切片工艺培训ppt.ppt

主要单元装置1 工装1 工件尺寸选用可挂工装时可适应 156mm 长840mm 1156mm 长420mm 2 采用 2 工件夹紧方式自动夹紧3 液压装置0 75KW泵3 5MPa10L2 主辊轴主辊轴数量2根主辊长860mm主辊外径 350mm 340mm主辊间距560mm轴冷却方式水冷电机输出功率52KW 2台电机额定扭矩250Nm 2台 NTCPV800结构介绍 NTCPV800结构介绍 3 线筒轴最大钢丝储量 120mm 750km钢丝卷螺距0 6mm 0 15mm电机输出功率16KW 2台线筒设置方式立式选购规格采用一次性放线筒时 线与线的绕线间距必须控制0 6mm 厂家推荐 收线筒采用厂家标准 非一次性 4 线筒排线准换装置行程370mm电机输出功率0 4KW 带制动 2台 5 张力调整轮位置行程385mm钢线张力10 50N电机输出功率5 5KW 带制动 2台6 钢线导向轮导向轮直径 80 两个槽 个数12个7 工作台行程370mm 最大380mm 进刀速度0 1 2 5mm min升棒速度0 500mm min电机输出功率0 2KW8 砂浆箱箱容量400L泵输出功率7 5KW液面检测浮动式 NTCPV800结构介绍 工作原理 两根主辊带动均匀缠绕其上的钢丝作高速运动钢丝带动黏附的研磨砂对切割工件产生磨削作用以达到对硅锭进行片状切削的目的 切片原理 砂浆 1 砂浆由悬浮液和研磨砂构成2 目前切片使用混合砂 新旧砂比例为6 5 3 53 研磨砂与悬浮液配置比例为1 1 1 重量比 4 配置完砂浆密度为1 62 1 64之间5 切片时砂浆流量控制在70 85L min 粘棒 1 配胶 A胶水 B胶固化剂 1 1 迅速搅拌直到胶变成均匀紫红色2 根据晶棒一端所标识的晶体编号区分晶棒头尾 要求粘棒时晶棒头对头粘接3 对接棒粘接方法 1 对接中间空出5mm空隙 2 单根棒长度小于210mm4 检查晶棒是否粘歪 确保晶棒与玻璃板边缘平行 玻璃与晶棒倒角边缘无胶残留 目前车间130钢线右侧张力设置23N左侧张力设置22N120钢线右侧张力设置22N左侧张力设置21N若张力不稳则会导致断线 产生厚薄片 TTV等不良情况张力的设定值只能由工艺人员更改 操作人员不得私自更改 张力对切片影响 粘度对切片影响 1 黏度范围在100 210cps2 黏度过大导致砂浆抱团致使砂浆在线网上分布不均 黏度过低钢线带砂能力下降 切割能力变低产生线痕严重导致断线3 温度升高黏度降低 温度降低黏度变高 目前砂浆温度控制在23 25 4 砂浆流量对黏度也会有影响 硅片厚度 1 砂子用的是盛达混合砂粒径范围9 17um2 线锯上装配导轮有350槽距360槽距3 钢线直径有120um 130um4 硅片厚度 槽距 线径 粒径 25 理论片数 晶棒长度 导轮槽距 工艺模拟曲线 进刀位置 工作台速度 进刀位置 钢线速度 工艺参数分析 砂浆更换方案 切片注意事项 1 上棒设置零点时 棒沾到线网即可 不必把零点设置太深2 下棒时注意晶棒是否切透 注意线网是否切到玻璃倒角以上位置 3 由于目前现场钢线螺距不同 在换放线轮时 注意钢线螺距是否与机器上的螺距一致4 热机后准备开机前 确保线网无跳线 导轮上没有碎硅碴 5 机器反切时 注