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文档简介
Y09-8A型激光尘埃粒子计数器使用说明书目 录一. 概述二. 主要技术指标三. 主要技术参数四. 使用环境条件五. 使用方法1.开机预热2.工作参数设置3.测量结果的显示4.95%置信度(UCL)的测量5.量结束工作6.键的说明六. 维护及故障修理1.仪器使用、存储的注意事项2.常见故障与排除方法七. 附件八. 附表一. 概述Y09-8A型激光尘埃粒子计数器(以下简称仪器)在用于测量洁净环境中单位体积空气内的尘埃粒子大小及数目,可直接检测洁净度等级为十级至三十万级的洁净环境。本仪器根据尘埃颗粒的光散射原理设计制造。尘埃颗粒在光的照射下,产生一定强度的散射光,其散射光强度与颗粒粒径成一定比例,因此检测光散射强度就可测定颗粒的大小,而光脉冲的个数即为相应颗粒的颗数。本仪器采用半导体激光作为散射系统的光源,它具有能量集中、波长单一的优点,使整机的检测精度更高、更灵敏。本仪器具有体积小、重量轻、功能多、使用方便等优点,电脑控制,可贮存、打印采样结果,测试洁净环境十分便利,是微电子、制药、生物、医药卫生、精密机械、光学、航天技术等行业测试和评定各类洁净环境理想的测试仪器。二. 主要技术指标 (执行JJG54F88尘埃粒子技术检定规程) 1、自净时间:20min2、重复性相对偏差:20%3、粒径准确度相对偏差:40%4、粒径离散度相对误差:30%5、采样流量:28.3L/min(5%)6、安全性能:绝缘电阻50M(正常大气条件)三. 主要技术参数1、半导体激光管有效功率:50mW2、激光波长:780nm3、光敏管响应波长:880nm4、供电电源:220VAC10%50Hz5、最大可测尘埃浓度30万颗/2.83L6、粒径分档六档:0.3,0.5,1.0,2.0,3.0,5.0(m)7、采样周期6-96Sec. 任选8、采样点数29点 任选9、每点采样次数3次 10、采样量:28.33L/-45L 11、外形尺寸:350*320*126(宽*深*高)12、重量:8kg四. 使用环境条件1、温度5352、相对湿度RH75%RH3、大气压力:86kPa-106kPa 五. 使用方法1.开机预热(1)将电源电缆插入“电源插座”。(2)打开电源开关,预热20分钟。此时仪器显示图一开机画面。按“ENTER”键进入图二工作参数设置画面。2.工作参数设置欢迎使用Y098A型激光尘埃粒子计数器 图一 开机画面 工作参数设定 05年10月18日 15时20分16秒计器周期 0060S报警级 0级数据清零 关关地址设定 01日期参数设定 X 置信度状态 关 测点数 02 图二工作参数设置画面用“Next“键移动光标,用“”,“”键修改设定光标处的值。画面中第一行是仪器的实时时钟。计器周期以6S为步长在6S-96S之间选择,确定仪器一个测量周期的时间长度,每测量周期结束蜂鸣器鸣叫2个“嘟”声。报警级有0、100、1000、10000四种选择,分别表示无报警,超100级、超1000级、超10000级时在测量周期结束蜂鸣器鸣叫10个“嘟”声提示使用者被测房间洁净度超标。数据清零为清除内存数据指令,一般情况下处于“关关”状态,当在第一个“关”变为“开”时,此时按“清零”键,将清除内存数据。地址和日期参数设定不需修改。置信度状态的“关”、“开”两种状态分别进行常规测量和%95UCL测量。测点数是进行%95置信度(UCL)测量的测量点数的设定,其值在2-9之间选择。3.测量结果的显示设定工作参数后,按“ENTER”键进入图三测量画面,次画面有四个子画面。四个子画面间通过“Next”键切换。第一子画面在不采样状态下显示最后一页存储在计数器储存器中的测量数据。图示中表示第七页数据。可通过“”,“”键上下翻页查询存储的测量数据。按“Prt”键可打印出从当前页开始到最后存储页之间的所有测量数据。在采样状态下显示上测量周期的总粒子数。