ESD防护管理规范.doc

ESD防护管理规定文件编号： SP-57 版本: B 页码: 26 OF 26文件修订简历版本内容简述制/修订审 核批 准生效日期AB第一次发行将电子产品制造防静电系统测试方法及人员进入EPA前静电检测及ESD防护管理基准文件内容纳入，减少文件数量。相 关 部 门 会 签（标注）SMT事业部品控本部营 业 部EMS事业部液 模 部资 材 部BRK事业部生 技 课总 务 部MOU事业部物 流 课财 务 部1、目的:本文件目的是建立ESD控制程序并严格执行，以减少ESD对本公司生产的产品所造成的损坏。本文件提供的行政要求和技术要求，是广州番禺旭东阪田电子有限公司建立、实施和维护ESD控制体系的基本指导。2、范围:2.1本规定适用于广州番禺旭东阪田电子有限公司电子产品相关区域(如IQC检查区、电子部品仓库、SMT、EMS制造、液模部、BRK PCBA生产及组装等相关区域)。2.2各部门应将本文件中提到的要求看成是ESD敏感器件、材料操作指引的一部分，通过本文件提供的相关信息，来指导ESD相关的员工培训和符合性验证，并建立相关的技术规范。由于本文件提供的只是原则性的ESD防护要求，各部门可根据部门实际情况，建立适合自己的具体程序。2.3当客户另有明确的要求,则优先考虑客户要求。3、技术依据：本文件以ANSI/ESD S20.20标准为基准，执行公布实施的最新版该标准的相关要求。鉴于本公司目前尚未购买安装和使用手腕带监测仪，标准中的6.2.2.2中有关手腕带监测仪的内容不适用本公司，因此暂不执行，其余条款遵照执行。此外IEC61340-5-1最新版及其欧洲转化标准EN61340-5-1，在本公司同样有效，相关要求同样予以考虑。本文件主要参考标准如下：1）Protection of Electrical and Electronic Parts, Assemblies and Equipment ANSI/ESD S20.20-20072）Protection of Electrical and Electronic Parts, Assemblies and Equipment ANSI/ESD S20.20-20073）EN61340-5-1 TR2 ElectrostaticsPart 5-1: Protection of electronic devices from electrostatic phenomena General requirements4）EN61340-5-1 TR2 ElectrostaticsPart 5-2：Protection of electronic devices from electrostatic phenomena User Guide5）Glossary ESD ADV1.0 6）Packaging Materials for ESD Sensitive Items: ANSI/ESD S5417）ESD Handbook ESD TR20.204、定义:本文件中的名词定义参见ESD ADV1.0-2003。4.1静电：物体表面过剩或不足的静止的电荷。4.2静电场：静电在其周围形成的电场。4.3静电放电：即ESD(ElectroStatic Discharge)，两个具有不同静电电位的物体，由于直接接触或静电场感应引起两物体间的静电电荷的转移。静电电场的能量达到一定程度后，击穿其间介质而进行放电的现象就是静电放电。4.4静电敏感度：元器件所能承受的静电放电电压。4.5静电放电敏感器件(ESDS)：对静电放电敏感的器件。4.6接地：电气连接到能供给或接受大量电荷的物体,如大地等。4.7中和：利用异性电荷使静电消失。4.8防静电工作区：即EPA(ElectroStatic Protected Area)，配备各种防静电设备和器材，能限制静电电位，具有明确的区域界限和专门标记的适于从事静电防护操作的工作场地。4.9抗静电材料：抑制静电产生的材料,在正常使用情况下,抗静电材料产生的静电电压不应该超过100V。4.10导电材料：材料表面电阻率1105 欧姆/或体积电阻小于1104欧姆厘米的材料，注意导电材料摩擦电压不一定低。4.11绝缘材料：表面电阻率每平方米11012欧姆/的材料。4.12静电消散材料：表面电阻率在1105欧姆/与11011欧姆/间的材料。4.13表面电阻率：指材料长宽相等的材料的电阻。4.14静电防护工作面：到地电阻1109欧姆的桌面或其它表面。4.15防静电包装：能够提供静电防护且限制潜在静电释放到产品破坏水平的包装系统。4.16 HBM人体放电模型：指由于活动使人产生静电，这电荷通过手指或其他部位向接地的器件放电。