制备多晶硅生产工艺技术.doc

. 200610139877 多晶硅薄膜的制备方法，用该方法制备的多晶硅和薄膜晶体管 2. 200780028580 多晶硅的制备方法及多晶硅的制备设备 3. 201010215098 冶金法制备太阳能级多晶硅的方法及该方法制备的多晶硅 4. 96117958 用多晶硅原料制备熔硅的方法 5. 96110663 由多晶硅炉料制备熔硅熔料的方法 6. 98803292 利用放热反应制备多晶硅的方法 7. 98810175 用多晶硅炉料制备硅熔体的方法 8. 01818537 由多晶硅装料制备熔化的硅熔体的方法和装置 9. 02139762 耐高温多晶碳化硅纤维的制备方法 10. 200310110056 制备多晶硅的方法 11. 03134816 基于电感耦合等离子体刻蚀多晶硅及制备超细线条的方法 12. 03804814 多晶硅衬底和太阳能电池的制备方法 13. 200410011136 激光退火多晶硅薄膜晶体管栅绝缘层的制备方法 14. 200410035815 彩色多晶硅微粒及其制备方法 15. 200410064831 一种制备多晶硅绒面的方法 16. 200410000432 制备多晶系膜层的激光退火装置及形成多晶系膜层的方法 17. 200510111454 多晶硅太阳电池绒面的制备方法 18. 200510081929 制备多晶硅薄膜的方法以及用其制备半导体器件的方法 19. 200510063890 制备具有W/WN/多晶硅分层薄膜的半导体器件的方法 20. 200510016605 一种制备多晶硅的方法 21. 200510014464 低温多晶硅薄膜晶体管全集成有源选址基板及制备方法 22. 200510015747 浸沾法金属诱导碟形晶畴多晶硅薄膜材料及制备和应用 23. 200510015748 溶液法金属诱导晶化大晶粒多晶硅薄膜材料及制备和应用 24. 200580018375 多晶硅板制备方法 25. 200580051984 用于对多晶硅膜进行抛光的化学机械抛光浆料组合物及其制备方法 26. 200510126405 一种多晶硅存储元件及其制备方法 27. 200510068006 一种多晶硅振动膜硅微电容传声器芯片及其制备方法 28. 200610130711 表面修饰溶液诱导晶化多晶硅薄膜的制备方法 29. 200610119335 非离子型聚合物在自停止多晶硅抛光液制备及使用中的应用 30. 200610122132 一种用稻壳制备太阳能电池用多晶硅的方法 31. 200610123789 择优取向的多晶硅薄膜的制备方法 32. 200610046525 一种太阳能电池用高纯多晶硅的制备方法和装置 33. 200610010599 采用无氯烷氧基硅烷制备多晶硅的方法 34. 200610017755 P型太阳能电池等级多晶硅制备工艺 35. 200610065676 一种用于制备多晶硅绒面的酸腐蚀溶液及其使用方法 36. 200610043185 单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭加热器的制备方法 37. 200610043184 单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭隔热屏的制备方法 38. 200610010654 一种制备太阳能级多晶硅的方法 39. 200680032961 在流化床反应器中制备颗粒状多晶硅的方法和装置 40. 200680020688 多晶硅的制备 41. 200620031881 制备多晶硅用铸锭炉 42. 200710014346 高效太阳能电池用微晶多晶硅片无切割制备方法 43. 200710143522 制备三氯氢硅和多晶硅的改进方法和装置 44. 200710094444 双层多晶硅自对准栅结构的制备方法 45. 200710094214 型多晶硅栅电极的制备方法 46. 200710009238 太阳能级多晶硅大锭的制备方法 47. 200710172387 太阳能等级多晶硅的制备方法 48. 200710105737 一种太阳能多晶硅原料提纯制备方法 49. 200710052244 多晶硅原料低能耗提纯制备方法 50. 200710018887 多晶硅薄膜制备方法 51. 200710149348 制备大面积多晶硅方法 52. 200710150842 自缓释金属诱导晶化多晶硅薄膜材料的制备方法及应用 53. 200710055601 制备太阳能级多晶硅的新工艺 54. 200780044724 非离子型聚合物在自停止多晶硅抛光液制备及使用中的应用 55. 200780015545 制备粒状多晶硅的方法和装置 56. 200780008782 应用流化床反应器连续制备多晶硅的方法 57. 200710132054 太阳能多晶硅片的制备方法 58. 200780006242 采用金属芯结构制备高纯多晶硅棒的方法 59. 200780005483 使用流化床反应器制备颗粒多晶硅的方法 60. 200780004467 用于制备粒状多晶硅的高压流化床反应器 61. 200710040644 多晶硅薄膜的制备方法 62. 200710039785 多晶硅薄膜的制备方法 63. 200720126102 单/多晶硅薄膜及其组件的制备装置 64. 200810230804 一种高纯金属硅提纯制备高纯多晶硅的方法及装置 65. 200820055759 晶粒尺寸可控的多晶硅薄膜制备及检测装置 66. 200810043325 顶部带有硬质掩膜层的多晶硅栅极结构及制备方法 67. 200810070747 多晶硅太阳能电池织构层的制备方法 68. 200810189826 低掺杂率多晶硅薄膜的制备方法 69. 200810056650 一种制备太阳能电池级多晶硅产品的方法 70. 200810033938 晶粒尺寸可控的多晶硅薄膜制备及检测装置 71. 