FPC镀铜工艺规程.doc

LONGXIN龙芯柔性电路板有限公司DongGuan Long.FPC.Xin Co.,Ltd.镀铜工作指示内部受控文件严禁私自以任何形式全部或部分复制 姓名部门职位签名日期拟制陶兴平工艺部主管审核陶兴平工艺部主管侯向辉制造部主管陶兴平品质部主管批准肖海总经办厂长东莞龙芯柔性线路板有限公司文件编号：LX-MEI-TD-002 版次：A.0 页码： 1/13修改履历版次修改原因文件名作成日期修改人A.0新规作成LX-MEI -TD-0022011-04-01陶兴平 文件编号：LX-MEI-TD-002 版次：A.0 页码： 2/13作业指导书编 号LX-MEI-TD-002版 次A.0页3/13生效日2011-04-01名称镀铜工作指示1. 目的：1.1本规程确立FPC镀铜工艺及作业规范，确保电镀作业被有效的完成，并获得最佳的电镀效果；1.2本规程为生产、工艺、品质等有关人员提供操作和监控的依据。2. 适用范围：适用于本公司生产各种需要电镀的产品。3. 使用的材料、设备、工具：电镀铜药水、电铜手动线、挂具、清洗机，电流钳表、金相显微镜。4. 原理：是把双面板或多层板的通孔或盲孔在化学镀铜的基础上，通过整板电镀或图形电镀来实现层间可靠的互连，使产品表面或孔内镀上一层均匀的镀层，使之加厚加强。5.作业方法：5.1各药水（缸）的作用：养板槽：防止氧化保持铜面亮洁；酸洗：除去Cu面氧化，减少对铜缸的污染,维持铜缸酸度；镀铜：加厚孔壁及板面铜层厚度；5.2作业流程：5.2.1电镀铜开关机方法：5.2.1.1开机方法： 镀铜线:开电源后打开过滤，打气，温控摇摆，震动，再打开各整流器电源并设定相应电流。 5.2.1.2关机方法：停止生产后关掉过滤，打气，温控摇摆，震动。注意:镀铜缸如四小时内需生产，不必关闭过滤及冷却。关闭所有处理槽上的进水阀门；关闭所有的温度控制器开关、关，闭所有的过滤泵开关；关闭总电源开关。作业指导书编 号LX-MEI-TD-002版 次A.0页4/13生效日2011-04-01名称镀铜工作指示5.2.2.镀铜作业流程：已沉铜板上板 酸浸电镀铜水洗水洗下板5.2.3作业流程操作示意图： 上板 上飞巴 酸洗 镀铜双水洗 下板 烘板作业指导书编 号LX-MEI-TD-002版 次A.0页5/13生效日2011-04-01名称镀铜工作指示5.2.4 作业参数工序缸体（升）药品成份参数设定操作时间分析频率滴液 时间搅拌 方式最佳值控制范围(S)(S)酸浸700H2SO42%1%-3%60-180每班一次10-20无温度常温电镀铜1800CuSO45H2O75g/L60-90g/L按作业流转卡厚度要求）2天/次10-20打气 过滤H2SO410%9%-11%CL-60ppm40-80ppm温度252030双逆 水洗700室温/市水30-90无10-20流动水注意：1.沉完铜的合格产品如不能及时电铜可先泡在5%柠檬酸中（两小时更换一次），超过4H以上须IPQC确认背光合格后方可生产，如背光不合格需要返工沉铜； 2.镀铜电流密度1-3ASD，实际电镀铜厚度根据流转单要求。5.3各缸开缸步骤和操作条件缸名 开缸步骤操作条件酸洗1、加入3/4体积的自来水,缓慢加入14L H2SO4(AR级)；2、补加水至标准液位,待温度降至30下方可生产。1、温度：室温2、浸液时间：13Min镀铜1、加入2/3缸体积的DI水,开启打气和过滤；2、缓慢分批加入200LH2SO4(AR),注意温度不能超过70；3、缓慢分批,均匀加入135Kg CuSO4 5H2O（AR级）；4、待温度降至30以下,开始加阳极,钛蓝须外套PP阳极袋；5、用纯净水补至液位。6、碳芯过滤48小时,然后取出炭芯,换上棉芯；6、加入铜光剂9L然后用0.5ASD、1ASD、2ASD的电流密度分别电解4小时、2小时、1小时；7、根据化验分析结果及哈氏槽试验调整药水组分和光剂至正常范围内，然后试产。