半导体物理基础知识.ppt

半导体物理基础知识 1 1导体 绝缘体和半导体 物体的导电能力 一般用材料电阻率的大小来衡量 电阻率越大 说明这种材料的导电能力越弱 表1 1给出以电阻率来区分导体 绝缘体和半导体的大致范围 1 2半导体材料硅的晶体结构 1 2 1几种常见元素的原子结构硅太阳电池生产中常用的硅 Si 磷 P 硼 B 元素的原子结构模型如图1 2 1所示 原子最外层的电子称为价电子 有几个价电子就称它为几族元素 若原子失去一个电子 称这个原子为正离子 若原子得到一个电子 则成为一个带负电的负离子 原子变成离子的过程称为电离 1 2半导体材料硅的晶体结构 1 2半导体材料硅的晶体结构 1 2 2晶体结构固体可分为晶体和非晶体两大类 原子无规则排列所组成的物质为非晶体 而晶体则是由原子规则排列所组成的物质 晶体有确定的熔点 而非晶体没有确定熔点 加热时在某一温度范围内逐渐软化 1 2 3单晶和多晶在整个晶体内 原子都是周期性的规则排列 称之为单晶 由许多取向不同的单晶颗粒杂乱地排列在一起的固体称为多晶 1 2半导体材料硅的晶体结构 1 2 4硅晶体内的共价键硅晶体的特点是原子之间靠共有电子对连接在一起 硅原子的4个价电子和它相邻的4个原子组成4对共有电子对 这种共有电子对就称为 共价键 如图1 2 2所示 图1 2 2 1 2半导体材料硅的晶体结构 1 2 5硅晶体的金刚石结构晶体对称的 有规则的排列叫做晶体格子 简称晶格 最小的晶格叫晶胞 图1 2 3表示一些重要的晶胞 1 2半导体材料硅的晶体结构 金刚石结构是一种复式格子 它是两个面心立方晶格沿对角线方向上移1 4互相套构而成 见图1 2 4 为了简便明了 以后分析问题时只要采用图1 2 2所示的平面结构示意图即可 1 2半导体材料硅的晶体结构 1 2 6晶面和晶向晶体中的原子可以看成是分布在一系列平行而等距的平面上 这些平面就称为晶面 每个晶面的垂直方向称为晶向 图1 2 5是几种常用到的晶面和晶向 图1 2 5 1 2半导体材料硅的晶体结构 1 2 7原子密排面和解理面 在晶体的不同面上 原子的疏密程度是不同的 若将原子看成是一些硬的球体 它们在一个平面上最密集的排列方式将如图1 2 6所示 按照这样方式排列的晶面就称为原子密排面 图1 2 6 1 2半导体材料硅的晶体结构 比较简单的一种包含原子密排面的晶格是面心立方晶格 而金刚石晶格又是两个面心立方晶格套在一起 相互之间 沿着晶胞体对角线方向平移1 4而构成的 我们来看面心立方晶格中的原子密排面 按照硬球模型可以区分在 100 110 111 几个晶面上原子排列的情况 如图1 2 7所示 金钢石晶格是由面心晶格构成 所以它的 111 晶面也是原子密排面 它的特点是 在晶面内原子密集 结合力强 在晶面之间距离较大 结合薄弱 由此产生以下性质 a 由于 111 密排面本身结合牢固而相互间结合脆弱 在外力作用下 晶体很容易沿着 111 晶面劈裂 晶体中这种易劈裂的晶面称为晶体的解理面 b 由于 111 密排面结合牢固 化学腐蚀就比较困难和缓慢 而 100 面原子排列密度比 111 面低 所以 100 面比 111 面的腐蚀速度快 选择合适的腐蚀液和腐蚀温度 100 面腐蚀速度比 111 面大的多 因此 用 100 面硅片采用这种各向异性腐蚀的结果 可以使硅片表面产生许多密布表面为 111 面的四面方锥体 形成绒面状的硅表面 1 2半导体材料硅的晶体结构 从图中可见 晶体中电子轨道的能级分成由低到高的许多组 分别和各原子能级相对应 每一组都包含着大量的能量很接近的能级 这样一组密集的能级看上去象一条带子 所以被称之为能带 能带之间的间隙叫做禁带 未被电子填满的能带称为导带 已被电子填满的能带称为满带 导体 半导体 绝缘体导电性质的差异可以用它们的能带图的不同来加以说明 图1 3 3 1 3固体的能带理论 图1 3 3 1 