5、个人安全：执行ESD的相关操作，可能会导致员工处于有害的电气环境中，本公司将严格按照国家相关的安全法规执行，对设备采取适当的安全保护措施并对员工进行减少电气危害的相关训练以保证员工处于安全的操作环境中。6、职责与权限:本公司确定和授权以下人员负责ESD的相关工作：6.1 ESD主席：负责ESD S20.20认证项目的抉择，任命ESD推行组长，针对ESD改善遇到的重大问题与公司高层进行沟通。6.2 ESD协管员：A、保证ESD程序持续符合整个组织规定的要求，以及保持与新的技术、工艺及程序同步。B、负责ESD S20.20体系认证及组织ESD控制小组进行定期的内、外审。C、评审并批准新材料和设备以确保满足ESD要求，管理已核准的ESD材料和设备列表。D、提供ESD方面的咨询，认可ESD培训讲师和批准ESD培训教材。E、对ESD防护用品来料进行管理，推动ESD防护用品来料异常的改善。F、负责认定及考核ESD防护用品来料供应商及与供应商签订质保协议, 必要时按质保协议要求对供应商进行索赔。G、协调各部门ESD改善情况，与外部进行沟通，向ESD主席进行ESD防护情况汇报。6.3 ESD防护担当：在所有的EPA都要有ESD防护担当，负责所在区域所有与静电敏感器件保护相关事宜和ESD文件（包括本文件）的实施：A、制定所有认可的ESD设施和用品的清单。B、确保所辖区域内的员工得到有效的培训。C、确保所辖区域内的员工能够得到本文件或按照本文件所制定的指引。D、管理ESD防护用品的检测工作，并对发现的问题进行推动改善。E、监控ESD防护用品来料质量并及时反馈相关人员改善，定期对来料情况进行总结分析。F、与供应商联络，传递我司ESD防护的进展和要求。G、处理供应商不符合ESD防护的来料或包装。H、接受客户有关ESD防护的要求和投诉。I、向客户传递我司ESD信息。6.4 ESD 防护用品监测担当：ESD防护担当可同时担当ESD 防护用品监测工作，亦可分开。主要职责：A、定期监测生产线、货架、工作台、地板、相关设备等的接地情况。B、定期监测/检查EPA人员静电防护措施的情况。C、定期监测ESD防护用品和材料的情况。D、检查并维护ESD测量设备，以保证其功能正常。7静电敏感度确认要求：7.1本文件定义静电放电敏感度超过HBM2级（即抗静电压低于4000V）的敏感器件及含有敏感器件的线路板都应采取本程序进行ESD控制。7.2 EMS工程技术部应按照HBM模型，对公司的ESD敏感器件建立敏感器件清单（见附件1），并保持适时更新。7.3敏感度确认的来源可考虑从设计、供应商、可靠性试验中获取。8 ESD培训：8.1 ESD培训的内容：8.1.1 所有EPA工作区的员工都要接受与工作相关的ESD的培训，培训内容包括：A、包含静电如何产生及危害性在内的ESD基础知识；B、包括敏感器件辨认、如何进行敏感器件取放和操作在内的ESD防护知识；C、包括自己本岗位可能会使用到的防静电设施和用品使用在内的防护用品使用培训；D、新技术、新工艺和新设备使用前的培训；E、安全规则和操作的培训；F、本文件及相关引用文件的内容和工作中的实际应用等。8.1.2从事ESD管理、监测和审核工作的人员除上条内容外，还须进行ESD管理、监测和审核等相关技巧的培训。8.2再培训制度：所有接触ESD产品的人员培训后经过考核后方可上岗。以下情况的相关人员须再培训：A、未通过考核；B、采取了新的ESD技术；C、培训时间已超过12个月或中断工作4个月以上。8.3 ESD培训材料与培训讲师：8.3.1培训教材须得到ESD协管员的认可；8.3.2培训教师需要有能够示范性地证明自己精通ESD控制的要求；8.3.3 ESD培训人员的资格由ESD协管员确认。8.4 培训记录：8.4.1 培训记录可包括：签到表、考试试卷、教材、上岗证等；8.4.2 培训记录需要按照记录控制规定进行保管。每人的培训记录都要保存，包括培训日期、培训时间长短、培训内容、培训者姓名等，记录至少要保存2年以上。8.5培训的一般或其它要求（如新进人员的ESD培训）参考公司文件SP-04职员教育培训管理规定的要求。9 ESD符合性验证：9.1 ESD防护设施和用品的采购、安装和启用：9.1.1 所选用和采购的ESD防护设施和用品必须符合和满足本文件的技术要求；9.1.2 防静电地面等ESD防护工程在交付使用前须确认其符合本文件的技术要求，并能够正常使用；9.1.3 ESD防护设施或ESD防护工程在翻新/修补后须重新确认其防静电性能后再投入使用；9.1.4 购买后，使用中的防护产品在其寿命期间应确保符合本文件及相关ESD指引文件的技术要求。