1、温度: 25(2030)2、镀铜参数: 1.7ASD*15Min3、工艺配备:摇摆、打气、过滤、冷却4、后处理:二级溢流水洗作业指导书编 号LX-MEI-TD-002版 次A.0页6/13生效日2011-04-01名称镀铜工作指示5.4各缸开缸及药水添加要求缸名体积控制要求开缸用量添加要求换缸要求镀铜(5-10#)1500LCuSO45H2O 75g/L(6090g/L)115 Kg1、按每天分析结果补加CuSO4.5H2O(AR级）、H2SO4(AR);HCL（AR级）；2、铜光剂依据200-300ml/1000A*H添加；辅助剂2000-3000M2添加1-2L3、每周根据哈氏槽试验调整一次铜光剂含量。H2SO4 100mL/L9%-10% 150L铜光剂 5ml/L(210ml/L)7L铜光剂酸洗700L2%(1-3%)14L正常生产时依据分析结果补加每周整缸更换两次6. 维护和保养：6.1槽液维护：缸名保养频率保养项目保养方法验收保养标准酸洗一次/每班周边环境清扫、清洁、整理地面不积水，杂物等清扫干净，生产板及其它物品摆放整齐两次/每周换缸1、 排空，用洗缸扫把清洗2、 按开缸步骤进行开缸缸沿、缸壁，缸内没有铜粒等杂物作业指导书编 号LX-MEI-TD-002版 次A.0页7/13生效日2011-04-01名称镀铜工作指示镀铜一次/每班阳极杆、阴极杆、V座轮用海棉或干净的碎布蘸稀硫酸（1%-3%）擦拭干净，再用清水抹干净。1、极杆、阴极杆、V座没有铜结晶、杂物等。2、没有污物掉入铜缸一次/三天后水洗缸将水洗缸水放掉，用清水冲洗干净用扫把清洗干净，缸内没有铜粒等杂物两次/每月过滤棉芯更换新的棉芯，更换前用清水浸泡24小时干净、没有杂物残留一次/每周磷铜球（含磷量）每周补加一次，每月清洗一次阳极，具体见“工艺维护”中说明1、磷铜球清洗后需裸露出新鲜的铜面；2、电解后磷铜球表面需生成阳极膜。两次/每月碳芯过滤每次48小时，同时弱电解2H/一次/月阳极清洗具体见“工艺维护”中说明1、阳极袋和钛蓝干净、无污物；2、磷铜球清洗后需裸露出新鲜的铜面；3、电解后磷铜球表面需生成阳极膜。一次/半年碳处理具体见“工艺维护”中说明1、阳极袋和钛蓝干净、无污物；2、磷铜球清洗后需裸露出新鲜的铜面；3、电解后磷铜球表面需生成阳极膜；4、哈氏槽试验观察试片无光泽。镀后养板槽一次/每班换缸排空废液，用洗缸扫把清洗，用清水冲洗干净缸沿、缸壁，缸内没有铜粒等杂物拖缸板槽一次/两周换缸排空废液，用洗缸扫把清洗，用清水冲洗干净缸沿、缸壁，缸内没有铜粒等杂物硝铜槽一次/每周换缸排空废液，用洗缸扫把清洗，用清水冲洗干净缸沿、缸壁，缸内没有铜粒等杂物6.2 工艺维护：6.2.1 H2SO4、CuSO45H2O、Cl-的添加按照化验单分析结果添加；6.2.2 正常生产时每1000AH（安培小时）补加光剂200-300ml,电流密度控制范围1-3ASD；6.2.3 Cu缸不生产时将打气关闭，以免镀液对阳极的溶解；6.2.4 阳极(磷铜球)添加：每周补加一次，具体方法如下：6.2.4.1先将磷铜球用2% 的H2SO4溶液浸泡10-20分钟，然后用DI水冲洗干净后加入钛蓝，添加作业指导书编 号LX-MEI-TD-002版 次A.0页8/13生效日2011-04-01名称镀铜工作指示时应小心，注意不要将铜球掉入缸内，并且铜球要填充实，用干净的塑料棍子捅钛蓝进行检测，未加满应及时补充，但磷铜球补加不可超出液面1cm； 6.2.4.2补加完分别用0.5ASD、1ASD、2ASD的电流密度分别电解4小时、2小时、1小时。6.2.5 当Cu缸停产后重新使用时须对其进行拖缸维护处理：6.2.5.1 停产8小时，用1.5 ASD的电流密度拖缸1小时；6.2.5.2 停产16小时，先用2ASD的电流密度拖缸30min，再用0.5ASD的电流密度拖缸30min，然后用1.5ASD的电流密度拖缸2小时。