《LCD培训教材》PPT课件.ppt

LCD培訓教材 一 圖案制作 LCD基本構造 其斷面如下圖 塗佈光阻劑PhotoresistCoating 顯影Developing 蝕刻Etching 剝膜Stripe 配向膜塗佈PolyimideCoating 灌液LCInjection 定向Rubbing 印框ScreenPrinting 印點Cross overPrinting 預烤Pre Curing 塗佈SpacerSpray 組合GlassAssembly 曝光Exposure 清洗Clean 清洗Clean 貼片PolarizerAssembly LCD製程流程圖 塗佈光阻劑PhotoresistCoating 顯影Developing 蝕刻Etching 剝膜Stripe 配向膜塗佈PolyimideCoating 灌液LCInjection 定向Rubbing 印框ScreenPrinting 印點Cross overPrinting 預烤Pre Curing 撒佈SpacerSpray 組合GlassAssembly 曝光Exposure 清洗Clean 貼片PolarizerAssembly 清洗Clean 顯影Developing 蝕刻Etching 剝膜Stripe 配向膜塗佈PolyimideCoating 灌液LCInjection 定向Rubbing 印框ScreenPrinting 印點Cross overPrinting 預烤Pre Curing 撒佈SpacerSpray 組合GlassAssembly 曝光Exposure 塗佈光阻劑PhotoresistCoating 塗佈光阻劑PhotoresistCoating 貼片PolarizerAssembly 清洗Clean 塗佈光阻劑PhotoresistCoating 顯影Developing 蝕刻Etching 剝膜Stripe 配向膜塗佈PolyimideCoating 灌液LCInjection 定向Rubbing 印框ScreenPrinting 印點Cross overPrinting 預烤Pre Curing 撒佈SpacerSpray 組合GlassAssembly 曝光Exposure 曝光Exposure 清洗Clean 塗佈光阻劑PhotoresistCoating 蝕刻Etching 剝膜Stripe 配向膜塗佈PolyimideCoating 灌液LCInjection 定向Rubbing 印框ScreenPrinting 印點Cross overPrinting 預烤Pre Curing 撒佈SpacerSpray 組合GlassAssembly 曝光Exposure 顯影Developing 顯影Developing 貼片PolarizerAssembly 清洗Clean 塗佈光阻劑PhotoresistCoating 顯影Developing 剝膜Stripe 配向膜塗佈PolyimideCoating 灌液LCInjection 定向Rubbing 印框ScreenPrinting 印點Cross overPrinting 預烤Pre Curing 撒佈SpacerSpray 組合GlassAssembly 曝光Exposure 蝕刻Etching 蝕刻Etching 貼片PolarizerAssembly 清洗Clean 塗佈光阻劑PhotoresistCoating 顯影Developing 蝕刻Etching 配向膜塗佈PolyimideCoating 灌液LCInjection 定向Rubbing 印框ScreenPrinting 印點Cross overPrinting 預烤Pre Curing 撒佈SpacerSpray 組合GlassAssembly 曝光Exposure 剝膜Stripe 剝膜Stripe 貼片PolarizerAssembly 導電玻璃材料就是在普通玻璃 不導電 的一個膠面層鍍上透明導電膜的玻璃 目前常用的導電玻璃是氧化銦 氧化錫玻璃 通常簡稱ITO玻璃 在生產過程中 每片玻璃都必經過万用電表檢測 導電面為ITO正面 不導電面無ITO面為背面 一 ITO玻璃的結构 如圖1 SIO 玻璃 ITO 圖1 二 LCD制造用的ITO導電玻璃規格 玻璃厚度 0 55mm0 7mm1 1mm玻璃面積 14 16 或355 6mm 406 4mm 300 350SiO2阻擋層 200 500A 1A 10 10米 ITO層厚 250 2000A SiO2絕緣層厚 500 1000A ITO導電玻璃的主要技術透光率8 方塊電阻RR10 15 30 80 相對R越小越好若R10 膜厚1000 2000A R100 300 膜厚200 300A ITO玻璃的技術要求 平整度好 一般要求平整度 0 5um 20mm机械強度与化學抗蝕性能 ITO層對玻璃 SiO2 表面的粘附力要強 不易脫落 抗划傷強 ITO膜能抗強鹼 但易被酸腐蝕 光刻膠性能的主要指標 感光度 光刻膠對光敏感的性能 所以說 對于固定光強的曝光机 光刻膠的感光度越高 則曝光時間越短 反之 則差 分辯率 光刻精度的標志 它不僅与光刻膠本身有關 還与光刻工藝條件和操作技術等因素有關 抗蝕性只是在針孔密度小 粘附性能良好的情況下 才能有較強的抗酸 鹼能力 接上 粘附力光刻膠与ITO面之間沾附的牢固程度也直接影響光刻后的精度 光刻膠的沾附力与光膠本身性質有關 而且与玻璃面有密切關系 平整 清洁 干燥 無油質污染的表面有利于光刻膠的粘附 此外 光刻膠的配比 前烘條件 顯影液配方因素有關 穩定性 光刻膠在常溫和暗房內 黃色光 光刻膠不發生暗反應 針孔 視其光刻膠膜上針孔形成密度盡可能低 它將直接影響光膠質量 粘度和含固率 光刻膠越濃 粘度就越大 涂膜就越厚 反之 就越薄 因此 我們常采用改變光膠濃度調節粘度 控制膜厚度 例中 光刻細小圖表時 為了提高分辯率 膠層相對薄些故采用濃度較稀的光刻膠 溫度高 固含率低 粘度變小 膜薄 反之則厚 光刻膠的分類 負性膠 在襯底表面將得到与光刻掩蓋版遮光圖形完全相反的圖形 不适用LCD制造業 正性膠 這种膠在曝光前對某些溶劑是不可溶的 而曝光后就變成可溶性 能与掩模遮