减铜线作业指导书.doc

减铜线作业指导书 1.0目的为宇宙减铜线生产操作、保养提供工艺指示，使之能按指示执行，确保产品质量。 2.0适用范围适用于宇宙减铜线操作之员工。 3.0职责和权限3.1生产部负责按作业指导书进行日常生产和设备保养，工段主管领班负责监督执行。 3.2工艺部负责编写、修订作业指导书，控制、调整工艺参数，分析监控生产线药水，指导生产并解决工艺问题。 3.3品质部负责对物料、产品质量的监控及板件物理性能的测试，稽查日常生产、保养情况。 3.4设备部负责设备维修，定期对设备进行维护保养，指导生产部日常设备保养。 3.5物控部负责提供合格的物料。 4.0作业流程开启总电源开关进入画面管理选择自动按钮/手动按钮按启动电钮调整（或设置）合适参数放首件检板量产完成关机5.0作业参数参照减铜线生产作业PCS标示总表6.0作业内容6.1设备操作6.1.1开机开启电源总开关（扳到ON位置），触摸屏上显示相应的开机画面在开机画面面中，按按此键进入工作画面面选择自动/手动两种模式主画面设置。 6.1.2画面管理进入画面管理后，作业员主要接触为主画面、运行参数、报警管理。 主画面内容为各槽段的开启关闭管理，白色底表示未开启，闪烁表示开启过程中，蓝色底表示已开启；运行参数为产量累积数量，电眼感应，无板停机时间设定，门挚保护功能设置；报警管理为当机台发生警报时，会自动在该画面显示异常状况，方便维护。 6.1.3手动模式/自动模式进入工作画面后，有自动、手动选项，无论在哪种启动方式，当系统启动后均可以对主画面的按钮进行开启或关闭，区别在于自动画面机台帮你打开所有槽段功能选项，手动为自己打开需要的选项，两种工作模式的切换须先按电箱面板上的停止按钮。 6.1.4水压/流量调整根据实际生产需要将各段水洗、药洗喷淋压力或流量调整至要求范围，水压在机台运行时需达到工艺提供参数要求，如未达到可拧动调节阀以使压力到达要求，流量计可以拧动旁边调节阀改变流量大小，读数以最大横截面积对应刻度为准。 6.1.5温控器设定设定各电热段温控器工作温度参数值，参数值需按工艺提供参数设定。 6.1.6自动添加自动添加为工艺部设定按面积/块数添加药水（画面管理/添加设置里面设定块数/面积数），计量盒里注入对应数量添加的药液，当电子眼感应到过了设定数量的板后，计量盒里的药液会全部排入槽体，作业员如发现做了对应数量的板自动添加装置未添加药水，或计量盒上药水刻度与工艺提供参数不符合时，需及时向工艺、设备部门反映。 6.1.7关机确认线内无板时，按下电箱面板上停止按钮电源总开关扳到OFF位置。 6.2生产操作6.2.1开机前/做板前注意事项1）各喷淋段附缸液位或容量足够，各缸内无异物，各段滤网已清洁干净。 2）各液位控制开关处于正常工作位置，无倒置，各过滤器盖已锁紧。 3）各管路连接牢固可靠，无松脱破损，机器无渗漏。 4）各行轮、压轮、喷管、水刀、压力表、流量计安置完好，无错乱，无缺损。 5）确认传送顺畅，无行轮跳动。 6）确认各玻璃是否完好，并盖住机器。 7）保持作业区域整洁，避免意外事故发生。 8）检查各压力是否在范围内。 9）确认温控器能否正常工作。 6.2.2做板1）在画面管理中，按自动按钮，会弹出如下启动画面2）按启动，画面消失，再按画面管理上的起动键，全线各段液泵开始分段延时起动，同时主画面各槽段按钮框开始由白色闪烁变蓝，提示已经启动完毕；如手动模式做板则需要在主界面手动按各槽段按钮开启，完成后同样以蓝色底提示启动完毕。 注有时做板不用把所有槽段液泵都开启时，可以用手动模式。 在画面管理，选按手动按钮在机台面板上按绿色起动键在画面管理中，按主画面进入，对需要开启的槽段液泵按选开启，变蓝后提示启动完毕。 3）调整好线速，放两片板，板件出来后检查品质，确认无异常后进行量产。 6.2.3生产注意事项1）放板人员要注意板面是否存在胶渍等异物，避免带入机内；如发现板面有沾胶情况必须先用酒精擦洗干净后才能重新磨板。 2）送板入机，放板间距需大于2cm，按左中右交叉放板。 