無塵室管理要點.doc

無塵室之管理一般注意事項1. 普通注意事項 為保持無塵室的清淨度，必須經常維持正常的氣流狀態 。因此，負責無塵室操作 之專門人員必須經常檢查並防止會擾亂氣流之一切備品、物品等被帶進無塵室內。 但作業上必須之物品或設備盡量維持最少限度，並盡量配置在不會擾亂氣流之位置 為原則。2. 傢俱等設備用之材料無塵室內使用之設備材料，盡量使用不會產生塵粒之不鏽鋼或有適當之表面處理；耐磨性佳之鋼品、鋁製品及優良塑膠製品等。3. 構造上述設備等之構造，盡量採用構造簡單且與其他物品接觸或磨擦時不會產生磨耗粉質，在各角部份要圓滑，避免有突出之角。4. 傢俱等設備之維修 必須在無塵室內用之傢俱等設備必須保持乾淨，有必要補修時立即修理，經常保持良好狀態，修理困難者立即廢棄不用而換新。桌子不得不用木製者，表面須施EPOXY樹脂加工以防止發塵。要用簡單的桌子不能有抽屜、腳板，及側面板等。桌腳下端應套上橡膠或塑膠套。椅子盡量採用沒有背及腳踏板之椅子，椅腳之高度以坐下來腳適當地接觸到地板為原則，萬一非用高椅子不可時要準備腳踏台。椅腳下端應裝有塑膠製之小輪子或應套上橡膠套。為避免產生塵料盡量不使用椅墊(CUSHION)為原則，萬一不得不用椅墊時要用發塵性少之材料完全封蓋，因為椅墊容易損傷而在損傷之狀態下使用易產塵粒，故須特別注意。搬運箱有關原料、半製品或產生之搬運箱及作業上須要之工具箱均須用特製之專用箱，須附蓋，下面裝有橡膠或塑膠者。容易清潔之構造，並須定期檢查及清潔。搬運車構造簡單為原則，不要使用可摺疊式。放置物品之表面材料特別採用耐磨性高者。車輪之軸承必須用充填黃油密封式滾珠軸承，並用耐磨性高之橡膠輪胎。重量輕並容易清潔之構造。須做定期檢查，維修及清潔。筆記用品1. 紙類 要用特別加工，發塵量少（或全無）之紙類。 如需要帶進以一般紙類印刷之文件時需要放在透明之塑膠袋中。或有防塵處理之紙 類印刷者。鉛筆、橡皮擦、自來水筆、蠟筆、普通紙類均不能帶進無塵室內。筆記 時要用塑膠做的原子筆，無塵紙或塑膠紙類。告示板、黑板類普通黑板及粉筆當然不能使用，必要時在準清淨室內（低一級之清淨室）用白板，FELTPEN，清淨室專用之擦布。告示板要用自立式，並附有輪子可移動式者，並放置在準清淨室。告示板之構造為不易聚積灰塵或其他污染物並容易清潔者。告示用之紙當然要用如上項規定之專用紙並告示愈少愈佳。垃圾箱垃圾箱不能放置在比清淨度CLASS 5清潔之無塵室內。無塵室內之製造及有關設備製造及有關設備之選定1. 要選用發塵性少之設備，尤其須注意活動部份之發塵，由於製造、處理而產生之粒子及使用材料。2. 製造及有有關設備之構造3. 容易聚積灰塵粒子或會散發塵粒之構造，盡量避免之。4. 生產用之水、瓦斯、藥品等乃為污染之原因，故應配備過濾裝置。製造及有關設備之配置及裝設1. 當計劃如何配置各種設備時應事先考慮不易聚積塵粒或污染物質之配置方法，並容易 清潔為原則。2. 如真空泵等易產生污染物質之設備，應裝設在無塵室外，但必須裝設在無塵室內時應有適當的覆蓋並做局部排氣。3. 當配置瓦斯管、給水管、電氣配管等能源供給設備時，其構造須考慮到容易清掃，不易聚積污染物為要。或考慮其他方法如設管道間或暗溝等。4. 與製造設備連接之地方也須要慎密考慮。如作業檯之配線等可利用中空之腳柱，配線 在其中，盡量避免露出在外面而使配管複雜，最好內藏於有平坦之表面之包圍內。製造及有關設備使用上應注意事項1.製造及有關設備，有時免聚積塵粒，故要做定期之清潔。2. 磨耗之機件，皮帶等會產生塵粒，故要定期更換。3. 室內之溫濕度控制，尤其對濕度之控制要特別注意；因空調設備如運轉、停機頻繁時4.設備本身會結露而生銹，因此產生塵粒，故須特別小心。製造及有關設備之維護1. 當維修有關設備其產生之塵粒會影響產品，故盡量搬到無塵室外修理。2. 對於修理業者有必要讓他們熟知，並遵守3.3項（進出無塵室人員及在室內應注意事）。