全自动硅片装片机.doc

无锡双川科技有限公司 全自动硅片装片机使用说明书 GZP-2A全自动硅片装片机使用说明书无锡双川科技有限公司1. 概述11 主要用途和适用范围 将方形硅片放入25片篮具内以供下一工序使用。12 产品特点 ZPJ-2X全自动硅片装片机主要由设备本体、篮具升降系统、上料为升降系统、上料位、皮带传送机构、控制面板、硅片分取系统构成。 本产品型号组成：“ZPJ”代表装片机，2X代表2个工位2个吸盘。执行标准Q/AH318-1998产品型号的命名。13 品种 全自动装片机，ZPJ-2X。14 使用环境条件 1）环境温度：1535摄氏度。 2）相对湿度：60%，无凝露。 3）周围环境：无腐蚀性气体。15 工作条件 产品工作电源为单相三线制电源，并有压缩空气源。16 对环境及能源的影响 本产品对环境及能源无污染。17 本产品所执行的标准编号 GB191-1990 包装储运图示标志 GB4793.1-1995 测量控制和实验室用电气设备的安全要求 Q/AH 117-2002 产品标牌 Q/AH 318-1998 产品型号的命名2结构特征及工艺流程21 结构特征ZPJ-2X全自动硅片装片机主要由设备本体、篮具升降系统、上料升降系统、上料位、皮带传送机构、控制面板、硅片分取系统构成。1） 设备本体：结构稳定，机身喷塑处理。2） 篮具升降系统：利用步进系统进行精确定位3） 上料升降系统：利用步进系统进行精确定位4） 上料位：可进行适当调节5） 皮带传送机构：传送带选取对硅片无损伤和无污染的材料，采用导向机构，确保硅片顺利准确的进入篮具。6） 控制面板：采用26万色真彩显控触摸屏7） 硅片分取系统：气嘴分别位于硅片两侧，在吸盘真空开始后略微下降上料台，提供足够空间让粘连硅片分开。吸头采用的是PEEK材质，不会损伤硅片表面。22 工艺流程 工艺流程示意图（图） 图11)将硅片放置与上料位；2)步进电机带动硅片向上移动到指定位置；3）凸轮电机执行器带动吸盘运动到吸片位置；4）吹气分离装置开始工作；5）吸盘吸取硅片，并轮流把硅片放置于两侧的传送带上；6）传送带开始工作，把硅片送入到篮具中。3主要技术参数及功能31 外型尺寸：约930（L）x 830(W) x 1550(H) (mm)32 装片效率：20002400片/小时33 碎片率：1/1000 34 工位数：双工位35 设备兼容156x156mm、125x125mm两种规格的硅片4功率、重量41 功率：500W42 重量：约200Kg5. 运输和安装 51 安装511 安装调试前，应先认真检查设备及其附件，检查是否有破坏或遗漏的部分。512 设备必须水平放置，安装时通过调整地脚螺栓，使设备达到水平。513 连接电源、气源等。514 按照要求对设备进行良好接地。6使用、操作61 使用前的准备与检查611 检查设备妥善安装，并将机器调至水平位置。612 将所有电源开关及电器开关置于“关”位置，检查电源是否合乎要求，机壳接地是否可靠。613 检查供应的氮气、压缩空气压力是否满足要求。 62 设备面板上由一个启动按钮（绿色）、一个停止按钮（红色）、一个急停按钮（红色蘑菇按钮）和触摸屏构成。 621 左边有一个报警蜂鸣器、台面上有左右两个篮具复位按钮。 622 确认设备正常后，打开电源开关，松开急停按钮显示开始画面如下（图2）：如使用完毕可以按下停止按钮（红色），紧急情况下可以按下急停蘑菇按钮，再关闭电源开关。 延时几秒后进入系统手动画面（图3）。 623 手动状态 “手动状态”注释表1旋转停止/启动按下凸轮旋转开始/再按下凸轮旋转停止旋转吹气按下分片吹气/再按下停止吹气片盒上升按下片盒步进上行，松开停止片盒下降按下片盒步进下行，松开停止左带轮启动/停止按下左带轮电机启动/再按下左带轮电机停止右带轮启动/停止按下右带轮电机启动/再按下右带轮电机停止调试红灯开/关按下警示灯红灯亮/再按下红灯暗调试绿灯开/关按下警示灯绿灯亮/再按下绿灯暗吹气按下硅片分离吹气开/再按下硅片分离吹气关吸头A吸/放按下吸头A吸气/再按下吹气吸头B吸/放按下吸头B吸气/再按下吹气左篮上升按下左篮具上升一格左篮复位按下左篮具下降到最底层右篮上升按下右篮具上升一格右篮复位按下右左篮具下降到最底层报警画面点击进入历史报警画面自动画面点击进入自动运行画面参数画面点击进入参数设置画面624 自动状态 “自动状态”画面如下（图4） “自动状态”注释表2左篮复位点击此按钮左篮具下降到最底层右篮复位点击此按钮右篮具下降到最底层自动复位点击此按钮凸轮旋转到准备位计时清零点击清除左侧显示框时间换片画面点击进入更换片盒画面调整画面点击进入手动画面625 换片状态 “换片状态”画面如下（图5） “换片状态”注释表3旋至中位点击此按钮凸轮转动45度，可以方便上料片盒到底点击此按钮片盒下降到最底层片盒上升点击此按钮片盒上升片盒下降点击此按钮片盒下降自动画面点击进入自动画面626 参数设置 “参数设置”画面如下（图6） “参数设置”注释表4累积工作时间显示当前累积的工作时间片盒升降速度片盒上升下降的速度设置片盒下降步数片盒自动分片时要求下降的距离设置花篮升降速度左右篮具上升下降的速度设置花篮上升距离左右篮具上升一格的距离设置吹气延时硅片吹离吹气时间设置分片延时分片吹气时间设置空抓报警次数吸头没抓住硅片空运行报警的次数设置进仓延时上升硅片进入篮具后延时上升时间设置带轮停止延时停止运行时带轮延时停止时间设置左篮清零左篮具计数清零右篮清零右篮具计数清零返回调整返回调整画面7维护保养71 设备应放置在洁净干燥的工作环境下，环境温度1535摄氏度。72 保证设备可靠接地73 定期检查及清洁控制电器元件，以免因此造成的漏电及局部短路，接触不良。74 定期检查控制面板上的各操作按钮，指示灯，如果出现故障，要及时更换。8安全操作规范81 操作人员必须经过我方培训并熟悉操作规程才可以使用本设备。82 本设备应该在通风、安全防范措施及设备齐备的环境下工作。83 设备内部或周围严禁接触和堆放易燃易爆等危险品。84 工作时一定要有专人看守，工作结束后，操作人员必须保证关闭设备电源后方可离开。85 日常维护、检修，需由相关项目专业人员进行不带电作业。86 压缩空气洁净度必须满足要求。9故障处理 下表列出设备使用过程可能出现的故障和处理方法。 表5 故障处理注解故障类型 诠释及处理电源失灵1、 检查是否总电源线接线错误2、 空气开关是否完好3、 检查是否短路、漏电现象步进电机无法运行1 电机是否卡死2 检查驱动器是否报警3 断电重起传送带不动1 交流电机是否完好2 传送带是否卡死吹气失败1 检查气源是否正常2 检查气孔是否堵塞吹气时有污染物吹出1、检查压缩气是否洁净，清理过滤减压阀10故障处理 101 运输 为了防止产品在搬运和运输过程中受损或降低使用性能，对搬运和运输过程做出如下规定： 1） 用铲车或