9.2 ESD防护设施检测：9.2.1各EPA至少按照附表2中的内容和周期检测相应的ESD防护设施和用品，保证其符合要求，并能正常使用。备注：检测方法参考本规定第12条款。9.2.2 用于ESD防护设施验证的设备/仪器应能够验证ESD防护设施满足要求，并按照文件SP-10计测器校正规定进行校正并保留相关记录。9.3内部审核：9.3.1 ESD内部审核作为质量管理体系内部审核的一部分，按照质量管理体系内部审核的相关要求执行。ESD内部审核每年至少一次，对下列，但不限于以下内容进行审核：A、本文件要求得到了贯彻落实；B、培训得到了有效的实施；C、暴露的导体有电压超过250V（交流）或500V（直流）的EPA进行了高压标识，员工得到了培训，并按照国家规定安全条件下进行操作；D、适用的地方都设立了EPA并进行了标识；E、手腕带、防静电鞋、防静电服等用品使用的制度得到了执行；F、ESD防护设施和用品的技术指标符合文件要求；G、ESD检测和记录得到了贯彻；H、EPA中的静电源得到了控制；I、其他要求的事项。9.3.2内审中发现的不符合应按照文件SP-12 内部审核管理规定的要求进行报告和整改，并且对纠正措施按照SP-17纠正措施规定的要求进行文件化，如果不符合项涉及ESD保护区域，则在得到整改前，该区域不得使用。内审中发现的不符合项根据情况，需作为培训材料的一部分。9.3.3 作为符合性验证的一部分，各ESD防护担当应每月对所担当的EPA的ESD防护进行巡检，保留记录，并确保全年度的巡检覆盖到所有的项目；必要时，由ESD协调员组织小组进行不定期的全面的稽核。10、ESD防护材料和设备控制要求：各部门的ESD防护担当应持有经审批符合本规定技术要求的ESD防护材料和设备清单；对未在此清单中的ESD防护材料和设备，应在配置使用前先通过ESD协管员的审批。11、 ESD防护之技术要求：11.1接地系统：11.1.1 应建立ESD接地及接地连接系统，使得进行ESD敏感器件操作环境中所有的导体，包括ESD敏感器件、操作人员和所有其它导电体(如移动设备)处于接地和等势连接状态，以防止敏感器件ESD损坏，如图1所示。11.1.2在接地连接不能用或不适用时，至少保证敏感器件/人体及其它相关导体连接在一起。图1接地连接示意图11.1.3 接地系统优先考虑选择第三条导线(绿色的)交流设备接地作为接地连接点，允许使用ESD辅助接地进行接地，但辅助接地与交流设备接地之间，在保证安全的前提下，应采取必要的跨接，以确保等电位连接。11.1.4 设备连接到共同接地点的电阻应小于1.0，连接线中含有限流保护电阻的，则阻值扣除限流电阻阻值后小于1.0，共同接地点与接地体之间的交流阻抗应小于1.0，工作台面或货架台面到接地点或等电位连接点的电阻应保持在106109，应进行周期性检测。ESD工作站的接地方式可参考图2。图2工作站接地示意图11.2 人员接地：在ESD保护区域，进行敏感器件操作的人员必须处于人体接地状态。人体接地通过手腕带系统和地板-鞋系统两种方式中的一种或以上来实现。11.2.1 坐姿状态：操作人员在采取坐姿进行操作的时候，至少要采用腕带系统进行接地。人体佩戴腕带系统的电阻为0.7510610106为合格，此阻值每天进行检测，合格才可进入ESD保护工作区域进行操作。11.2.2 站姿状态：当操作人员采取站姿进行操作的时候，可选择采用腕带系统或地板-鞋装系统中至少一种进行人员接地。此时穿着鞋装-地板系统的电阻为0.75106100106为合格，每天进行检测，合格方可进入ESD保护工作区域进行操作。11.3 ESD保护区域（EPA）：根据敏感器件是否会出现在车间/仓库/IQC/实验室中建立ESD保护区域。没有采取适当的ESD保护包装的ESDS器件必须在ESD保护区域进行处理。出ESD保护区的敏感器件须有ESD保护包装。ESD保护区域可是一个工作台(固定或移动式的)，也可以是实验室/房间/大厦或任何其它具有预先指定边界的，包含限制静电位的材料和设备的区域。EPA须保持清洁与整洁，以确保其中的防静电设施和用品的性能不受影响。11.3.1保护区标识：ESD保护区域必须进行适当的标识，这种标识包括ESD保护区域的边界标识（见图3）和入口警示标识（见图4）。注意入口警示标识的最小尺寸不小于300mm150mm。如果ESD保护区中有交流超过250V或直流超过500V的高压裸露导体，则警示标识中须有高压警告内容（如图5）图3： EPA边界标志图 4：EPA警示标志图5 含有高压的EPA标志11.3.2 保护区内的静电源和材料控制：A、EPA是一个控制区域，非必须的绝缘体必须清理出去。