3. 如能在靠近無塵室設立一間維護專用之工作房仍為無塵室管理上最理想的規劃。4. 在無塵室內使用之工具原則上要做為無塵室內專用者，除特別理由之外不可帶出無塵 室外。無塵室運轉設施無塵室用之裝置、設備、配件等均能維持良好之無塵室清淨者乃最重要之條件。過濾網（FILTER）1.預慮網或稱初級過慮網（PRE-FILTER）（1）目的 預慮是為延長ULPA(ULTRA LOW PENETRATION AIR)及HEPA(HIGH- EFFICIENCY PARTICULATE AIR)過慮網之使用壽命為目的。以過濾外氣中之粗 塵粒及室內產生之較大塵粒為使命。（2）選用 隨使用環境及使用目的裝設中性能或高性能之過慮網組合1段或2段使用之。（3）管理 裝在HEPA或ULPA FILTER前之預慮網，每個用1次或1次以上做檢查，污染很 厲害者用水洗（水洗式）或更換。纖維質慮網如有破損者應換新。2.終端過慮網(FINAL FILTER) （1）目的 按無塵室清淨度條件之要求過慮0.3 m以上或0.1m以上之塵粒子為目的。 （2）選用 按使用目的考慮粒徑(PARTICLE SIZE)無塵室清淨度、維護管理、壓力損失等各 條件選定HEPA FILTER或ULPA FILTER。 （3）管理 依照 5.5.2（風速）規定測量風速時檢查有無風速減少、風車皮帶鬆弛、送風機 系統或終端 FILTER裝配迫緊（PACKING）之鬆弛、過慮網阻塞，查其原因並 調整之。 填墊材料或封漏材料老化時會產生空氣洩漏，故要做定時檢查及查漏 工作。 依據（7）方法做終端過慮網之查漏試驗發現有漏時應鎖緊螺絲或換新填料，確 定無漏為止。裝設過慮網後每年最少2次檢查FILTER本體週邊有無漏出污染空氣。發現阻塞很厲害之ULPA或HEPA FILTER應立即更換。空氣洗塵室（AIR SHOWER）1. 目的 作業人員或物品要進入無塵室以前先以過HEPA FILTER之高速清淨空氣將附著於人 體，衣服或物品表面之污物吹落並吸收之設備。2.選用 空氣洗塵室進口及出口之間不能同時開啟，同時規定時間之空氣吹出未完前通往無 塵室之門不能開啟，也就是門之開閉要自動式或電磁LOCK式。但逢到臨時緊急情 況時也能隨意打開者。 根據對人及對物之各別用途或每次使用之人數而決定採用之大小或型式，也應考慮 到預備室（前室）與無塵室之配列選用直進型或L型。3.管理 遵照廠商供給之使用手冊（MANUAL）做維修工作，惟吹出口，內壁及底板須每天 清掃一次。至於吹出風速及空氣清淨度監視工作要依照5.5（無塵室監視工作）項之 規定實施。傳遞箱（PASS BOX）1. 目的當物品（含材料、產品或半製品）進入無塵室及防止因規定風量以上之流失而形成無塵室內壓之降下之裝置。2.選用 PASS BOX進出口門不可同時開啓，應裝有連鎖裝置（INTERLOCK STSTEM）。底 板須有耐磨性且平滑而不產生塵粒為原則。 開閉很頻繁時應裝設附HEPA FILTER之空氣門（AIR CURTAIN）以防止外氣之侵入， 同時限制無塵室內清淨空氣之流出外面。3.管理 PASS BOX內部應在每天開工前依照規定之方法擦拭清潔。真空吸塵器1. 目的 吸取無塵室內地板、設備上附著之塵粒或液體以防止這些塵粒之再飛散以達到清潔目的之 裝置。2. 選用 不可擾亂室內氣流很厲者。 移動式真空吸塵器須內藏HDPA FILTER且乾濕兩用者，並自身不會產牛塵粒。3. 管理 無塵室用真空吸塵器應為無塵室內專用者，不可在無塵室使用，不用時塵於置在次級無塵 室中，每次使用後應清掃吸管等吸氣系統。氣闡（緩衝室）（AIR LOCK）（作業人員之退出用）1 .目的 AIR LOCK是作業人員退出無塵室時使用，目的是防止一定量之空氣流出外面。2 .選用 AIR LOCK 之清淨度及氣壓比無塵室低但比鄰接之房間高為原則。 無塵室之間最好是採用密閉型及自動開閉式。