Page:007 05年10月18日 15时20分16秒 T:10 L:01 0.3m 0286130.5m 0172091.0m 0028072.0m 0007573.0m 0000395.0m 000003Rec:OFF prt:ON Flow:1CFM 图三测量画面第一子画面第二子画面显示即时测量数据,测量数据在不断累加,直到一个测量周期结束。T:10 L:01 C:00 UCL:OFF BL:OFF0.3m 0386130.5m 0112091.0m 0022072.0m 0005573.0m 0000395.0m 000002Rec:OFF prt:ON Flow:1CFM 图四测量画面第二子画面 第三子画面显示最后一页存储在计数器储存器中粒子的浓度值。Page:007 05年10月18日 15时20分16秒 T:10 L:01 0.3m 7528613/m30.5m 3917209/m31.0m 872807/m32.0m 260887/m33.0m 28439/m35.0m 763/m3Rec:OFF prt:ON Flow:1CFM 图五测量画面第三子画面第四子画面显示%95置信度(UCL)测量的计算结果。05年10月18日 15时20分16秒 T:10 Flow:1CFM MAX:PCM0.5m XXXXXXXX5.0m XXXXXXXXUCL:PCM 0.5m XXXXXXXX5.0m XXXXXXXXCLASS XXXXX级 图六测量画面第四子画面以上四子画面中:Rec指存储状态,按“ENTER”键其状态从OFF、ON之间切换,ON即存入,OFF不存入。Prt指打印状态,按“Prt”键其状态从OFF、ON之间切换,ON即打印,每周期测量结束打印,OFF不打印。Flow指采样状态,按“START”键其状态从OFF、ON之间切换,0即不采样,1即采样。BL指屏幕背光显示状态,OFF即背光亮10S关闭,ON即背光常亮,其状态可通过“”,“”键切换。用户选择好测量画面后,检查自净过滤器与仪器顶部采样口的气路连接是否完好,按“STATR”进行采样,此时仪器处于自净状态,应在20分钟内使计数值为零。然后按“START”关采样泵,拔去自净过滤器,插好采样管并把等速采样头放在所需测量点,按“START”,这时仪器处于采样状态,数据可通过实时打印或保存在内存中便于后续处理。4.95%置信度(UCL)的测量(1)在工作参数设定画面中设置机器周期设定所需要的采样流量。(2)每次测量地址设定为01。(3)在工作参数设定画面中设置置信度为ON。(4)在工作参数设定画面中设定测点数。(5)把采样头放在第一个测量点位置,按“START”进行采样,按“ENTER”进行数据保存。当此点3次测量完毕,自动停止此点采样。然后把采样头放在第二个测量点位置按“START”、“ENTER”进行采样。此点3次测量完毕,自动停止此点采样。重复上述采样过程,直到所有点测量完毕,仪器自动翻到第四子画面并按UCL的计算方法给出0.5,5.0um的UCL值和净化等级的判断。如果要 打印测量数据和判定结果请在采样过程中按“PRT”键。5.量结束工作不要立即关机,从后面板采样口拔去采样管并把自净管插入,使采样口与自净口在气路上相连,让仪器继续采样3-5分钟以清除仪器内部的尘埃。然后关采样泵,关电源,将仪器放入手提箱中保管。6.键的说明本仪器有九个功能键“Rst”、“Home”、“START”、“Prt”、“Esc”、“ ”、“”、“Next”、“ENTER”Rst:当仪器发生不正常现象时,按此键重新初始化,显示开机画面。Home:清当前计数值,重新开始计数。另一功能是清除内存。START:开、关采样泵,开状态进行粒子采样。Prt:开、关打印功能,开状态每测量周期结束打印测量数据。Esc:使显示画面回退一幅。、:在工作参数设置画面中调整参数,在第一子画面中前后翻看存储数据,在其它测量画面中切换显示屏背光。选择:在工作参数设置画面中移动光标,在测量画面中切换四个子画面ENTER:使显示画面前进一幅,在测量画面中令Rec为ON或OFF,ON时使测量数据保存在内存中。注意:本仪器内置256组内存空间,当存满时会把最前的存储数据顶出,最前的数据会丢失,所以请提前处理。