保证ESD敏感器件操作区中，超过2000V的绝缘体应该与静电敏感物保持至少十二英寸（30cm）的距离。B、对区域内出现的必须的绝缘材料，包括纸张要进行控制。建立绝缘材料清单，并根据对绝缘材料静电评估采取材料替换、离子化设备消除静电等方法处理具有静电危害或隐患的材料。C、EPA内使用的防静电材料和用品也应进行登记控制，所有防静电用品按照检测项目进行检测；不能从外观识别防静电功能的防静电用品或材料要进行标识。标识图案参考图8。11.3.3 进入保护区：进入保护区的人员必须采取必要的防静电措施：A、所有有可能进入到区域内的人员必须穿着防静电服；B、有可能接触器件的人员必须着防静电鞋；C、进行操作的人员须佩戴手腕带；D、防静电手套和手指套根据工艺需要配备；此处根据你公司情况要求E、进入保护区的人员必须经过相应的培训，参观人员和未经过培训的人员必须由受训过人员陪同。11.3.4 温湿度控制：EPA区域内的湿度控制在30%70%RH，温度控制在2028，并进行监测，相关责任人要在每天的同一时段至少测量并记录一次。11.3.5 保护区技术要求：A、工作台：用于敏感器件操作的工作台须是防静电工作台。防静电工作台可以是专门制作可以提供ESD保护的工作台，也可由普通工作台上面铺设防静电台垫连接接地后构成。典型工作台的接地连接可参考图2。工作台导电性能和接地状况的好坏是ESD控制的关键，因此相关岗位的人员每天在工作前目视检查工作台的接地连接，确保连接良好。每个月度检测一次工作台的接地电阻（工作台到共同接地点的电阻）和工作台（或台垫）表面电阻。工作台接地电阻小于1109为合格；台垫的表面电阻小于1109为合格。具体的测量方法参见第12章ESD防护控制相关检测程序。B、腕带：防护区内所使用防静电腕带须包含阻值范围为0.81.2M的限流电阻，技术和质量指标达到附表2的要求，并在来料时进行抽检。EPA使用手腕带的人员，在进入EPA区域接触敏感器件前，须佩带经腕带系统电阻检测为合格的腕带。腕带系统电阻的要求参见7.5.2.1。C、鞋：防护区内所使用的防静电鞋，导电性能在来料时要进行抽检，小于1109为合格。任何人进入保护区都必须穿经鞋接地系统电阻检测为合格的防静电鞋。鞋接地系统电阻的要求参见7.5.2.2。D、地板：EPA区域内的地面须具有防静电功能。防静电地面可以是具有静电泄放性能的地板、自流坪，也可以是具有同样功能的地垫、地毯等其它材料。地板的接地点连接状况每周目视检查一次，确保接地连接牢固；地板的对地电阻每月检测一次，小于1109为合格；地板的表面电阻每月检测一次，小于1109为合格。使用地垫或台垫作为防静电地面的EPA，其检测项目和周期与台垫相同。E、座椅：EPA区域内操作人员的座椅须有静电泄放功能，表面电阻11051109为合格，对地电阻小于1109为合格。技术指标来料时要抽检，使用后每季度测量一次。F、离子除静电器：EPA区域内可使用离子除静电器消除绝缘材料或其它材料上的静电。所使用的离子除静电器的偏执电压须小于35V，1000V-100V的消散时间小于10秒，来料时应进行检验，使用后每季度检测一次。G、货架：保护区内放置敏感器件的货架须有静电耗散和泄放功能，可在普通货架放货区上面铺设防静电台垫接地构成，其相关技术要求与工作台同。H、设备：EPA区域内的设备外壳须进行硬接地，接地电阻每月检测一次，小于1.0为合格。能够在EPA内使用的设备应使用图6标识。图6 EPA内使用设备的标志I、工作服：EPA所使用的防静电工作服须有防静电功能，袖对袖电阻及布片间电阻1105 11011为合格。来料应进行抽检，此后要每季度抽检一次，使用周期内检测覆盖所有在用品。J、防静电手套和手指套：防静电手套和手指套不作为EPA内必须的防静电用品，但如果操作者需要使用手套或手指套拿取静电敏感器件时，须使用防静电手套或手指套。佩戴后的系统电阻为7.510511012为合格。K、推车及移动货架：EPA内敏感器件运送所使用的推车及移动货架须有静电泄放功能，承载器件的台面的接地电阻小于1109。11.4 包装：11.4.1 包装材料需根据客户的要求或根据被包装器件物理、化学等方面的要求来选择。ESD保护包装须根据合同、采购定单、图纸、规格或其它文件来决定，满足客户需求。客户未作要求时，含有敏感电压HBM1000V以下，或对电磁、电场敏感的器件使用屏蔽包装袋作为静电保护包装，其他则可使用耗散材料或导静电材料作为静电保护包装。敏感度不明的情况下则屏蔽包装袋作为静电保护包装。屏蔽包装的屏蔽性能应在HBM1000V，放电屏蔽在50nJ以下。11.4.2 EPA内敏感器件包装可以使用耗散或导电材料，可根据需要选择封闭包装，或接地；出EPA或在不同EPA之间转运的敏感器件必须使用封闭的静电保护包装，且在出EPA前完成。