入口及出口門應裝連鎖裝置（INTER-LOCK） 防止同時開，或裝指示燈，可以顯示出口門開著。 3 .管理 AIR LOCK內不可放置任何物品。 應按照規定之方法做定期清潔。依據5.5（無塵室內監視方法）之規定定期測試室內壓力 及塵埃濃定。 預備定（AIR LOCK）（物品搬入及搬出用） AIR LOCK：氣壓平衡阻隔室。1. 目的不能通過傳遞箱（PASS BOX）之較大物品，甚至出入時不可使無塵室之氣壓下降，或由於流失之空氣量太大以致無塵室內之清淨度降低，或擾亂正常氣流，此AIR LOCK有緩衝之用。入口及出口門應裝連鎖裝置（inter lock）防止兩個門同時開，或裝指示燈可顯示出口門是開著之狀態。若要搬入相當大之物品時須隨時可以監視物品表面之清淨度為要。如上述物品沒有達到規定之清淨度，必須附備清淨裝置，因此視其需要，要裝有清淨裝置之AIR LOCK。2. 選用3. 管理原則上AIR LOCK內不可放置任何物品。定期按照規定之方法做地面、壁、門、天花板之清潔工作。並依照（無塵室內之監視方法）之規定定期測試室內壓力及清淨度。確認有無維持規定之條件。對無塵室之器材搬入與搬出 一般而言應遵守下列5項原則：1. 搬入無塵室之器材一另件、備品、工具、設備應維持在最小限度，並要完全清潔後始可搬入。2. 已清潔並在完全清淨狀態下被保管之器材應放入密閉之容器，然要搬入前應先清潔容器外表。或用雙重包裝時搬入前提時）先取開外層包裝後再搬入也可以。3. 為防止搬入器材至無塵室因門之開閉而產生擾亂室入氣流而影響清淨氷，故盡量利用傳遞箱（PASS BOX）或預備室（AIR LOCK ROOM）。4. 要搬比較大型之器材進入無塵室時，為避免影響到無塵室內之氣流狀態及清淨，盡量利用預備室（AIR LOCK ROOM），並避免在作業中搬入上述大型器材。5. 須要保持良好清淨狀態之中間製品，等要搬出無塵室時，須經過傳遞箱（PASS BOX），以防止外面空氣之侵入，及門之開閉時產生之室內氣流之流失與發塵至最小限度。搬器材進入無塵室之清潔方法1. 搬入器材之清潔方法須依污染物之種類，物品之形狀、構造、材料、所要求之清淨度而由專業人員決定。（a） 搬大型物品進入無塵室時事先在一般環境之污染區域以壓縮空氣或普通真空吸塵器做初次清潔，然後在次清淨室使用無塵室內專用真空吸塵器或以擦拭方法施以必要之清潔。（b） 無塵室內用之所有小物品應遵照專業人員指示在次清淨室內依照計劃之時間，以擦拭、或超音波洗滌方法完全清潔後放入經清潔之搬運箱搬入。2. 有必要在無塵室內再行清潔時，則在無塵室內裝設清潔用設備，並對此設備施以局部排氣以免污染室內。無塵室至監（MONITORING IN CLEAN ROOM）氣流1. 無塵室內之氣流形式（AIR FLOW PATTERN）是否符合設計之要求，須做氣流測試確認。2. 氣流測試最好採用污染無塵室之可能性較少之塔夫特（TUFT METHOD）法。3. 氣流測試原則上由專業人員施行之。4. 氣流測試應在專業人員決定之作業區域及容產生亂流之位置施行，每年最少做1次並記錄結果。5. 專業人員應將測試記錄結果與設計值做比較，檢討並判斷現狀是否符會設計條件。風速1. 在無塵室內測試風速之目的是要確定空氣流形式（AIR-FLOW PATTERN）是否符合規定。2. 風速測試用之儀器應採用JIST8203（攜帶用熱式風速計）規定或同等品。3. 原則上風速之測試應由該無塵室之專業人員施行。4. 風速測試除了測試各HEPA FILTER之代表點之外，應在專業人員決定之位置及高度施行，而每個月1次以上之頻度行之並做記錄。5. 專業人員須將測試記錄結果與設計做做比較，並檢討現狀是否符合設計要求。風量1. 無塵室內送風量是否符合設計要求，由風速測試結果計算之。2. 為算出風量之風速測試結果根據（2）之規定。3. 為算出風量之風速測試原則上由該無塵室之專業人員行之。