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文档简介

宏力半导体制造公司流程改善 报告名称 降低目检机台缺失率 项目负责人 李洋浦 项目产生的背景 2011年 A公司向宏力半导体制造公司下5000片晶圆的订单 要求年底之前完成产品交期 问题 为什么有这么多不良品流入客户手中呢 宏力半导体制造公司在完成制造目标的同时 不断出现A公司投诉产品内部被刮伤的质量问题 并将有该刮伤的产品退货 总计达到22片 不良品产生原因 通过质量部门调查 得知刮伤是名为AMWWW的机台造成 该机台上的精钢石的粉末有时会掉落在晶圆上 经过摩擦后会造成晶圆刮伤 目前防止刮伤的产品流入后续工艺的方法是通过目检机台检验 然而 2011年A公司产品总共有30片被目检机台发现 22片被客户退货 缺失率达到42 目检机台缺失原因分析 目检机台的原理是把晶圆放在转轴上转动 上方投射亮光并照射晶圆表面 所产生的反光进入人眼 如果刮伤的晶圆未被发现 将会最终抵达客户手中 通过交流和实验 我们得出造成目检缺失的原因如下 晶圆在转轴上转速过快投射的光线亮度不足晶圆在机台上下翻转不能超过30度生产线员工技能不足生产线员工工作不认真 鱼骨图分析法 光线不够亮 晶圆转速过快 翻动角度限制 员工技能不足 工作不认真 不良品给了客户 目检机台转速优化 机台端有个调节角度的旋钮 最快可以达到1rad s的速度 在这样的速度之下 无法看到晶圆刮伤 改善方法 将机台转速旋钮最大转速调整为0 3rad s 通过实验我们得出在最大转速为0 3rad s时 员工能看到晶圆刮伤 如果大于该转速 将可能造成不良品通过目检机台 目检机台亮度优化 晶圆上方有个投射光线用的灯泡 在使用三个月后将统一进行更换 而我们在使用过程中发现 灯泡用了两个月后亮度就有可以察觉的下降 改善方法 将机台灯泡从三月一换改为两月一换 目检机台晶圆翻转优化 晶圆在目检机台上可以以中心为支点 上下翻动不超过30度的范围 通过这种调节将使员工以最舒适的姿势完成目检工作 改善方法 将晶圆上下翻转最大角度提高至60度 但是这将容易对身高远离平均水平的员工造成疲劳 生产线人员管理优化 针对员工技能不足 我们在每个班选出4个年资超过1年的员工专门负责目检机台 并且相关工程师每季度培训员工一次 对于员工工作不认真 我们做出的改善是规定每片晶圆查看时间不少于1 5分钟 目检缺失的片数直接与绩效挂钩 零缺失有相应奖励 流程改善前后对比 改善前 改善后 机台转速最大为1rad s机台灯泡三个月一换晶圆翻转角度最大30度员工对目检技能不熟练员工缺少相关培训员工查看晶圆时间过短目检缺失与绩效无关 机台转速最大为0 3rad s机台灯泡两个月一换晶圆翻转角度最大60度年资超过一年的负责目检每季度对员工做一次培训员工查看每片晶圆不少于1 5分钟目检缺失与绩效挂钩 流程改善成果总结 2011年12月底完成相应改
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