3）作业时需注意自动添加是否在加药，待送棕化板子每片均需量测铜厚，铜厚保证在MI要求范围内。 6.2.4记录1）参数检查记录在减铜线参数点检表中。 2）生产及板件自检情况记录在减铜线生产记录表中。 3）保养情况记录在减铜线保养记录表中。 6.5板件自检检查项目标准检查仪器取样方式测试方法报表记录减铜后铜厚参照MI铜厚测量仪每批首检1片+过程抽查1片铜厚仪量测生产记录表铜厚均匀性偏差小于1.5um铜厚测量仪每批首检1片+过程抽查1片铜厚仪量测生产记录表备注测铜厚时每片随机测5点。 6.6异常处理缺点名称可能原因改善对策蚀露基材/铜厚不均镀铜板镀铜不均，减铜时造成一边OK，一边蚀刻露基材；针对镀铜板，板子先用铜厚量测仪量测，如均匀性偏差小于5um，则取中值与标准对应，如均匀性偏差大于5um，请反馈工艺。 7.0保养内容7.1设备日常保养项目及内容序号保养项目频次保养内容保养人1清洁机身1次/班用湿布擦拭机台表面作业员2清洗吸水辘1次/2H用干净水清洗并浸泡，破损的进行更换作业员3上下行辘1次/班检查上行辘是否异常，并做相关调整作业员7.2设备周保养项目及内容7.3设备月保养项目及内容7.2保养方法7.2.1酸洗缸/蚀刻缸保养1）将缸内废液往粗化废液管排放；2）加入清水至最高点，开启循环及喷淋泵，并用水冲洗缸壁残留污物，正常喷淋半小时后将污水排出；3）加入3%NaOH溶液，补充液位至最高点，开启循环及喷淋泵，正常喷淋1小时后将废液排出；4）加入清水至最高点，开启循环及喷淋泵，并用水冲洗缸壁残留污物，正常喷淋半小时后将污水排出；5）加入3%H2SO4溶液，补充液位至最高点，开启循环及喷淋泵，正常喷淋1小时后将废液排出；6）加入清水至最高点，开启循环及喷淋泵，并用水冲洗缸壁残留污物，正常喷淋半小时后将污水排出。 7.2.2微蚀缸开缸1）往缸内注入D.I水2/3槽，开启循环泵；2）依次加入98%硫酸75.5L（6.5%浓度），27.5%双氧水82L（6%浓度），E504稳定剂25L（2%浓度），过程需搅拌，完成后补充D.I水至正常液位；3）循环15分钟后取样化验药水浓度，OK后完成开缸；4）微蚀缸铜离子超过50g/L时换1/2槽，添加比例按1/2开缸量添加，补充D.I水至液4喷嘴1次/班清洁及确保喷洒水型符合生产需求作业员5过滤系统1次/班检查是否异常并清洁处理作业员6喷压系统1次/班检查是否异常确保压力符合工艺要求作业员7各水洗缸1次/班每班更换并清理缸底作业员序号保养项目频次保养内容保养人1传动系统1次/周检查机组传动是否平稳，各传动齿轮配合是否正常作业员2加热系统1次/周检测加热管有无异常并清洁加热管作业员3冷却系统1次/周检测冷却水循环是否异常作业员4烘干系统1次/周检测风刀是否堵塞并清洁处理作业员5酸洗缸1次/周更换药水，并清理缸底作业员序号保养项目频次保养内容保养人1微蚀缸1次/2个月铜离子超过50g/L换1/2槽；每2个月换槽洗槽1次作业员2吸水辘1次/季更换吸水辘作业员3空气过滤器1次/季更换空气过滤器作业员位；5）自动添加设定每做板25片添加硫酸添加1.5L，双氧水添加1.5L，E-504添加0.5L；分析添加时，E-504按双氧水添加量的1/3比率添加。 7.2.3酸洗缸开缸1）往缸内注入D.I水1/2槽，开启循环泵；2）加入98%硫酸1.5L，完成后补充D.I水至正常液位；3）循环15分钟后取样化验药水浓度，OK后完成开缸；4）酸洗缸每周保养换槽一次。 8.0注意及安全事项8.1控制面板（触摸屏）为设备精密部件，禁止用硬物触碰；8.2该设备所配玻璃为钢化玻璃，清洁、保养、操作时应小心谨慎，慎防碰撞，严防损坏；8.3处理化学物品及开缸配药、保养时，须穿戴适合之安全装备并采取适当之安全措施，以避免意外事故发生；8.4加药作业时，须穿戴好防护面罩，防护口罩，耐酸碱手套及防酸碱鞋；8.5处理强酸、强碱时，慎防滴落地面，损坏防腐油漆，如不慎滴落，应立即用清水稀释后用碎布或湿拖把清理干净；8.6加药作业时，如不慎将药水溅落在眼睛或皮肤