4. 為算出風量之風速測試最好在送風管裹面行之，但也可以在各HEPA FILTER之代表點測試。測試方方法、測試須度，由該專業人員決定並做記錄。5. 該專業人員應由風速測試記錄算出之風量與設計值做比較並檢討現狀是否符合設計要求。空氣壓1. 測試無塵室之空氣壓其目的為高清淨度無塵室與次清淨度無塵室之間有無保持固定之差壓，高清淨度室空氣壓應比次清淨度室略高，以免被污染之空氣侵入高清淨度室內。2. 空氣壓之測試儀器須能夠測試到該無塵室內外之差壓至0.98Pa（0.1mmAg）之壓計或可代替之測試儀器為準。3. 測試空氣壓原則上由該無塵室之專業人員行之。4. 測試空氣壓應該於該無塵室在正當運轉狀態下而在作業開始前及作業終了後施行並記錄，但必要時要隨時測試並記錄。5. 該無塵室之專業人員須將測試記錄結果與設計值比較，並檢討現狀是否符會設計條件。室溫與相對濕度1. 無塵室內之溫濕度測試之目的為檢查其對製程（PROCESS）之影響與對作業人員之舒適性，並是否與設計條件符合。2. 溫濕度之測定儀器，原則上使用ASSMANN通風式乾濕球溫度計或有相同性能之其他乾濕球溫度計如手搖式（SLING PSYCHROMETER）者。3. 溫濕度之測試應由專業人員施行，並由其人員決定測試之位置與高度。4. 溫濕度之測試應於該無塵室在正常運轉狀態下而在作業開始前及作業終了後施行並做記錄，但必要時須隨時測試並做記錄。5. 關於無塵室溫度分佈，須由專業人員根據5.1（空氣清淨度之測試須頻度）之規定測試與記錄。6. 該無塵室之專業人員須將測試記錄結果與設計值比較並檢討現狀是否符合設計條件。7. 對溫度變化很敏感之製造，為了感知急激之溫度變化，須裝設自動溫度警報裝置。必要時須在適當之位置裝設警報裝置以便空調系統發生異常情況時可立即發出警報。8. 對濕度特別敏感之製品必須另採取特殊對策。空氣清淨度之測試頻度CLASS5 以下5以上測試頻度每月1次每3個月1次空氣之清淨度1. 無塵室內飄浮在空氣中之微粒子影響製程（PRO-CESS）甚鉅，故必須按時測試浮游微粒子，濃度以檢查是否符合規定。2. 浮游微粒子濃度久測試儀器應採用JIS B9221（光散亂式粒子計數器）所規定者或有同等性能之儀器。3. 浮游微粒子濃度瀃定塵由該無塵室之專業人員在規定之位置及高度測試，另者測試對象粒徑也應由該專業人員決定。4. 浮游微粒子濃度測試應遵照JIS B9920(無塵室中浮游微粒子測試方法)規定依表5-1之頻度施行並做記錄。（備註）測試時，其空氣體積總量不管是繼續或?續須達到 10M，如可預期粒子個數濃 度將超過50010個M時，在其濃度附近之計數值範圍內可減少測試空氣總體積，但 不可低於0.110M。5. 該無塵室之專業人員須將測試記錄果與設計值比較並檢討現狀是否符合條件。6. 除了定期做浮游微粒子濃度之測試之外，原則上也應一年做一次查漏試驗。另者ULPA、HEPA FILTER更換後或發現空氣清淨度有異常時也應做上述測試工作。7. 做查漏試驗時應拆除ULPA、HEPA FILTER面上之整流格子（GRILL）後，將PARTUCLE CO-UNTER（光散亂式粒子計數器）之檢出端（空氣進口嘴管）距離ULPA-HEPA FILTER面吹出口約10mm下流之位置，由FILTER之一端至另一端以6cm/sec之速度平行移動測試，最少以30mm之間隔（PITCH）移動測試做FILTER全面之檢查。有害瓦斯、微生物、其他1. 考慮到對作業人員之健康及對製程（PROCESS）之影響，視需要須做有害斯、浮游微生物、放射性元素，必要氧氣濃度等之測試，並檢查其數字是否符合規定。測試對象物質由該無塵室專業人員選定。2. 測試上述對象物質之儀器，參考JIS等有關規定，並由該無塵室專業人員選定。3. 上述測試之頻度依地方之環境條件、無塵室之運轉條件等方而專業人員決定，並由該人員做測試及記錄。