6.2.6镀铜槽倒槽大处理：6.2.6.1镀铜槽清洁：用5um滤蕊过滤泵将槽液抽至清洁干净的备用缸中，检查过滤嘴及打气管有无堵塞并排除；在药缸内加入3/4体积的水，加入25Kg的NaOH（注意NaOH加入应边溶解边添加，不得直接加入缸内，否则会烧坏缸壁），打开打气，过滤循环2H，然后将NaOH溶液排掉，水洗两次，再加入100L CP级硫酸，循环1H，排掉废液。最后加入3/4体积的水循环0.5H，排掉废液；将缸底及过滤泵冲洗干净，再将槽液抽回缸内。6.2.6.2阳极袋清洗：每1个月一次用清水将阳极袋中的污物冲洗干净；重新套在钛蓝上。 6.2.6.3钛蓝清洗：旧钛蓝在每次阳极维护期间，用自来水冲洗干净即可使用；新钛蓝先用3-5% NaOH溶液浸泡48小时，用水洗干净后再用3-5%H2SO4溶液浸泡48小时，用水冲洗干净后即可使用。6.2.6.4磷铜球清洗：将需要清洗的磷铜球集中在一个水洗缸中，用自来水冲洗两次；用5%的稀硫酸浸泡10-20分钟，浸泡过程中要不定时用干净的塑料棍子搅拌去除氧化层，然后排掉；用自来水清洗干净后装回钛篮。6.2.6.5阳极袋、钛篮、磷铜球清洗完毕后，分别用0.5ASD、1ASD、2ASD的电流密度分别电解4 小时、2小时、1小时，同时进行碳芯过滤48小时。作业指导书编 号LX-MEI-TD-002版 次A.0页9/13生效日2011-04-01名称镀铜工作指示6.2.7 Cu缸每生产6个月进行一次碳处理，具体方法如下：将电镀液从镀缸抽到碳处理缸中，并将水补加至标准液位，同时取出阳极，清洗阳极袋、钛蓝、磷铜球；开启搅拌、打气，同时升温至65，加入35ml/L H2O2（50%），恒温2-4小时，然后关闭加热器；缓慢加入35g/L的活性炭粉，搅拌24小时。 关闭打气和搅拌，静置8-12小时以上，让炭粉完全沉淀在缸底；将过滤泵装上新棉芯，用一个盆子或者桶溶入12kg的助滤粉，打开过滤泵进行循环吸盆子或者捅里的助滤粉，直到棉芯上均匀吸上一层助滤粉。吸完助滤粉后，用DI水将电镀缸彻底清洗干净后，将电镀缸的排水阀门关好后将镀液过滤回电镀缸。 待溶液温度降至30以下时，将阳极挂回镀缸；补加DI水至标准液位，然后换用炭芯循环过滤48小时；换上新棉芯。(棉芯使用前要在水里浸泡24小时)；加入9L的Cu光泽剂，并用0.5ASD、1ASD、2ASD的电流密度分别电解4小时、2小时、1小时；（注意：碳处理后必须对光剂进行补加后方可使用拖缸板拖缸处理）根据化学分析及哈氏槽试验，调整各组分至正常范围，然后试产。6.2.8镀铜缸拖缸,正常生产每周拖缸一次,拖缸方法:四个双面波浪型拖缸板清洗干净，酸浸后,进入铜缸,按0.5-2ASD电流密度,拖缸2-4小时。拖缸后补加光剂,加入量为1L；正常做板以1000安培小时补加光剂200-300ml；6.2.9水洗缸清洗： 清洗方法：放干原水缸的水，用洗缸扫把擦拭干净缸壁及缸底的水垢等脏污，再用清水仔细冲洗二遍，然后注入水至液位。6.2.10过滤棉芯更换：更换方法：作业指导书编 号LX-MEI-TD-002版 次A.0页10/13生效日2011-04-01名称镀铜工作指示关闭过滤泵及泵进口出口阀门；打开滤缸,取出旧棉芯,换上已用DI水浸润的新棉芯；开泵进口出口阀门及过滤泵,观察是否漏液,否则重新装配。6.2.11镀铜时需用电流钳表测量检查显示电流与实测电流是否相符。6.2.12检查过滤泵是否工作正常，有无漏气漏液现象；每周要清洗阳极导电杆，槽体两端电接头，及时补充钛篮中的阳极铜球；倒缸时应检查阳极袋有无破损，破损者应及时更换；并检查阳极钛篮底部是否堆积有阳极泥，如有应及时清理干净；并用碳芯连续过滤48小时，同时低电流电解除杂质4-6小时。保养完毕后阳极应按原位排步安装好，不允许随意装置。7.生产控制：7.1整板电镀安时计算方法： 受电面积（dm2）=（产品长度*产品宽度）*2 （双面板） 整槽板电流（A）=受电面积*电流密度*整槽板的块数（PNL）电铜安培时 = 受电面积 *电流密度 * 镀铜时间/60电流密度单位为ASD（1ASF=0.1076ASD），镀铜时间单位为min，面积单位为平方分米。