上线酸槽蚀刻参数DOE分析.doc

I8000 上线酸槽蚀刻参数DOE分析一、实验目的 针对酸槽蚀刻的不良，研究分析影响蚀刻不良的各种因子，首先通过第一阶段实验找出影响酸槽蚀刻不良的显著因子，再通过第二阶段实验去寻找最优参数组合。二、因子筛选 1、酸槽蚀刻原理介绍 酸槽蚀刻为ITO触摸屏制作的关键步骤。针对I8000这个机种的上线为日东双层FILM材料（1220-2L-V270-TFME-340），它的酸溶液配置成分为HCL (36-38%) : HNO3(65-68%) : H2O (纯水)，分别按照50：1：50的比率配制。酸槽的主要目的是利用酸溶液将FILM上多余的ITO导电膜蚀刻掉。请看下面的截面图所示位置：ITO导电膜2、因子选择 根据以往不良记录，产生的酸槽蚀刻不良现象的原因有：耐酸印刷时透版、渗透、套版偏差，耐酸厚度过大或偏小，传动速度太快或太慢，酸溶液的浓度过大过过小，喷压过大或过小，溶液温度过高或过低，材料放进蚀刻槽时操作不当等等。 以上不良中，耐酸印刷时透版、渗透、套版偏差；材料放进蚀刻槽时操作不当；这些是前工序的不良或者人员的问题，因此在第一阶段实验可以忽略这些项目不良。同时，耐酸的印刷厚度要求为812m。在第一阶段实验只考虑以下5个因子：速度，酸液浓度，温度，蚀刻喷压和耐酸厚度。三、第一阶段实验设计1、因子水平对照表因子水平12交互作用A酸槽速度（m/min）1.52.5B酸液浓度（mol/L）4.05.0C溶液温度（）35.0 45.0D蚀刻喷压（kg/cm ）0.51.5F耐酸厚度/8.0 12.0 2、找显著因子 每个实验号做50次实验，用L(2)统计实验结果如下：实验号列号12345产量XKABCDF1111113021112233312211394122224252121243621221447221124382212146K1144150152155159总产量320K2176170168165161Q322016102此得出：S=128.000，S=50.000，S=32.000，S=12.500，S=0.500计算总离差平方和：Q=13024.00，S=224.00，S=1.0003、整理成方差分析表如下：方差来源离差平方和自由度平均离差平方和F值临界值显著性贡献率A128.000 1128.000 384.000 F(1,3)= 34.12*57.14%B50.000 150.000 150.000 *22.32%C32.000 132.000 96.000 *14.29%D12.500 112.500 37.500 *5.58%F0.500 10.500 1.500 0.22%误差1.000 30.333 0.45%总和224.000 8100% 4、第一阶段实验结论由前面可以得出A，B，C，D为显著因子，它们总贡献率为99.33%，F为隐性因子。四、第二阶段实验设计 为了找出最佳的参数组合，故将第一阶段实验找出的显著因子A、B、C、D再进行第二阶段实验，每个因子拟3个水平，每个实验号做50次实验，实验结果如下：1、 因子水平对照表因子水平123交互作用A酸槽速度（m/min）1.01.82.6B酸液浓度（mol/L）4.05.06.0C溶液温度（）354555D蚀刻喷压（kg/cm ）0.51.01.52、 点线图16497351182列号3、 用L(3)统计实验结果如下：实验号12345678911产量XKAB(A*B)1(A*B)2C(A*C)1(A*C)2(B*C)1D(B*C)21111111111114 2111122222223 3111133333321 4122211122322 5122222233132 6122233311223 7133311133226 8133322211330 9133333322119 10212312312130 11212323123235 12212331231333 13223112323339 14223123131136 15223131212236 16231212331220 17231223112327 18231231223129 19313213213132 20313221321234 21313232132336 22321313221335 23321321332144 24321332113244 25332113232230 26332121313342 27332132121120 K1210258257261248280260278245 256总产量812 K2285311267255303274280256267 271K3317243288296261258272278300 285Q107683141552220225529由此得出： S=670.30，S=283.63，S=183.63，S=170.30，S=81.48，S=130.37，S=214.37计算总离差平方和： Q=26074.00，S=1653.85，S=47.564、整理成方差分析表如下：方差来源离差平方和自由度平均离差平方和F值临界值显著性优方案A670.296 2 335.148 42.285 F(2,12)=6.93*A3B283.630 2 141.815 17.893 *B2C183.630 2 91.815 11.584 *C2D170.296 2 85.148 10.743 *D3A*B164.593 4 41.148 5.192 F(4,12)=5.41A*C51.259 4 12.815 1.617 B*C82.593 4 20.648 2.605 误差47.556 6 7.926 总和1653.852 26 5、第二阶段实验结论 经过第二阶段实验，A、B、C、D都是显著因子，而它们之间的相互作用为隐性；所以，最佳参数组合为ABCD 。五、实验确认为了对最优参数进行验证，考虑到质量及制作成本，采