4. 該無塵室之專業人員須將測試記錄、結果與設計值比大較並檢討現狀是否符合條件。無塵室設備之清潔清潔人員之管理與該無塵室內作業人員相同。清掃用衣服1. 無塵室作業人員或清掃專業人員要做清掃前須按照3.3.1（2）規定之順序用衣鞋。（1） 辦公室等非清淨區域之清掃時一般之外出用衣服或外套、施鞋或布鞋。（2） 有更衣室等次，無塵室之清掃時（a）CLASS 5及CLASS 6之場所 無塵衣、無塵室專用布鞋、或鞋套及戴帽子。（b）CLASS 3及CLASS 4之場所 無塵衣、無塵室專用布鞋或鞋套或長統鞋、戴子或戴頭罩。（3） 無塵室遵照（無塵室用衣服）之規定。無塵室設備之清掃順序1. 無塵室附屬設備之清掃應在作業終了後施行。2. 無塵室內部之清掃應在運轉中施行。3. 清掃工作完成後要等到無塵室之清淨度達到規定後始能停止運轉。清潔用工具無塵室內用之清掃工具為防止再污染，應依各室之清淨度級各使用專用之工具。1. 真空吸塵器依據5.3.4項規定。2. 擦拭用用具（1） 應使用發塵性甚少之無塵室專用製品。（2） 裝清淨水或其他清潔用液體之容器，應使用不銹鋼製或高級塑膠製品，其容量以1010M（10公升）左右較適當。（3） 要擦拭高處時最好採用陽極處理過之鋁製（Alu-mite）爬梯，但梯腳應裝有止滑板。清潔用液體1. 水（1） 普通之自來水含有固體微粒子、有機物、礦物質等故不能用於無塵室之清潔用。（2） CLASS 3，CLASS 4無塵室之清潔用欲應使用經過孔徑0.2m之薄膜過濾網過濾者。（3） CLASS 5，CLASS 6無塵室之清潔用水應使用經過孔徑0.8m之薄膜過濾網過濾者。2. 清潔用水溶液（1） CLASS 3，CLASS 4無塵室之清潔用水溶液應用10公升容器，以30g（公克）之低殘留性之中性洗劑，配1L（公升）自來水之混合比率靜靜地攪拌後，經過孔徑0.2m之薄膜過濾網網過濾者。（2） CLASS 5，CLASS 6無塵室之清潔用水溶液如上述（1）項規定混合液，但經過0.8m孔徑之薄膜過濾網過濾者。擦拭方式1. 擦拭用用具（1） 表二例示擦拭用用具之清洗方法。（2） 為防止再污染，擦拭用用具應依各清淨度級（CKASS）區域個別採用專用之具。（3） 使用中之擦拭用用具要隨時用岄視檢查，污染時把它降格使用，或用在準備清淨室（準備室）等地方，污損很厲害時應廢棄。2. 擦拭工作（1） 擦拭用工具每在次擦拭後應清洗乾淨。（2） A-擦拭方式擦拭用用具浸在如2（1）所示之清潔用水溶液中，抂乾後始可擦拭。擦拭後立即用別的擦拭用具浸在1（2）之淨水中完全扭乾後始可擦拭被清潔面，視必要，做重覆工作至完全乾淨為止。（3）A-擦拭方式擦拭用用具浸在如2（b）所示之清潔用水溶液中，抂乾後始可擦拭。擦拭後立即用別的擦拭用具浸在1（c）之淨水中完全扭乾後始可擦拭被清潔面，視必要，做重覆工作至完全乾淨為止。 （4）B-擦拭方式擦拭用用具浸在1（b）所示之淨水中，完全扭乾後始可擦拭被清潔面。必要時須重覆此工作。（5）B-擦拭方式擦拭用用具浸在1（c）所示之淨水中，完全扭乾後始可擦拭被清潔面。必要時須重覆此工作。（6）擦拭地面、壁、天花板等廣大之被清潔面時要適當地次數更換拭用具。 用以清洗拭用用具之2規格之清潔用水溶液及1(2)或(3)所示之淨水，在每次清洗後更 換較理想，但比較乾淨時亦應每清洗3次後更換為宜。3. 附配件或其他附屬設備之擦拭方式（1） 容易移動之無塵室附屬設備應搬到準清淨室（預備室）清潔之工作檯上，在無塵室清掙工作同時做擦拭工作。（2） 無應室之清掃工作完了後，擦拭完成之附配件或無應室附屬設備應則配在所定之位置。（3） 附屬設備之清掃方法及清掃須度之例子如表三所示。室內之清掃方法 室內之地面、窗、玻璃、壓花板之清掙例子如四所示。表二、擦拭用用具清洗方式一例擦拭用用具清洗頻度無塵室CLASS 3CLASS 4無塵室CLASS 5CLA