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文档简介

1 真空設備應用 報告人 Ko Min 2 內容 真空歷史背景為什麼用真空真空系統元件介紹真空鍍膜設備介紹真空鍍膜產品目前與未來 3 真空歷史背景 1643 義大利托里切利之水銀管實驗1654 德國葛瑞克證明大氣的巨大壓力 馬德堡半球1662 英國波以爾定律1879 瑞士白努力定律1835 化學濕式法澱積了銀鏡膜 它們是世界上最早的光學薄膜1905 德國蓋德機械幫浦1936 油擴散幫浦 4 取得真空環境後可產生大氣中沒有的新現象 提高電熱絕緣性能 保溫瓶延長粒子飛行路徑 陰極射線管去除周圍氣體屏障 真空冷凍乾燥減少有害氣體作用 電燈泡高速佈滿物體表面 鍍膜 約mm2 s有105個分子 10 1pa只要幾百分之一秒 為什麼用真空 5 真空鍍膜技術應用 手機業 手機機殼 按鍵 屏幕 EMI 電腦業 EMI 裝飾 印刷電路板 BGA 軟性基板 製鞋業 Clean 裝飾 被動元件 晶片電阻 汽車業 車燈 裝飾 模具業 抗沾黏 耐磨耗 光電業 LCD OLED Solar TouchPanel 其它 半導體 刀工具 光學鏡片 6 真空鍍膜設備應用 7 如何抽真空 粗抽pump RP BP 油式迴轉pump 魯式pump Drypump BP 乾式pump 高真空pump TurboMolecularpump 渦輪分子pump Cryopump 冷凍pump DiffusionPump 擴散pump 8 真空系統元件介紹 9 粗抽PUMP 10 高真空PUMP 11 真空計 12 真空閥門 13 電源供應器 DC RF MF 14 真空設備介紹 15 批次式 batchtype 濺鍍系統 16 批次式 batchtype 濺鍍系統 17 連續式 立式In line 濺鍍系統 18 連續式 臥式In line 濺鍍系統 19 Cluster 20 Cluster 21 Cluster 22 CVDFurnace 23 電漿 24 真空鍍膜產品 25 ThinFilminLCD TFT ITO ARCoating BM 26 OLED 27 太陽能電池 28 LED 29 LED製作流程 原料 磷 砷 鎵 單晶成長 單晶片 磊晶膜成長 液相磊晶 LPE 氣相磊晶 VPE MOCVD 電極圖形製作 鍍製電極薄膜 晶片磨薄 鍍製電極薄膜 晶粒切割 封裝 成品 切割 研磨 拋光 上游中游下游 30 其它鍍膜應用 31 其它鍍膜應用 32 真空鍍膜未來 33 各式手機 平板電腦所用觸控面板技術 34 35 從上述中我們可以了解 真空鍍膜技術及設備在當今和未來都擁有十分廣闊的應用領域和發展前景 在目前大規模半導體之電學膜 在數字式縱向與橫向均可磁化的數據記錄儲存膜 在能充分展示和應用各種光學特性的光學膜 在TFT LCD平面顯示器上的導電膜及増透膜 在建築 汽車行業上應用的玻璃膜及裝飾膜 在包裝領域用防護膜 阻隔膜 在工具 模具上應用的耐磨超硬膜 在奈米材料
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