11.5 标识：11.5.1 ESD敏感器件组件和整机标识：ESD敏感器件组件包装及含有敏感器件及组件的整机须有ESD警示标识，标识并贴在醒目位置，以确保人员其打开前知道内有敏感器件。警示图案可参考用下图7。图7 ESD敏感器件标识11.5.2包装标识：能够提供防静电功能的包装使用ESD保护标志进行识别。如图8标识。*代表S：静电屏蔽材料D：静电耗散材料L：低带电性材料C：静电导电材料图8 防静电包装标识11.6 设备要求：11.6.1 交流设备要有良好的接地，具体要求参照11.3.5.H。电烙铁等手持电动工具使用后阻值会有所增加，其要求如下：新烙铁头接地电阻小于1为合格，使用后小于20为合格。11.6.2 电池作动力和气体作动力手持工具在手持状态，接地电阻应该小于1 x 1012 。11.6.3 自动化取放设备无论是在静止或是移动状态，都应给所有导电材料和耗散材料制成的组件提供一个连续的导电接地通路。这种设备，应该将被取放的ESD敏感物件所产生的电荷减到最小。在组件的取放途中，必须采用绝缘材料的零件时，这些零件需精心设计，使得在被取放元组件上，产生的电场和电荷最小。11.7 ESD敏感器件的处置，存贮和转移：11.7.1 无静电保护包装的ESD敏感器件须在ESD保护区处置。11.7.2 装有ESD敏感器件的包装或容器只可在ESD保护区打开，包装或容器在打开前，须放在接地的工作台上，与敏感器件接触的表面须是耗散材料的。如在绝缘材料表面处理，须使用离子静电消除器消除静电。11.7.3 所有ESD敏感器件需有ESD保护包装方可货运或接收，与产品接触的内包装必须在ESD保护区内进行。11.7.4 当ESDS器件转移到ESD保护区外，须放入密闭的防静电包装或容器中。11.7.5 当ESDS器件储存在ESD保护区外，须放入密闭的防静电包装或容器中。11.7.6 ESDS器件发货运输过程须有密闭的防静电包装。11.7.7 不能断定其为非ESD敏感器件的器件及敏感不明的器件按照敏感度最高对待。12、 ESD防护控制相关检测程序：12.1 范围：适用于公司电子产品制造防静电系统（包括地面、工作台、工位器具、周转箱、包装袋、防静电腕带、离子风机、人员、服装等）的测试。12.2 防静电接地设施及测试方法：12.2.1 防静电地极：12.2.1.1 按图9所示，使用接地电阻测量仪测试防静电地极的接地电阻。12.2.1.2 测试步骤：A、将被测试地极用导线接于仪器的端子EB、在相同直线方向20m、40m潮湿土地处，分别插入电位探测针及电流探测针，各接于仪器端子P、C；C、设置“倍率盘”倍数；D、自缓至快摇动仪器手柄，达到约束120r/min，调整“测试标度盘”，指针指于零位时，读数乘以倍率标度，即为接地电阻值；E、按测试步骤cd反复测试35次，取平均值。12.2.1.3 记录：记录在接地工程-定期检测记录表E PC地电阻测试仪地极电流探针电位探针图9 防静电地极接地电阻测试12.2.2 交流设备接地检测：在停电状态，使用精度在0.1交流阻抗仪，在50HZ频率下直接测量插座中交流地线和中性线的阻抗，记录在接地工程-定期检测记录表。注意此检测须在安全前提下进行，测量者应具备电工操作证，并在停电情况下进行。这里有几点非常重要：1、火线和中性线不能接反；2、必须要有中性线和设备接地线，并且在插座中没有接到一起；3、火线和设备接地线没有接反。12.2.3 设备、辅助设备、自动化取放机接地检测：EPA内其他设备、辅助设备、自动化取放机的检测，用万用表欧姆档直接测量其外壳金属裸露处（金属表面、螺丝等）到三芯插头接地端口两端之间的电阻，电阻小于1.0为合格，结果记录在设备/辅助设备接地-定期检测记录表中。12.2.4 电烙铁的检测：按照下图示意，使用万用表欧姆档测量从烙铁头到接地端口（使用三芯插头的烙铁则测量烙铁头到三芯插头接地端口）的电阻，按电烙铁使用与否，新的电烙铁电阻小于1.0为合格，使用过的电烙铁电阻小于20为合格，结果记录在工具定期检测记录表中。图10 电烙铁接地电阻测量示意图12.2.5 电池做动力和气体做动力的手持工具的检测：电池做动力和气体做动力的手持工具测量其手持时对地电阻，测量时一人于EPA内手持被测工具，另一人使用兆欧表一端夹在防静电地垫，一端接触被测工具表面，使用10V测量电压进行测量，测量结果以小于1.01012为合格，结果记录在工具定期检测记录表中。12.2.6 共同接地点接地检测：使用精度在0.1以上的万用表欧姆档，测量共同接地点到接地母线的电阻。