六. 维护及故障修理1.仪器使用、存储的注意事项(1)本仪器工作位置和采样口应处于同一气压和同一温湿度环境下,以免影响仪器正常工作和产生凝露以于损坏仪器。若必须在有压情况下工作,则最大压差不能超过200Pa。在有压差和温湿度差的情况下工作,会增加测量误差甚至损坏仪器。(2)禁止抽取含有水汽、油污、腐蚀性物质的气体和高温气体;禁止在高尘埃浓度的环境下使用;避免在非净化环境中使用本仪器。(3)本仪器在不用时应搁置在干燥、防尘良好的室内环境中,每月应通电30分钟以上。(4)托运本仪器时,应轻搬轻放,少受振动、冲击。最好放在专用包装箱内再搬运。(5)仪器在出厂包装的状态下,允许在下列环境中运输和短期存放:温度:-40oC50 oC,湿度:90%RH(40 oC)。2.常见故障与排除方法故障情况原因排除方法开关打开,液晶显示屏不亮电源线未插好插好电源线电源插座下方保险盒,内3A保险丝熔断拉开电源插座下方保险盒,更换保险丝液晶背光关闭按任意键非自净状态下,“采样”打开,但不计数传感器与泵之间连接导管脱落打开机箱,连接好导管开机后功能不正常,无字显示或打印不正常各种干扰按“复位”或关电源开关,10S后再开机自净20分钟后,0.3m粒子计数不为零(该情况请与本单位联系)自净口与朝气导管未插好重接导管过滤器损坏更换自净口处过滤器如用户无法解决故障,请立即与本生产单位联系。联系地址:苏州工业园区鸿基洁净科技有限公司联系电话65450996、65450981传 真: 转808 建议:应每年送回生产厂标定检测一次以保证仪器测量精度七. 附件1、采样头 1只2、采样架 1只3、电源线 1根4、保险丝(2-3A) 3只5、打印纸3卷6、采样管1根7、自净过滤器 1只八. 附表GMP规定的洁净度洁净级别尘粒最大允许数(颗粒数/m3)微生物最大允许数相当于ISO分数级0.5m5m浮游茵/m3尘降菌/皿100级3,500051ISO5级10,000级350,0002,0001003ISO7级100,000级3,500,00020,00050010ISO8级300,000级10,000,00060,00015ISO14644规定的洁净度等级以及传统分级ISO14644分级最高浓度极限(颗粒数/m3)近似对应传统规格0.1m0.2m0.3m0.5m1.0m5.0mISO1级102ISO2级10024104ISO3级1,0002371023581ISO4级10,0002,3701,0203528310ISO5级100,00023,70010,2003,52083229100ISO6级1,000,000237,000102,00035,2008,3202931,000ISO7级352,00083,2002,93010,000ISO8级3,520,000832,00029,300100,000ISO9级35,200,0008,320,000293,000联邦标准209E分级限值209E分级限值分级限值(颗粒数/ft3)0.1m0.2m0.3m0.5m5.0m1级357.53110级350753010100级7503001001000级1,000710000级10,00070100000级100,000700检验报告环境温度_ 环境湿度_%RH 测试时间_1.产品型号:Y09-8A 2.出厂编号:_3.外 观:_4.功能检查:_ 5.参数测试:检 定 内 容检定项目单 位技术要求实测值自净时间min20重 复 性%20准 确 度%40离 散 度%306.结论: 检验人:_ 复核人:_ 检验日期:_ 苏州工业园区鸿基洁净科技有限公司保修卡 产品名称:激光尘埃粒子计数器 规格型号:Y09-8A型 产品编号:_使用说明:1.本卡由用户妥善保存,以做保修凭证,遗失恕不补发。2.保修期限: 20_年_月_日起20_年_月_日止3.因用户使用、保管不当而损坏的;未经生产厂家允许自行拆动的;无保修卡的;保修卡上填写的产品及编号与送修产品、编号不符或涂改的均不在
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