力平衡机构性能不佳的拖累，靶式流量计本身的许多优点亦未能得到有效的发挥，至今用户对旧靶式流量计的不良印象仍未消除。新型靶式流量计的力转换器采用应变式力转换器，它完全消除了上述力平衡机构的缺点，新型靶式流量计还把微电子技术和计算机技术应用到信号转换器和显示部分，流量计具有一系列优点，相信今后在众多流量计中发挥重要的作用。原理：当介质在测量管中流动时，因其自身的动能与靶板产生压力，进而产生对靶板的作用力，使靶板产生微量的位移，其作用力的大小与介质流速的平方成正比。目前主要运作品牌：WELKIN、PROTEC、HERS主要特点1. 感测件为无可动部件，结构简单牢固；2. 应用范围和适应性很广泛，一般工业过程中的流体介质，包括液、气和蒸汽，口径范围（DN15以上），各种工作状态（高、低温，常压、高压）皆可应用，可以说其应用范围可与孔板流量计相比美；3. 准确度高，总量测量可达0.2%R；4. 范围度宽，4:115:1至30:1；5. 可解决困难的流量测量问题，如测量含有杂质（微粒）之类的脏污流体；原油、污水、高温渣油、浆液、烧碱液，沥青等；6. 灵敏度高，能测量微小流量，流速可低至0.08m/s；7. 用于小口径（DN15DN50），低雷诺数（Red=1035103）的流体，它可以弥补标准节流装置难以应用的场合，如小口径蒸汽流量测量等；8. 可适应高参数流体的测量，压力高达数十MPa，温度达450；9. 可用于双向流动流体的测量；10. 压力损失较低，约为标准孔板的一半；11. 抗上游阻流件干扰能力强，上游侧直管段长度一般510D即可；12. 可采取干式（挂重法）校验，给用户周期校验带来方便；13. 直读式仪表无需外能源，清晰明了，操作简便，亦可输出标准信号（脉冲频率或电流信号）；14. 仪表性能价格比高，为经济实惠的流量计；15. 安装简单方便，易维护。选型要点1精度等级精度等级和功能根据测量要求和使用场合选择仪表精度等级，做到经济合算。比如用于贸易结算、产品交接和能源计量的场合，应该选择精度等级高些，如1.0级、0.5级，或者更高等级；用于过程控制的场合，根据控制要求选择不同精度等级；有些仅仅是检测一下过程流量，无需做精确控制和计量的场合，可以选择精度等级稍低的，如1.5级、2.5级，甚至4.0级，这时可以选用价格低廉的插入式靶式流量计。2测量介质测量一般的介质时，靶式流量计的满度流量可以在测量介质流速0.512m/s范围内选用，范围比较宽。选择仪表规格(口径)不一定与工艺管道相同，应视测量流量范围是否在流速范围内确定，即当管道流速偏低，不能满足流量仪表要求时或者在此流速下测量准确度不能保证时，需要缩小仪表口径，从而提高管内流速，得到满意测量结果。涡轮流量计（Turbine flowmeter）涡轮流量计，是速度式流量计中的主要种类，它采用多叶片的转子（涡轮）感受流体平均流速，从而推导出流量或总量的仪表。一般它由传感器和显示仪两部分组成，也可做成整体式。涡轮流量计和容积式流量计、科里奥利质量流量计称为流量计中三类重复性、精度最佳的产品，作为十大类型流量计之一，其产品已发展为多品种、多系列批量生产的规模。目前主要运作品牌：CAMERON、DANIEL、SPONSLER参考资讯正式名称： 涡轮流量计 应用学科： 石油学-油气收集与储运工程 英文名称： turbine meter 应用学科： 自动化-控制技术 英文名称： turbine flowmeter 优点：（1）高精度，在所有流量计中，属于最精确的流量计；（2）重复性好； （3）元零点漂移，抗干扰能力好；（4）范围度宽； （5）结构紧凑。缺点：（1）不能长期保持校准特性；（2）流体物性对流量特性有较大影响。应用概况：涡轮流量计在以下一些测量对象获得广泛应用：石油、有机液体、无机液、液化气、天然气和低温流体。在欧洲和美国，涡轮流量计在用量上是仅次于孔板流量计的天然计量仪表，仅荷兰在天然气管线上就采用了2600多台各种尺寸，压力从0.86.5MPa的气体涡轮流量计，它们已成为优良的天然气计量仪表涡街流量计（Vortex shedding Flowmeter）涡街流量计是在流体中安放一根非流线型游涡发生体，流体在发生体两侧交替地分离释放出两串规则地交错排列的游涡的仪表。涡街流量计按频率检出方式可分为：应力式、应变式、电容式、热敏式、振动体式、光电式及超声式等。涡街流量计是属于最年轻的一类流量计，但其发展迅速，目前已成为通用的一类流量计。涡街流量计安装点的上游较近处若装有阀门，不断地开关阀门，对流量计的使用寿命影响极大，非常容易对流量计造成永久性损坏。流量计尽量避免在架空的非常长的管道上安装，这样时间一长后，由于流量计的下垂非常容易造成流量计于法兰的密封泄露，若不得已安装时，必须在流量计的上下游2D处分别设置管道紧固装置。参考资讯正式名称： 涡街流量计 应用学科： 自动化-控制技术 英文名称： vortex shedding flowmeter 目前主要运作品牌：E+H、ROSEMOUNT优点：（1）结构简单牢固；（2）适用流体种类多；（3）精度较高； （4）范围度宽；（5）压损小。缺点：（1）不适用于低雷诺数测量； （2）需较长直管段； （3）仪表系数较低（与涡轮流量计相比）； （4）仪表在脉动流、多相流中尚缺乏应用经验。