标准解读

《GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆》这一国家标准主要针对用于半导体制造过程中的光刻工艺的石英玻璃晶圆制定了详细的技术要求和测试方法。该标准适用于直径为150mm、200mm及300mm的石英玻璃晶圆，旨在确保这些材料的质量满足半导体行业对高精度与高性能的需求。

根据文件内容，对于光刻用石英玻璃晶圆的规定涵盖了外观质量、尺寸公差、表面粗糙度等多个方面。例如，在外观上要求晶圆无裂纹、气泡等缺陷；尺寸方面，则明确了直径偏差、厚度均匀性以及总厚度变化（TTV）的具体数值限制；此外，还规定了关于平面度、弯曲度等方面的严格指标。为了保证产品的光学性能，标准中也列出了折射率分布、透射比等参数的要求。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2017-09-07 颁布
  • 2018-08-01 实施
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文档简介

ICS8104030 Q 35 . . 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T341772017 光刻用石英玻璃晶圆 Quartzglasswaferforlithography2017-09-07发布 2018-08-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 GB/T341772017 前 言 本标准按照 给出的规则起草 GB/T1.12009 。 本标准由中国建筑材料联合会提出 。 本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会 归口 (SAC/TC447) 。 本标准起草单位 中国建材检验认证集团股份有限公司 中建材衢州金格兰石英有限公司 长沙韶 : 、 、光铬版有限公司 中国建筑材料科学研究总院 国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心 、 、 。 本标准主要起草人 吴洁 王京侠 王友军 李弋舟 花宁 刘焕敏 肖颂华 聂兰舰 张浩运 杨晓会 : 、 、 、 、 、 、 、 、 、 、杨学东 孔敏 张应语 、 、 。 GB/T341772017 光刻用石英玻璃晶圆1 范围 本标准规定了光刻用石英玻璃晶圆 以下简称石英玻璃晶圆 的术语和定义 分类 要求 试验方法 ( ) 、 、 、 、 检验规则及标志 包装 运输和贮存 、 、 。 本标准适用于半导体集成电路 光通讯 微机电系统 光电器件和发光二极管 等光 、 、 (MEMS)、 (LED) 刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆 。2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 。 , ( ) 。 石英玻璃化学成分分析方法 GB/T32842015 透明石英玻璃气泡 气线试验方法 GB/T5949 、 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法 GB/T32189 光学石英玻璃 JC/T185 石英玻璃制品内应力检验方法 JC/T655 石英玻璃术语 JC/T2205 3 术语和定义 界定的以及下列术语和定义适用于本文件 JC/T2205 。31 . 总厚度变化 totalthicknessvariation TTV ; 石英玻璃晶圆厚度的最大值和最小值间的差 。32 . 平整度 flatness 石英玻璃晶圆一个表面为理想平面时 例如 石英玻璃晶圆一个表面由真空吸盘吸附在一个理想 , , 、 平坦的吸盘上 其另一表面相对于规定的基准面的偏差 以测量范围内总的示值读数 表示 , , (TIR) 。33 . 弯曲度 bow 自由无夹持的石英玻璃晶圆中位面的中心点与中位面基准平面间的偏离 。 注 中位面基准平面是由指定的圆周上的三个等距离点决定的平面 该圆周的直径小于石英玻璃
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