记录在接地工程-定期检测记录表.12.3 防静电台垫测试：12.3.1 工作台及货架检测：A、表面电阻测试：使用表面电阻测量仪，将其中一个测量电极置于台垫中心，后将另外一个测量电极依次置于四个角上并进行读数，数值小于1109为合格。1106以下电阻兆欧表测量电压使用10V档位，1106以上电阻兆欧表测量电压使用100V档位。新装工作台验收测量，合格后编号使用。此后及在用工作台每月检测一次，结果记录在防静电工作台/辅助台/物料台/物料车-定期检测记录表。B、接地电阻测试：使用兆欧表将一测量电极使用插头或鳄鱼夹连接到工作台的共同接地点，另一电极连接重锤电极置于带测台垫的四角及中心等不同位置测量阻值。1106以下电阻兆欧表测量电压使用10V档位，1106以上电阻兆欧表测量电压使用100V档位。阻值1109为合格。新装工作台验收测量，合格后编号使用。此后及在用工作台每月检测一次，结果记录在防静电工作台/辅助台/物料台/物料车-定期检测记录表。12.3.2 用作地垫的防静电台垫或胶皮检测：检测方法与12.3.1同，结果记录在防静电地面-定期检测记录表。12.3.3 推车及移动货架检测：铺设防静电台垫或胶皮的推车及移动货架摩擦电压、表面电阻的要求与测试方法与12.3.1同。此外使用以下方法测试接地电阻：将被测试的推车或移动货架置于安装完工，且能正常使用的防静电地板上，使用兆欧表将一测量电极使用插头或鳄鱼夹连接到ESD接地点，另一电极连接重锤电极置于带测台垫的四角及中心等不同位置测量阻值，如图11。1106以下电阻兆欧表测量电压使用10V档位，1106以上电阻兆欧表测量电压使用100V档位。阻值1109为合格。此后及在用推车及移动货架每月检测一次，结果记录在防静电工作台/辅助台/物料台/物料车-定期检测记录表。图11 推车及移动货架的接地电阻测试12.4 地板检测：12.4.1 表面电阻测试：地板每500平方米至少选择一个测试点，测试点一般选择人员走动较多及易磨损区域的地板。测量时将兆欧的两个探头分别置于地板上，以其中一个为中心，间距大约3001000mm（拼装式地板则置于对角），分别测量四角各一次，阻值在1109以下为合格。新装地板验收测量。此后每月检测一次，结果记录在防静电地面-定期检测记录表。12.4.2 接地电阻测试：使用兆欧表将一测量电极使用插头或鳄鱼夹连接到地板的接地连接点，另一电极连接重锤电极置于地板等不同位置测量阻值。1106以下电阻，兆欧表测量电压使用10V档位，1106以上电阻，兆欧表测量电压使用100V档位。阻值1109为合格。此后每月检测一次，结果记录在防静电地面-定期检测记录表.图12 地板的测试12.4.3如果发现有不合格地板，则扩大测试范围，并用红笔在不合格地板画红叉标出，然后进行修复处理，修复后的地板必须重新进行测量。完成后记录在防静电地面-定期检测记录表中。12.5 防静电椅子的检测：将椅子接地端（脚轮或接地链）置于已经安装，且能正常使用的防静电地板上，板连接兆欧表一测试电极到ESD接地点，另一测试电极置于坐垫，测试之间的阻值,如图13所示。移动坐垫上的电极至扶手（若有的话）、靠背、脚踏（若有的话）重复以上操作。1106以下电阻兆欧表测量电压使用10V档位，1106以上电阻兆欧表测量电压使用100V档位。阻值小于1109为合格。新购入防静电椅来料全部检测，不合格按照不合格品管理规定执行。在用防静电椅按照编号，每季度检测一次，结果记录在防静电椅-定期检测记录表，不合格视情况予以维修或更换，直至该工位使用椅子合格为止。图13 座椅的检测12.6 防静电元件盒、物料盆、吸塑盘、包装袋、气泡片检测：12.6.1 标识检测：检查包装用品是否使用了静电防护标识，如图14，以表明其具备防静电功能。图14 防静电标志12.6.2 静电导电性检测：视被测物品大小选择兆欧表的测试电极，测量物品材料静电导电性能，被测物品若为盒装，则每个面至少两个测试点，若被测物品为平面材料则上下面至少有两个测试点。1106以下电阻兆欧表测量电压使用10V档位，1106以上电阻兆欧表测量电压使用100V档位。12.6.3 低带电性检测：手持PWB板，以频数约120次/min，手掌适当施加压力，单向摩擦被测件某一部位20次，用静电场计测量待测物品摩擦部位的静电电压，距离以静电场计发出的双红光圈重叠在一起为准。静电压小于100V为合格。12.6.4 屏蔽性检测：此检测仅针对屏蔽包装袋。检测使用屏蔽性能测试设备，按照ESD STM11.31标准、同等标准或可以计算转换标准进行检测。鉴于目前检测仪器价格昂贵，该检测由供应商提供有权威性的检测报告即可。接受指标为小于50nJ。12.6.5 测试取样及记录：防静电材料物品来料时进行抽检，不合格则按照不合格品管理规定执行。