电磁流量计（Electromagnetic flowmeter）电磁流量计是根据法拉弟电磁感应定律制成的一种测量导电性液体的仪表。电磁流量计有一系列优良特性，可以解决其它流量计不易应用的问题，如脏污流、腐蚀流的测量。70、80年代电磁流量在技术上有重大突破，使它成为应用广泛的一类流量计，在流量仪表中其使用量百分数不断上升。优点：（1） 测量通道是段光滑直管，不会阻塞，适用于测量含固体颗粒的液固二相流体，如纸浆、泥浆、污水等；（2） 不产生流量检测所造成的压力损失，节能效果好：（3） 所测得体积流量实际上不受流体密度、粘度、温度、压力和电导率变化的明显影响：（4） 流量范围大，口径范围宽：（5） 可应用腐蚀性流体。缺点：（1） 不能测量电导率很低的液体，如石油制品； （2） 不能测量气体、蒸汽和含有较大气泡的液体；（3） 不能用于较高温度。参考资讯正式名称： 电磁流量计 应用学科： 医学-胸心血管外科学 英文名称： Electromagnetic flowmeter 应用学科： 自动化-控制技术 英文名称： Electromagnetic flowmeter 目前主要运作品牌：KROHNE、E+H、ABB应用概况：电磁流量计应用领域广泛，大口径仪表较多应用于给排水工程；中小口径常用于高要求或难测场合，如钢铁工业高炉风口冷却水控制，造纸工业测量纸浆液和黑液，化学工业的强腐蚀液，有色冶金工业的矿浆；小口径、微小口径常用于医药工业、食品工业、生物化学等有卫生要求的场所。超声波流量计超声波流量计采用时差式测量原理：一个探头发射信号穿过管壁、介质、另一侧管壁后，被另一个探头接收到，同时，第二个探头同样发射信号被第一个探头接收到，由于受到介质流速的影响，二者存在时间差t，根据推算可以得出流速V和时间差t之间的换算关系V=(C2/2L)t，进而可以得到流量值Q。超声波流量计由超声波换能器、电子线路及流量显示和累积系统三部分组成。超声波在流动的流体中传播时就载上流体流速的信息。超声测量仪表的流量测量准确度几乎不受被测流体温度、压力、粘度、密度等参数的影响，又可制成非接触及便携式测量仪表。目前主要运作品牌：KROHNE、SICK、GE优点：（1） 可做非接触式测量；（2） 为无流动阻挠测量，无压力损失；（3） 可测量非导电性液体，对无阻挠测量的电磁流量计是一种补充。缺点：（1） 传播时间法只能用于清洁液体和气体；而多普勒法只能用于测量含有一定量悬浮颗粒和气泡的液体；（2） 多普勒法测量精度不高。应用概况：（1） 传播时间法应用于清洁、单相液体和气体。典型应用有工厂排放液、：怪液、液化天然气等；（2） 气体应用方面在高压天然气领域已有使用良好的经验； （3） 多普勒法适用于异相含量不太高的双相流体，例如：未处理污水、工厂排放液、脏流程液；通常不适用于非常清洁的液体。容积式流量计（Displacement meter）容积式流量计，又称定排量流量计，简称PD流量计，在流量仪表中是精度最高的一类。它利用机械测量元件把流体连续不断地分割成单个已知的体积部分，根据测量室逐次重复地充满和排放该体积部分流体的次数来测量流体体积总量。 容积式流量测量是采用固定的小容积来反复计量通过流量计的流体体积，所以在容积式流量计内部必须具有构成一个标准体积的空间，通常称其为容积式流量计的“计量空间”或“计量室”。这个空间由仪表壳的内壁和流量计转动部件一起构成；容积式流量计的工作原理为：流体通过流量计，就会在流量计进出口之间产生一定的压力差；流量计的转动部件（简称转子）在这个压力差作用下特产生旋转，并将流体由入口排向出口；在这个过程中，流体一次次地充满流量计的“计量空间”，然后又不断地被送往出口。在给定流量计条件下，该计量空间的体积是确定的，只要测得转子的转动次数，就可以得到通过流量计的流体体积的累积值。 容积式流量计按其测量元件分类，可分为：椭圆齿轮流量计、刮板流量计、 双转子流量计、旋转活塞流量计、往复活塞流量计、圆盘流量计、液封转筒式流量计、湿式气量计及膜式气量计等。参考资讯正式名称： 容积式流量计 应用学科： 石油学-油气收集与储运工程 英文名称： Displacement meter 目前主要运作品牌：BROIDE / BanksiaControls、OVAL、SMITH优点（1） 计量精度高； （2） 安装管道条件对计量精度没有影响； （3） 可用于高粘度液体的测量； （4） 范围度宽； （5） 直读式仪表无需外部能源可直接获得累计，总量，清晰明了，操作简便缺点（1） 结果复杂，体积庞大； （2） 被测介质种类、口径、介质工作状态局限性较大； （3） 不适用于高、低温场合； （4） 大部分仪表只适用于洁净单相流体； （5） 产生噪声及振动。热式流量计（Mass Flow Meter）热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比。 热式气体质量流量计即Mass Flow Meter（缩写为MFM），它是气体流量计量中新型仪表，区别于其它气体流量计不需要进行压力和温度修正，直接测量气体的质量流量，一支传感器可以做到量程从极低到高量程。它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。热式气体质量流量