7.2镀铜作业参数：铜厚（孔铜）要求8-15um的产品，镀铜用1.5-2.0ASD的电流密度镀铜15min，先做首件确认OK后，则可量产作业。7.3生产前准备：7.3.1液位:各液缸液位偏低则按各自方法补加与调整,液位偏高则视具体情况决定是否排出；7.3.2温度:各缸液位实测温度与设定值允许偏差2；7.3.3过滤：过滤泵不允许有漏液，漏气，空转，停转等问题；7.3.4打气：打气应适量、均匀；7.3.5摇摆：摇摆是否正常；7.3.6电流：生产过程中，定期检测电流输出与设定值是否一致，允许偏差5%以内，每班用钳表 测量两次，并做好记录；7.3.7电铜缸阴极棒每班生产前应擦拭表面氧化物,并常保持干净；作业指导书编 号LX-MEI-TD-002版 次A.0页11/13生效日2011-04-01名称镀铜工作指示7.3.8以上每项每班检查一次，如发现设备异常应及时请设备部维修。7.4操作控制：7.4.1生产前应认真核对生产板与流程卡的工艺，工作板型号及数量等，确保一致；7.4.2开机生产前应认真检查液位、过滤、温度等周边设备工作是否正常，如不正常则必须调整至正常方可生产，生产过程中发现异常情况导致无法满足工艺参数值，但又无法调整至正常时必须停产处理；7.4.3夹板台必须随时清洁，保持台面干净，无金属碎屑等，夹板时手持板边夹板，要夹紧，要夹到导电位，但不能超出工艺边，必须打紧所有夹点，同时必须夹正、夹直、夹紧； 7.4.4生产过程中各药水缸有板时不能加药，对于已超出工艺控制范围的必须在接到化验单后必须立即停止作业，30分钟内添加完毕，对于未超出工艺控制范围而化验单上注名需要添加的必须在1小时内添加完毕，固体药品应先溶解再加入缸内，加药时要打开打气或过滤，直至药水充分溶解和混和均匀，并在加药时通知工艺或品质人员进行监督确认，并做好相关记录；镀铜缸加硫酸铜一次超过2Kg必须拖缸30min；7.4.5生产过程中应及时将损坏的挂具挑出进行维修；7.4.6下板时先打松一条夹具上的所有夹点，然后逐块下板。不允许同时打松两边夹点下板，以免折皱、擦花板面；7.4.7沉铜后待镀铜板存放于5%柠檬酸中，浸泡不允许超过4小时，电镀后的板存放于5%柠檬酸中，正常生产需每班更换一次；7.4.8生产现场待镀铜板、已镀铜板等必须摆放整齐、标识清楚；7.4.9电镀后的板子在烘干机上水洗烘干，接板人员需戴干净手指套，将板摆放整齐；7.4.10生产过程中要认真做好各项工作记录；7.4.11停产时应关掉加热、过滤、打气、水电阀等；7.4.12镀铜缸倒缸时，用棉芯过滤抽出，对缸体进行彻底清洗后，必须再用棉芯过滤抽回，分析药水成分满足工艺参数要求后才能生产；7.4.13特别要求：7.4.13.1 PTH后的板子必须在4小时以内完成整板电镀；7.4.13.2 整板电镀后的板子必须在1小时以内烘干，保证板面孔内干燥无水珠，已镀板及时转出，在电镀工序上存放时间不能超过2个小时；作业指导书编 号LX-MEI-TD-002版 次A.0页12/13生效日2011-04-01名称镀铜工作指示7.4.13.3 如遇设备故障或其他特殊情况，PTH后的板子不能在4小时内镀铜，需由品质部重新检查孔铜，孔铜OK则可进行镀铜，孔铜不合格则需开返工单重新返沉铜；7.4.13.4镀铜电流测量：量产作业时，2H/次频率用钳表手动对电流进行测量，确保作业中产品的质量，严格做好记录，显示电流与输出电流偏差超出5A立即汇报上级处理。8.品质控制：8.1电镀铜出来的板应做好自检自控，板面应平整、光亮、无烧焦、铜粒、无手印、无折皱、无孔内无铜等问题，如有则应及时报告组长以上人员处理，并做好相应记录；8.2在生产中如发现没有电镀上铜的产品必须挑出加以标示并返工重新沉铜后再镀铜；8.3生产过程中发现有烧板现象及时报告组长或主管或工艺人员进行处理；8.4在正常生产条件下每批产品应送2-5个切片检查孔铜质量。9.注意事项：9.1加药注意事项：9.1.1加药之前应先穿好胶鞋,戴上橡胶手套、防护围裙、防护罩