此后按防静电防护材料-抽检记录表抽检，不合格则该批物品全部更换。12.7 离子化静电消除设备检测：12.7.1 新购设备测试以下指标：偏移电压（offset voltage）：在置于离子化环境中的CPM的充电平板上观测到的残留电压，小于35V为合格。衰减时间（decay time）：在置于离子化环境中的CPM的充电平板上的电压由1000V变化到100所用的时间，td10s为合格。12.7.2 使用当中的离子化设备用以下方法每季度检测一次其有效性：A、准备好OHP纸，使用OHP纸摩擦OHP纸，摩擦使之带电，对带电的OHP纸进行电位测试，希望带电量在0.5 KV 以上。B、将带电的OHP纸，放在离子风机有效范围内，放置2-3秒钟，再对进行OHP电位测试,电压下降到100V以内为合格。离子风机静电电位测试仪 工作台OHP纸 离子风 图15 离子风机中和静电性能检测C、使用SIMCO FMX003多功能静电电压测量仪，安装专用充离子平衡测量板后，置于离子化设备作用的工作区（离子风机一般距离为30100CM）开机状态下记录其电压值，该指标每季度测量一次。12.7.3 测量结果记录在静电消除设备-定期检测记录表中，要为每台除静电器配一张此种表格，粘贴、悬挂或者放置在容易看到的位置。12.8 人体防静电用品检测：12.8.1 防静电服：A、袖对袖电阻检测：测量时先将绝缘板（表面电阻大于1012/以上）擦拭干净，使用兆欧表100V电压下测量其表面电阻，确定大于1012即可进行下步操作，否则更换绝缘板；将防静电服铺在绝缘板上摊开保证布片间不重叠，将测试电极压在两个袖口，测量两个袖口之间的电阻。1106以下电阻兆欧表测量电压使用10V档位，1106以上电阻兆欧表测量电压使用100V档位。指标为110511011为合格。B、布片间点对点电阻检测：按照图示，每件防静电服不同布片上面选取四个点，使用兆欧表测量点对点电阻。1106以下电阻兆欧表测量电压使用10V档位，1106以上电阻兆欧表测量电压使用100V档位。四个测量点的表面电阻测量值全部在110511011为合格。图16 防静电服测试C、测量取样及记录：防静电服来料进行抽检，不合格则按照不合格品管理规定执行。使用中的防静电服每季度进行一次检测，不合格则进行更换；使用当中的防静电服每季度抽检，使用周期内覆盖所有使用防静电服。测量结果记录在防静电服-抽检记录表中。12.8.2 手腕带检测A、手腕带连接线电阻：使用万用表欧姆档测量手腕带连接线金属按扣到接线插头或鳄鱼夹的电阻即为连接线电阻。阻值0.8M1.2 M为合格。B、手腕带内侧电阻：将手腕带翻转过来，内侧朝外，平放在绝缘板（表面电阻大于1012/以上）上使用表面阻值仪测量其表面电阻，小于105为合格；C、手腕带外侧电阻：直接将手腕带平放在绝缘板（表面电阻大于1012/以上）上，使用表面阻值仪测量其表面电阻，大于107为合格；D、系统电阻检测：本检测直接使用手腕带检测仪或人体综合阻值测试仪进行检测。人员佩戴手腕带后将接地插头插入手腕带检测仪的测试插座，用手指按压测试按钮，PASS绿灯亮起为阻值合格，LOW红灯亮起为阻值过低，HIGH红灯亮起为阻值过高。所使用的手腕带检测仪或人体综合阻值测试仪阈值须满足0.75M10 M。E、测量取样及记录：手腕带来料时进行抽检手腕带内侧电阻、外侧电阻和连接线电阻，不合格按照不合格品管理规定执行。系统电阻作为日检内容，在员工进入EPA前进行，详细内容见人员进入EPA前静电检测及ESD防护管理基准。12.8.3 手套/手指套检测A、点对点电阻测量：使用兆欧表进行测量。测量时使用小电极分别置于手掌和各手指，测量点对点电阻。1106以下电阻兆欧表测量电压使用10V档位，1106以上电阻兆欧表测量电压使用100V档位。阻值小于11012为合格。B、系统电阻：使用兆欧表进行检测。人员一只手佩戴好手套后，按压兆欧表一个测试电极，另一未带手套的裸手直接接触另一个测试电极，记录阻值。阻值在7.510511012之间为合格.C、测量取样及记录：手套来料时抽检以上指标，不合格按照不合格品管理规定执行。使用中每月进行抽检，不合格则全部进行更换。测量结果记录于手套/手指套-抽检记录表中。图16防静电手套/手指套测试12.8.4 防静电鞋检测：A、鞋底电阻检测：使用兆欧表检测。将鞋置于金属板上，金属板底垫绝缘材料，并连兆欧表一个电极。兆欧表另一个电极连接金属片置于鞋内，以重物压将其与鞋底压紧，测量电阻，如图。1106以下电阻兆欧表测量电压使用10V档位，1106以上电阻兆欧表测量电压使用100V档位。阻值小于1109为合格。图17 防静电鞋测试B、系统电阻检测：本检测直接使用人体综合阻值检测仪进行检测。