世界各国洁净室标准规格说明.doc

洁净室标准规格说明（一）下一页目前世界各国虽有自订规格，但普遍还是采用美国联邦标准209为多，今就209D及209E和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表1-1为美国联邦标准209D之洁净室规格。表1-1 美国联邦标准209D洁净室规格 洁净室级数（Class)微尘粒子压力温度风速与换气率（次/hr)照度lux粒子大小um粒子数目Particles/ft3mmAg值域推薦值误差值最大MAX%最小MIN%误差%层流方式0.350.55 m/s1080 162010.511.319.42522.22.8 特殊需求1.4453010 特殊需求55.00100.5105.001000.51005.0110000.51000乱流方式20 次/hr5.010100000.5100005.0651000000.51000005.0700至于209E和209D等最大之不同点在于209E表示单位增加了公制单位，即洁净室等级以“M”字头表示，如M1、M1.5、M2、M2.5、M3.依此类推，其目的在于配合国际公制单位之标准化。M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中0.5um之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，而取指数为之；若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间（即非整数，则以1.5、2.5、或3.5.等表示之。表1-2即为1992年9月新颁布之美国联邦标准209E之内容，前述之M字母后的数字，可从表中0.5um列的数值中求出，读者可试算之。表1-2 美国联邦标准209E洁净度等级微尘粒子0.1um0.2um0.3um0.5um5um单位单位单位单位单位公制英制(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)M13509.9175.72.1430.90.87510.00.283-M1.51124035.02657.501063.0035.31.00-M2350099.175721.43098.751002.83-M2.51012400350265075.0106030.035310.0-M3350009917570214309087.5100028.3-M3.5100-26500750106003003530100-M4-7570021403090087510000283-M4.51000-3530010002477.00M5-100000283061817.5M5.510000-35300010000247070.0M6-1000000283006180175M6.5100000-353000010000024700700M7-10000000283000618001750美国联邦标准FS 209D 都以英制每立方英尺为单位，而日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位；另外209D与日本JIS（B9920-1989）标准中另一不同点为209D是以0.5um之粒子数为计数基准，而日本则以0.1um微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以Class1,Class2,Class3,.Class8表示，即最好之等级为Class1,最差则为Class8,表1-3为日本JIS（9920-1989）之标准规定的粒子上限数（个/m3）。其Class1，Class2.之数目字以0.1um粒子为基准，而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10之幂次方，取其指数而得。表1-3 日本JIS（9920 1989）标准 粒径级数Class1Class2Class3Class4Class5Class6Class7Class80.1101102103104105106107108 0.22242362，36023，600-0.31101011，01010，100101，0001，010，00010，100，0000.5-353503，50035，000350，0003，500，0005.0-292902，90029，000洁净室标准规格说明（二）上一页下一页在德国工业及医学等之多数领域中，洁净室是为相关产业界所重视和期望发展之技术，因此在1967年完成了德国的洁净室规格，在德国规格中洁净室等级之表示法与美国规格不同，其表示法是以4*10”的形式表示粒径0.5um以上之粒子数，而以其中之指数n规定等级，如4*103 即表示等级为3，此等级与美国联邦规格Class100想近似。表1-4为德国规格所容许之粒子数与美国、法国、近似等级之表示。 表1-4 德国规格表 等级微尘粒径(um)与别国等级比较0.515美国法国34*1031*103 -100400044*1041*1040.03*104-54*1051*1050.03*1051000040000064*1061*1060.03*1061000004000000表1-5为美国联邦标准209D标准粒子之数目上限值（个/ft3）（以0.5u粒子为依准）。由于美国与日本之规格中所表示之单位分类不同，为让使用人员有一快速之获知二者之相近标准等级，以期运用于工作上，故有必要将二者之间做一洁净度级别之换算，如表1-6表1-5 美国209D规定粒子数（上限值）等级Class1Class10Class100Class1000Class10，000Class100，0000.135（1，225）350（12，250-0.27.5（263）75（2，630）750（26，300）-0.33（105）30（1，050）300（10，500）-0.51（35）10（350）100（3，500）1000（35，000）10，000（350，000）100，000（3，500，000）5.0-770700*（）内之数值单位：个/M3。表1-6 美日洁净度级别换算 日本美国级别3Class 1级别4Class 10级别5Class 100级别6Class 1000级别7Class 10000级别8Class 100000除了美国、日本、德国、之洁净室标准外，世界上尚有英国、法国、澳洲及韩国、中国大陆之规格，表1-6即为世界各国洁净度等级规格之比较。表1-6 世界各国洁净度等级规格表国名美国美国日本英国德国法国澳洲韩国中国大陆规格FS209DFS209EJIS B 9920BS 5295VDI 2083AFN 4410AS 1386KSQJ2214年度198819921989198919901981198919911991基准粒子(um)0.50.50.10.510.50.50.30.1 0.5单位pcs/ft3pcs/M3pcs/M3pcs/M3pcs/M3pcs/M3pcs/M3pcs/M3pcs/M3Class-1-M10.1um 1-M12-0-M100.1um 51M1.53C1-0.035M1000.1um 1010M2.54D2-0.35M10001100M3.55E or F34,00