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文档简介

薄膜XRD测量问题，BRUKER D8 FOCUS 能否做掠入射小角衍射？想请教各位高手一个问题。我想测一个薄膜的结构，薄膜厚度（30nm），在XRD(D8 FOCUS)上测了，只有衬底的峰。经过查阅，对于薄膜XRD测量应该用小角衍射（原理还没弄清楚），我想问下BRUKER D8 FOCUS XRD能否做掠入射小角衍射？测薄膜一般要配Gbel镜，否则强度可能太弱。Bruker D8 FOCUS能做小角衍射，但不明白“对于薄膜XRD测量应该用小角衍射”出自何处？你想测什么呢？“薄膜的结构”指的是物相还是多层膜的次序或表面及界面粗糙度？做薄膜研究既可以通过反射也可以通过掠射。反射主要适合300-400 nm厚以下多层膜及薄膜，可测膜的厚度、膜及衬底的密度、表面及界面粗糙度、膜的次序，对样品定位及入射光束的准直要求较高；掠射可测多层膜及薄膜的物相分析、晶粒大小测定、薄膜次序及择优取向测定。基本配置的D8 FOCUS做一般测试还凑合，但没有特殊附件不适合测薄膜。我想测的是薄膜的物相和择优取向。小角衍射和掠入射衍射有区别吗？是不是Bruker D8 FOCUS能做小角衍射，但不一定能掠射测薄膜物相？薄膜厚度大概在30nm左右。是有一定区别的。薄膜反射研究光路薄膜反射D8Advance实际配置示例薄膜掠射研究光路薄膜掠射D8Focus实际配置示例用公式可以算出，对一般的材料，40kV/40mA下X-光的穿透深度可达几十微米，因此如果薄膜仅厚30nm，必然能透过薄膜测出衬底。Bruker D8 FOCUS肯定能做小角衍射，也能掠射测薄膜物相，只是在不配Gbel镜时，基本配置的D8 FOCUS测量出薄膜物质的强度可能太弱，对30nm厚的膜可能不会有很好的信噪比。所以说“做一般测试还凑合，但没有特殊附件不适合测薄膜”。对不起，我没注意看问的是小角衍射和掠入射衍射的区别，而回答反射和掠射的区别了。个人理解小角衍射和掠射衍射没什么区别，着重点都是X-光入射角度很低。如果薄膜只有30nm的厚度，是看择优取向和物相，建议做掠入射X射线衍射；如果看多层
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