人员穿着防静电鞋站立在测试台上，将仪器测试扳钮置于“foots test”档位，用手指按压测试按钮，PASS绿灯亮起为阻值合格，LOW红灯亮起为阻值过低，HIGH红灯亮起为阻值过高。所使用的人体综合阻值检测仪阈值须满足0.75M100M。C、测量取样及记录：防静鞋来料时进行抽检，不合格按照不合格品管理规定执行。另外，系统电阻作为日检内容，在员工进入EPA前进行，详细内容见人员进入EPA前静电检测及ESD防护管理基准。12.9 CRT显示器检测：用静电场计测量工作台面静电垫摩擦部位的静电电压，距离以静电场计发出的双红光圈重叠在一起为准。静电压小于100V为合格。结果记录在CRT显示器-定期检测记录表。12.10 测试中其他要求：12.10.1 抽检样品：抽检的测试，样品数不少于6个12.10.2 环境因素：A、为避免湿度对防静电性能（导电性能和低带电）的影响，阻值测量时应同步记录环境湿度；B、如测试的表面电阻、体积电阻等阻值位于靠近界线值的测试结果，应将样品放置在30%以下湿度环境下干燥48小时后再测试；C、对受湿度影响大的材料应将样品放置在30%以下湿度环境下干燥48小时后再测试其表面阻值和摩擦电压值。12.11 相关测试仪器：本文件中可能使用的仪器如下：A、兆欧表：ACL800，配备标准测试电极；B、静电电压测量仪（静电场测量仪）：SMICO FXM002和SMICO FXM003；C、测试离子化设备的偏移电压：SMICO FXM003，配备平衡电压测量板；D、CPM、表面电阻仪、摇表、万用表；E、手腕带测量仪、人体综合阻值测试仪。13、 人员进入EPA前静电检测及ESD防护管理：13.1 标准及记录A、选用仪器阈值设定鞋接地系统阻值：750K100M，手腕带接地系统组值：750K10M。B、所有进入车间的人员（包括外来访客）至少要进行双脚鞋接地系统阻值检测，合格后方可进入车间。操作人员必须测试双脚鞋接地系统电阻和手腕带接地系统电阻，指标都合格方可进入EPA进行操作，每人每天至少1次，上下午进入EPA前进行，并记录在静电鞋确认表。C、检测不合格的人员应更换不合格用品后重新检测，合格后方可进入EPA。13.2 鞋接地系统电阻测量作业指导：A、按相关要求穿好防静电鞋。B、确保测量选择开关处于 “750K100M”位置（如下图）。 图18 选择开关的正确位置示意图C、双脚分别踏到左右脚踏板上面，用手指按下检测仪的白色“TEST”金属按钮（如图19）。 图19 用手指按下“TEST”按钮 D、如果左右两边的2个绿色“PASS”LED灯同时亮（如图20），那么表示两只鞋子均合格；如果左右两边的2个红色“HIGH” LED灯（如图21）同时亮并有报警声响起，则表明两只鞋子均不合格。 图20电阻合格 图21 电阻不合格E、如果左右两边各有1个红色LED灯亮（如图22或23）并有报警声响起，则表明红色LED灯亮所对应的那只鞋子不合格。 图22 电阻不合格 图23 电阻不合格 F、测试合格后要在静电鞋确认表中的相应位置作好合格记录；如果合格，则在相应位置画“”，不合格则在相应位置画“”。13.3 手腕带接地系统电阻检测作业指导：A、测试仪器及测试过程见下图：B、防静电腕带使用注意事项： 佩带防静电腕带时腕带部分的金属导电块一定要紧贴皮肤，如果带有手套，不可以将手套压在腕带下面; 测试时要轻轻拉动导线，看是否接触良好，如果拉动的过程中红灯有亮，说明腕带接触不良，需要进行更换； 静电腕带测试仪的指示灯只有绿灯单独亮时（并有“嘀”的鸣叫声），腕带才是好的，如果红灯亮或者红绿灯同时亮（并有“嘀”的鸣叫声）都说明腕带已经接触不良，需要立即找相应组长进行更换； 严禁拉扯防静电腕带的连线，特别是导线和扣子相连接的地方。不要让连线处于紧张状态（如将连线拉紧以后缠绕在手腕上），要尽量使其保持松弛； 戴好腕带并检测状态良好以后，要一直将其戴在手腕上，不可以取下来带进工序。14、制订、修改与废除:本规定由EMS工程技术部制订、修改和废除，ESD主席批准。15、附件及相关记录:相关表格名称及编号见附件，考虑到节约纸张要求而不会附在文件后面，其最新版本保存在文控中心，使用时请到文控中心索取需要使用的表格。敏感器件清单ESD防护设施及用品技术要求及检测项目表防静电物料登记表 FSM-312非ESD控制物料表 FSM-311静电鞋确认表 FSM-119温湿度记录表 FSM-176 接地带确认表 FSM-197工作台/工作辅助台/物料台/物料车-日常点检表 FSM-259防静电手腕带测试仪定期测试记录表 FSM-262防静电工作台/辅助台/物料台/物料车-定期检测记录表 FSM-313接地工程-