3固体的能带理论 1 4半导体的导电特性 半导体之所以得到广泛的应用 是因为它存在着一些导体和绝缘体所没有的独特性能 1 4 1导电能力随温度灵敏变化导体 绝缘体的电阻率随温度变化很小 导体温度每升高一度 电组率大约升高0 4 而半导体则不一样 温度每升高或降低1度 其电阻就变化百分之几 甚至几十 当温度变化几十度时 电阻变化几十 几万倍 而温度为绝对零度 273 时 则成为绝缘体 1 4 2导电能力随光照显著改变当光线照射到某些半导体上时 它们的导电能力就会变得很强 没有光线时 它的导电能力又会变得很弱 1 4 3杂质的显著影响在纯净的半导体材料中 适当掺入微量杂质 导电能力会有上百万的增加 这是最特殊的独特性能 1 4 4其他特性温差电效应 霍尔效应 发光效应 光伏效应 激光性能等 1 5半导体的纯度 半导体有如此之多的独特性能 是建立在半导体材料本身纯度很高的基础上的 半导体的纯度常用几个 9 来表示 比如硅材料的纯度达到6个 9 就是说硅的纯度达到99 9999 其余0 0001 即10 6 为杂质总含量 半导体材料中的杂质含量 通常还以 PPb 与 PPm 来表示 一个PPb就是十亿分之一 10 9 一个 PPm 就是百万分之一 10 6 几种纯度表示法的相互关系如表1 2所列 表1 2 1 6半导体的导电原理 1 6 1半导体中的 电子 和 空穴 本征半导体纯净的半导体 在不受外界作用时 导电能力很差 而在一定的温度或光照等作用下 晶体中的价电子有一部分可能会冲破共价键的束缚而成为一个自由电子 同时形成一个电子空位 称之为 空穴 从能带图上看 就是电子离开了价带跃迁到导带 从而在价带中留下了空穴 产生了一对电子和空穴 如图1 6 1所示 通常将这种只含有 电子空穴对 的半导体称为本征半导体 本征 指只涉及半导体本身的特性 半导体就是靠着电子和空穴的移动来导电的 因此 电子和空穴被统称为载流子 1 6半导体的导电原理 图1 6 1 1 6半导体的导电原理 1 6 2产生和复合由于热或光激发而成对地产生电子空穴对 这种过程称为 产生 空穴是共价键上的空位 自由电子在运动中与空穴相遇时 自由电子就可能回到价键的空位上来 而同时消失了一对电子和空穴 这就是 复合 在一定温度下 又没有光照射等外界影响时 产生和复合的载流子数相等 半导体中将在产生和复合的基础上形成热平衡 此时 电子和空穴的浓度保持稳定不变 但是产生和复合仍在持续的发生 1 6 3杂质和杂质半导体纯净的半导体材料中若含有其它元素的原子 那么 这些其它元素的原子就称为半导体材料中的杂质原子 对硅的导电性能有决定影响的主要是三族和五族元素原子 还有些杂质如金 铜 镍 锰 铁等 在硅中起着复合中心的作用 影响寿命 产生缺陷 有着许多有害的作用 1 6半导体的导电原理 1 6 3 1N型半导体磷 P 锑 sb 等五族元素原子的最外层有五个电子 它在硅中是处于替位式状态 占据了一个原来应是硅原子所处的晶格位置 如图1 6 2 磷原子最外层五个电子中只有四个参加共价键 另一个不在价键上 成为自由电子 失去电子的磷原子是一个带正电的正离子 没有产生相应的空穴 正离子处于晶格位置上 不能自由运动 它不是载流子 因此 掺入磷的半导体起导电作用的 主要是磷所提供的自由电子 这种依靠电子导电的半导体称为电子型半导体 简称N型半导体 图1 6 3表示N型半导体材料的能带图 而为半导体材料提供一个自由电子的v族杂质原子 通常称为施主杂质 1 6半导体的导电原理 1 6半导体的导电原理 图1 6 3 1 6半导体的导电原理 1 6 3 2P型半导体硼 B 铝 AL 镓 GA 等三族元素原子的最外层有三个电子 它在硅中也是处于替位式状态 如图1 6 4所示 硼原子最外层只有三个电子参加共价键 在另一个价键上因缺少一个电子而形成一个空位邻近价键上的价电子跑来填补这个空位 就在这个邻近价键上形成了一