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ASYAE06 现场夹具使用管理作业指导书(00) Shanghai SiMATMicroelectronics TechnologyCo.,Ltd DocumentNo.:ASYAE06Revision:00REV.EFFECTIVE DATE12-25-xx键合夹具使用管理作业指导书Confidential Internaluse onlyTop confidentialxPage1of3DESCRIPTION APPROVECHECK ORIGINATOR00Initial Issue谈红英马俊杰This documentand itsinformation hereinare theproperty ofSiMAT andall unauthorizeduse andreproduction areprohibited.Shanghai SiMATMicroelectronics TechnologyCo.,Ltd DocumentNo.:ASYAE06Revision:00键合夹具使用管理作业指导书Confidential Internaluse onlyTop confidentialxPage2of31.目的1.1延长夹具使用寿命1.2规范夹具使用,保证产品质量1.3规范夹具管理2.适用范围。 21适用于SIMAT键合作业人员3相关文件3.1ASY-AE键合工序程序书3.2ASY-AE01K&SElite操作指导书3.3ASY-AE04ASM Eagle60操作指导书3.4ASY-AE10K&S1488操作指导书4作业内容:4.1键合夹具的日常管理4.1.1购入夹具需由键合工艺或设备工程师按照生产计划申报4.1.2新受入的夹具必须有标识(封装类形或尺寸)4.1.3夹具从备件库领入现场,需经由键合工艺或设备工程师确认和统计4.1.4部分已不再投入生产的夹具需重新加工时,夹具标示须同时更改4.1.5变形较严重、长时间使用严重磨损的夹具应及时报废。 工程师负责定期对所有的夹具进行确认,4.2键合夹具的使用4.2.1除规定型号的夹具可代用外,其余均不得私自替代使用SOP8-9724的夹具可替用SOP8-9579的夹具,但SOP8-9579的夹具不可用SOP8-9724的夹具替用。 4.2.2夹具在使用过程中,不得随意用锐物直接在工作窗口处划拨4.2.3注意轻拿轻放,以防盖板变形4.2.4上机使用的夹具,按照设备日常点检要求做好加热块的清扫工作4.2.5调机员在更换夹具前,需用酒精棉清洗加热块表面和压板背面,并在显微镜下确认无硅屑、银浆等异物附着,无缺损伤痕等,贴胶皮的压板需确认胶皮无变色、翘起、无明显凹凸痕迹和异物后方可上机使用,确认人须在夹具管理表(附表1)“更换”栏下打钩。 4.2.6为减少因夹具精度不够、变形、磨损对产品质量的影响,可在夹具背面贴耐温胶皮,粘贴方法This documentand itsinformation hereinare theproperty ofSiMAT andall unauthorizeduse andreproduction areprohibited.Shanghai SiMATMicroelectronics TechnologyCo.,Ltd DocumentNo.:ASYAE06Revision:00键合夹具使用管理作业指导书Confidential Internaluse onlyTop confidentialxPage3of3A粘贴之前首先要对压板背面用酒精棉进行清洗,保证无异物,等待压板干燥后开始贴胶皮;B贴胶皮时要平整,胶皮中不允许有气泡,然后将胶皮抚平,胶皮的左右两边不能过压板槽;C然后用刀片将压板孔的部分切掉,注意开孔时刀片要垂直压板,胶皮边不能有倒角、毛边和缺口出现;D如果第一次没有贴好,不要用原胶皮重贴,换新胶皮;E如果胶皮宽度不够需要拼贴的,中间不允许有重叠,并保证中缝处两张胶皮与压板的黏结面积均匀。 F耐温胶皮更换频次8天/次,更换后须在显微镜下确认并在夹具管理表(附表1)“贴胶皮”栏下打钩。 G夹具在使用中由于银浆及其挥发物的沾污,需将夹具用酒精浸泡后进行超声清洗,清洗频次1次/月,清洗后须在夹具管理表(附表1)“清洗”栏下打钩。 4.3夹具的领用及保管4.3.1夹具按编号取用,键合设备更换夹具后在相应的键合作业/确认内容上填写夹具型号;附表1键合夹具管理表设备号编号ASY-AE06R0100日期/时间夹具型号/编号管理措施更换贴胶皮清洗确认(OK/NG)实施者备注This documentand itsinf

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