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TCO磁控溅射专业词汇TCO（Transparent conductive oxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃 ，是在平板玻璃表面通过物理或者化学镀膜的方法均匀镀上一层透明的导电氧化物薄膜。AZO ZnO：Al （Al-doped ZnO，Aluminum-doped zinc oxide）氧化铟锡 ITO Indium-Tin-Oxide In2O3：SnO2 氧化锡掺氟FTO SnO2：F 其中AZO ，ITO， FTO均为TCO的一种。磁控溅射 Magnetron sputtering 中频 MF Mid-frequency 直流 DC Direct current 交流 AC Alternating current射频 RF Radio frequency 物理气相沉积 PVD Physical Vapor Deposition 化学气相沉积CVD Chemical Vapor Deposition等离子体增强化学气相沉积PECVD Plasma enhanced CVD 双平面阴极 Double planar Cathode孪生阴极 Twin-Mag Cathode旋转阴极 Rotatable CathodeAZO陶瓷靶 AZO ceramic target高纯度靶 high purity target透过率 transmittance 反射率 reflectivity吸收率 absorbtivity空气质量 AM air mass面电阻 sheet resistance辉光放电 glow discharge起辉电压 discharge voltage打 弧 arcing离子轰击 ion bombardment靶中毒 target poisoning载流子浓度 carrier concentration霍耳迁移率 Hall mobility电阻率 specific resistivity四探针（测量面电阻）Four-point-probe托 架 carrier装片台 Load locking进口室 Entrance chamber加热室 Heating chamber传送室 transfer chamber溅射室 sputter chamber冷却室 Cooling chamber出口室 Exit chamber冷却系统 cooling system抽气系统 pumping system排气装置 exhaust阻挡层 Barrier film透明电极 Transparent electrode工艺气体 Process Gas衬底温度 Substrate Temperature溅射功率 Sputter power功率密度 Power density动态沉积速率 dynamic deposition rate/dynamic sputtering speed预溅射 presputtering溅射速率 Sputter rate靶材利用率 target utilization靶材寿命 target lifetime洛伦兹力 Lorentz force磁场强度 Magnetic field strength惰性气体 Noble gas（Ar Argon）生产速率 growing speed薄膜结构 film structure热电偶 thermocouple靶材冷却 target cooling本底真空 base pressure粗真空 rough vacuum 1.011051.33103Pa高真空 high vacuum 1.3310-11.3310-6Pa超高真空 ultra high vacuum 1.3310-61.3310-10Pa0.5%盐酸 diluted hydrochloric acid刻 蚀 etching在线中频磁控反应溅射 in-line reactive MF magnetron sputtering晶粒尺寸 Grain size阳极，正极 node阴极，负极 Cathode阴极防蚀 Cathodic Protection冷阴极真空规 MPG薄膜电容规 CDG质量流量计 MFC mass flow controller 螺杆泵 Screw Pump旋片泵 Rotary Vane Pump罗茨泵 Roots Pump分子泵 Turbomolecular Pump漏 率 leak rate压缩空气 compressed air节 拍 cycle time锁 阀 Lock valve泵 组 Pump Unit 单晶硅 Mono crystal silicon 晶体硅 C-Si, crystalline-silicon微晶硅 microcrystal silicon非晶硅 amorphous silicon a-Si:H碲化镉 CdTe Cadmium-Tellurid铜铟镓硒 CIGS Copper Indium Gallium DiselenideCIS Copper-Indium-Diselenide砷化镓 GaAs Galllium Arsenid太阳能薄膜电池 thin film solar cell非晶硅太阳电池（asi太阳电池）amorphous silicon solar cell附着力（薄膜与基体间） adhesion均 匀（薄膜厚度） uniformity绝缘的 insulating二极管 Diode施 主 Donator受 主 Acceptor空 穴 Hole电 子 Electron离 子 Ion原 子 Atom光吸收 Absorption of the photons太阳能电池成本收回时间 Marginal cost payment time电池板模块 Module额定功率 Module rated power转换效率 Conversion Efficiency多 子 Majority charge carrier描述半导体里的带电体，通常决定于掺杂的类型，例如在p型多子是空穴，n型多子则是电子。少 子 Minority charge carrierN型半导体 N-Type Semiconductor电池板模块的效率 Module efficiency太阳能电池板上的金属导线 grid额定功率 Module rated power电池板最大功率点 MPP max power point光伏效应 Photovoltaic effectPN结 PN junction晶 片 Wafer Watt-Peak： (缩写 W p)，是描述电池板功率的单位。价 带 Valence band导 带 Conduction band禁 带 Band Gap兆 瓦 Megawatt (MW)BIPV Building-Integrated Photovoltaic NEC National Electrical Code压力单位换算barmbarPaatmTorrmTorr1bar11031050.9870.751030.751061mbar10-311020.98710-30.750.751031Pa(