已阅读5页，还剩6页未读， 继续免费阅读
版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领
文档简介
第五章 快速热处理技术RapidThermalProcessing 5 1 器件工艺对热退火的要求减小再分布目的 注入离子的电激活快速热氧化氧化层缺陷和界面态的消除消除缺陷和应力金属化 金属硅化反应 玻璃介质 磷 硼硅玻璃 的熔流覆盖层的固化表面的平坦化上述的热处理 多数属于后工序 因而 低温 短时退火被要求 为什么 5 快速热退火 机理 5 3系统 光照加热要求 升降温速度快 升降温均匀 温度测量 热电偶 原理与缺点塞贝克效应 原理 特点 光谱 原理 Exam6 1声波 原理 工艺特点 再分布小 低污染 可以实现快速多温段退火 5 4 塑性应变问题 5 5 杂质的激活短时间获得激活动能 但是无时间建立新的热平衡 超固溶度 瞬时增强扩散Readingmaterial 5 6 介质加工和硅化物的形成 介质 半导体界面态的退火 超薄介质的形成 金属硅化物的再加工
温馨提示
- 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
- 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
- 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
- 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
- 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
- 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
最新文档
- 应急安全培训考证要求课件
- 秋季腹泻疫苗
- 新生儿休克的分型与抢救流程
- 拨款合同(标准版)
- 九江市公租房合同(标准版)
- 数字系统设计与VHDL（第3版）教案-3版-第6章 VHDL基础语法
- 2025年注册公用设备工程师高频难、易错点题附答案详解（基础题）
- 2025年文化遗产数字化保护中的大数据分析与应用报告001
- 2025年康复医疗器械市场增长动力分析及产品创新技术应用案例报告001
- 2025年百货商场数字化门店布局与顾客流量分析报告
- 十二星座知识及性格课件
- 2025年CSCO胰腺癌诊疗指南解读
- 中西医结合防治糖尿病视网膜病变
- 四年级数学上册作业设计全册
- 淘宝客服管理制度+奖金
- 2025年志愿者服务日知识竞赛考试指导题库150题（含答案）
- K3ERPwise老单开发手册
- 诊断学黄疸课件
- 体积单位间的进率（说课稿）-2024-2025学年六年级上册数学苏教版
- 孕期营养管理如何兼顾宝宝和妈妈营养天津市职业病防治院营养科讲解
- 办公设备供货服务方案
评论
0/150
提交评论