200810210052 多晶硅薄膜组件的制备方法 72. 200810184199 制备高致密结构多晶硅的改进方法和装置 73. 200810167996 一种太阳能级多晶硅材料的制备方法 74. 200810167817 一种太阳能级多晶硅材料的制备方法 75. 200810043950 自对准叠加双层多晶硅栅结构的制备方法 76. 200810116150 一种流化床制备高纯度多晶硅颗粒的方法及流化床反应器 77. 200810107257 高纯多晶硅棒作为供料棒在单晶硅区域熔炼法中的应用以及制备方法 78. 200880017383 三氯硅烷的制备方法和制备装置以及多晶硅的制备方法 79. 200810201293 磁场下制备多晶硅太阳能电池绒面的方法 80. 200820204447 用于制备多晶硅颗粒的无筛板流化床反应装置 81. 200810046338 一种利用多晶硅生产废物制备无机化工产品的方法 82. 200810143585 多晶硅炉用炭/炭复合材料发热体的制备方法 83. 200810028152 一种多晶硅薄膜的制备方法及其制备系统 84. 200810053244 镍溶液雾滴法制备碟型大晶畴多晶硅的方法及产品和应用 85. 200820153749 一种制备高纯多晶硅的还原设备 86. 200810038676 用于制备高纯多晶硅的装置 87. 200820123351 用于制备多晶硅的还原炉 88. 200810033364 一种用于制备单层多晶硅栅非挥发性存储器的方法 89. 200810237489 一种制备多晶硅薄膜的方法 90. 200810236546 一种多晶硅氢化炉用炭/炭发热体的制备方法 91. 200810239363 基于多晶硅PN结的非制冷红外探测器阵列及其制备方法 92. 200820059460 用于制备高纯多晶硅的装置 93. 200810215096 多晶硅反应炉和多晶硅的制备方法 94. 200810135203 一种制备多晶硅薄膜太阳电池的方法和装置 95. 200810116119 高温真空预处理制备太阳能级多晶硅的方法 96. 200810115482 低磷太阳能级多晶硅的制备方法 97. 200910140420 一种制备多晶硅的方法 98. 200910152012 一种制备绒面多晶硅片的方法 99. 200910145177 铝诱导低温制备大晶粒多晶硅薄膜的方法 100. 200910087482 一种制备粒状多晶硅的新型流化床反应装置 101. 200910098050 利用硅纳米颗粒制备高纯多晶硅的方法及装置 102. 200910051922 一种电场定向凝固提纯多晶硅的制备方法 103. 200910115260 一种多晶硅锭及其制备方法 104. 200910035295 一种用稻壳制备生产太阳能电池多晶硅原料的方法 105. 200910249945 一种太阳能级高纯多晶硅的制备方法 106. 200911000089 多晶硅锗合金及其制备方法 107. 200910248411 一种高温冶金法制备太阳能级多晶硅的工艺 108. 200910244845 一种氢等离子体氛围中铝诱导晶化多晶硅薄膜的制备方法 109. 200910241692 在玻璃衬底上制备型多晶硅薄膜的方法 110. 200920028480 一种制备多晶硅薄膜的装置 111. 200910174675 多晶硅制备用碳部件的净化方法 112. 200910112616 冶金法多晶硅太阳能电池的制备方法 113. 200910093903 一种多晶硅太阳电池及其制备方法 114. 200910152970 一种单晶向、柱状大晶粒的铸造多晶硅的制备方法 115. 200910022540 一种多晶硅氢化炉用炭/炭隔热屏的制备方法 116. 200910073781 一种制备多晶硅的方法 117. 200910000997 一种多晶硅的制备方法 118. 200910099992 在氮气下融化多晶硅制备掺氮铸造单晶硅的方法 119. 200910099994 氮气下融硅掺氮制备铸造多晶硅的方法 120. 200910099995 掺氮的定向凝固铸造多晶硅及其制备方法 121. 200910183867 一种多晶硅太阳电池表面织构的制备方法 122. 200910055509 在多晶硅膜层中形成窄沟槽结构的制备方法 123. 200910032771 多晶硅酸蚀化学绒面制备添加剂 124. 200910138449 多晶硅铸锭炉的耐腐蚀涂层、耐高温保护层及其制备方法 125. 200910115095 一种多晶硅铸锭用坩埚涂层以及制备方法 126. 200910114990 一种用于生长多晶硅棒的硅芯及其制备方法 127. 200910036967 一种利用等离子体提纯铸造一体炉制备多晶硅的方法 128. 200910008900 柔性石墨衬底多晶硅薄膜的制备方法 129. 201010512995 一种多晶硅还原炉用氮化硅陶瓷环的制备方法 130. 201010286555 一种物理除硼制备多晶硅的方法 131. 201010286544 一种物理除磷制备多晶硅的方法及设备 132. 201010243993 利用双层多晶硅器件结构自对准制备微波功率器件的方法 133. 201010125520 制备多晶硅的直流还原系统中大电流并联开关的连接方式 134. 201010226440 纳米改性高效率低成本多晶硅太阳能电池制备工艺 135. 201010244903 一种碳碳多晶硅铸锭炉整体式加热器的制备方法 136. 201010214039 一种多晶硅坩埚涂层制备用浆料以及配置方法 137. 201010126686 一种太阳能多晶硅铸锭的制备方法及装置 138. 201010215099 低钛高纯多晶硅的制备方法 139. 201010187541 一种多晶硅或单晶硅用坩埚涂层及其制备方法 140. 201010112013 一种基于金属诱导的多晶硅薄膜的制备方法 141