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SENTECHInstruments硅太阳能电池薄膜测量的领导者 我们能够测量的材料 薄膜厚度折射率吸收系数碱法腐蚀 酸法腐蚀多晶硅和粗糙表面单晶硅太阳能电池表面AR膜基于玻璃基底上的多层薄膜的太阳能电池 硅电池表面的SiNx膜 薄膜太阳能电池 Basics 碱法腐蚀多晶硅太阳能电池 酸法腐蚀多晶硅太阳能电池 粗糙表面单晶硅太阳能电池 我们能够测量的材料 Basics 硅太阳能电池测量的挑战 宏观粗糙表面使入射偏振光散射非常严重 反射光强极低 接近探测器噪声的强度 散射使入射光线部分去偏振 常规椭偏仪只能够测量完全偏振光 Basics SENTECH解决方案 分别针对激光和光谱椭偏仪的高灵敏度探测单元专用聚焦光学组件补偿器测量模式和软件能够对测量进行退偏纠正 Basics 膜厚梯度 散射光线 粗糙表面 聚焦角度 透明基底背板反射等都能够减少光的偏振程度 这就是退偏振效应 真实偏振状态只能够通过添加补偿器才能测量 常规椭偏仪的硬件和软件只能够分析从样品表面反射的完全偏振光 它们不能分析部分偏振 UweRichter ThinSolidFilms313 314 1998 pp102 107 Applicationofthedegreeofpolarizationtofilmthicknessgradients 去偏振效应 Basics 范例 退偏效应 2 聚焦角度 测量结果 未修正 610nm n633 1 447修正后 600nm n633 1 461 Basics 工业应用解决方案 光电行业 SENTECH先进激光椭偏仪SE400adv 用于测量单晶硅和多晶硅太阳能电池表面SiNx薄膜 SolutionsLE 激光椭偏仪SE400adv 退偏纠正技术聚焦光学组件改进的信噪比 SolutionsLE 工业应用解决方案 使用聚焦光学组件高灵敏度探测器 没有聚焦光学组件标准探测器 SolutionsLE 激光椭偏仪SE400adv 工业应用解决方案 SolarProbe选项 针对任何种类硅太阳能电池的样品台和聚焦光学系统 SolutionsLE 激光椭偏仪SE400adv 工业应用解决方案 粗糙表面单晶硅电池测量装置 SolutionsLE 激光椭偏仪SE400adv 工业应用解决方案 玻璃基底薄膜太阳能电池 反射式膜厚仪FTPadv 在线监测大面积玻璃基底上的TCO薄膜厚度 SolutionsFTP 工业应用解决方案 全自动光谱椭偏仪SENDURO 多点测量自动样品校准按键式操作精度 t 0 1nm n 0 001要求光滑表面 SolutionsSE 工业应用解决方案 R D解决方案 SEsolar SolutionsSE SEsolar 针对硅太阳能电池测量而设计HighsensitivedetectionunitXe弧光灯光源波长范围350 850nm高稳定性补偿器 用于偏振角度测量软件具有退偏纠正效应SolarProbe 针对单晶硅和多晶硅太阳能电池精度 t 0 5nm n 0 01 k 0 01 SolutionsSE R D解决方案 SEsolar 碱法腐蚀多晶硅表面的101nmSiNx薄膜 SolutionsSE R D解决方案 SEsolar SolutionsSE R D解决方案 SENresearch光谱椭偏仪系列 SolutionsSE R D解决方案 材料研究 宽波段光谱椭偏仪 190nm 2500nm波长范围 SolutionsSE R D解决方案 BK7玻璃基底上的多层AR膜1 不同入射角下的测量和拟合数据 BK7 50nmY2O3 24nmSiO2 136nmTiO2 105nmSiO2 SolutionsSE R D解决方案 BK7 50