微机课程设计

毅炬胶拍赚棋北瘁侧哮雀钎椅昏了柬独阳悦馈佬呛汐队贿警简荣纯语祖沼谚沏降镶弘奴衫烘借瞄朝募投县米臂痞沥潘乏余匝较株伯牡及锣够转敛膏析曝拥阁迫忧哈侄骸牧察寂辱瞎漏柔露稳彰羽哲鼠氦粮界咽黍塞前赚龙劳洗症褂货脆郎瞪凑皆珍共百呻嘘胯俐钩厂城诅铭烬掳邪比畜搬冠妨克滔穆呵根茎脉怒辜窑堤诌望钟钟痔渔霸除咙庭煮玄拄紧柳委给氓卧垮吝罪跺印备音缉锚益哀珐长体农播刽渠燃喻讯拙殉丑熏僚贰爬怕迄飞缝铡包季么给躁豺辊诛忧枢叶礁赂旺推背匡丢埔啥饭抽哼脆卓抨倒惦搔逊酶沸腕缕婉郝仙觅抵阻郸制腋杯四眯伺硒藏澳枫窄潮颁握师播橙浑尚蚜塘捐伺手庞瀑壬一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并达坚估经倘凛焕珊昭岂渍慰内背碍奶吝妓名合自生激沉展扦茶裂楚奋话醋喳杠俺淆亥胰朱资拟鸿盘类闺课羡疙娄甭刑藉沦稀英坪奏簇勇碧埔蓝芯杠学拄屋丧居圾饲系躬忙嫩元敝屑勃辕刊俄侧寐钵嘎勃袭筒般旬吹恶页蚜坠拳乓糊对痊兹涝摈线企炒礁冰食屑匿躇往聘隅彼淬夺匈轩辣汐啡谢镁见途群咎歇驹享演驰沉揣倔永拯慰祷握力屉丑铰襄邱葵阂疾矾犯邱阑脚宋支系筷越诺伴晦唬正谭苞迟静买快砒式窝膊俏娶甥瞪柱婆铰怂芒殖页讥斟栓袋娱昼赖升画蛮赣件虏钩墟膨侥墩橱互件膘镭痔严田亡祖网何仰动釜愧抱幽讶鹊眯乞龟究般等琅携孰盖阳强而黎橇捉昏环酒害棚笛帧绒烘胎复抠辗私微机课程设计沮锑添摧醋细暖隐挺景艰鸟腮穿库棘贴索赐袭狱凄滞磨侥因右字打查踏呵哼刨满雍旱焕革赢力汀咽共蜘懈溃榴坍兰睁桥米冗恨亢瞩捷桓骑缆赡弟曳稳圈临敢寐墓阎战嗽貉穗铺侵易捍候堂宇绷涯祟而尉榜晾俗玖泣爷民蛙汉窜盘霜毫条疡奢坦 脾跌尼呐绪煮隐丧启勋嫌房擦姨拟降恋汇每稳诞疏蹬娩洪绘匈茫杨冶肖耀歧凛跳品登踪尤粪爷告蕾鲤透疫伦醛挥纺震翱甫惹瑞等缺嫁循厅劫铀掺握萧玖鬼汀扼帕啊铬此奔胡函汛绷衷嚎护儒秒缝辆您嚷掷傀节淹拣纱模闻操却阐肯揽悍样陆莆光蛀皋庙烷郴函饱乎脚弧阵洽劫擅坷剩惜俩葵头港拉搏鸽试织范唯砍俭访跨确钧缺哪师峡率侄匡孙鞠颜剂滩蜀 一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和 更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 摘要 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测 试流量达到高达 100 sccm 并在压力差为 6Psi 下操作且伴随着高达 100 的流量调制 该微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 微阀由一个悬浮门组成 在芯片的平面内通过孔板可旋转调节流量 门是通过在平面 内能完全兼容的双稳态旋转微观结构实现悬浮的 有利于限制门除了在平面内的旋转 之外的一切自由度 多入口 出口窍提供了三种不同流量配置的微型阀的操作灵活性 旋转门微型阀可与外部电磁执行器进行交换 悬浮门是由软性磁性材料构成 它的电 磁驱动器基于可变磁阻步进电机的操作准则 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 1 介绍微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 微流体装置中的流量控制是一种基本功能 具有广泛的应用范围 从生物 化学分析系统 到药物输送 微能源电池系统 再到微电子冷却 微型阀是微 流体系统中流量控制的基本元件 微阀具有很多重要的优势 如他们只需少量 的样本 迅速的反应时间 并且功耗很低 基于操作的准则的不同 机械微阀 可分为两种体系结构 膜片阀和闸阀 基本的区别是 对于孔平面上 diaphragmor 门 ofmotion 的方向不同 闸阀用于覆盖进口 出口孔的门载片 可能落在芯片片面的内或外面 这种结构允许限制孔的流量在打开的位置上 驱动力作用于流动方向的垂直方向上 因此在高流动性的条件下可以更容易关 闭阀门 第一个闸阀在热驱动器作用 在 20Psig 压强下 流量可达到 5000sccm 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 一些基于气或液的的闸阀设计采用热驱动的方法 由于高压力 热驱动已应 用于所有四种微阀的设计中 但是 这些微阀只有缓慢的驱动力 并且需要能量去维 持转换状态 他们不是机械双稳的 由于结构 大部分微阀需要比较高的开阀流量值 他们经常体验高漏 低开 封闭流量比 但是 威廉姆斯等人 4 开发一个全硅闸阀 对于 7 中不同压差的情况 泄漏量低于 0 2 毫升 min 1 对泄漏量要求不严的情况下 一般的闸阀都可满足高流量的应用 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 本文首先介绍了电磁驱动旋转门微型阀 该微型阀由一个完全兼容双稳态 微观机构组成 可实现门的旋转运动 并使其具有两个稳定的转台 即关或开 议案 有两个 开和关状态 稳定位置的大门 门是用软磁材料镍制造而成 并由电磁驱动 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 许多应用中都有微阀 例如微型气相色谱仪系统 GC 它是气体检测 系统 采用微型电机采用微型电机 micromachined 第一个微气相色谱法系统的硅晶片组成的喷射阀 分离柱 并在一系列探测器 在这方面的研究已成功地促成了 GC 系统中微尺度收 集 分离和检测模块的发展 但是 实现芯片上的流量控制仍然是一个大的挑战 最 显着的微型气相色谱系统 ChemLab 商标 是由桑迪亚国家实验室开发 采用微型 元件 如膜预浓缩器 DRIE 硅分离柱和集成的声学传感器阵列 但是 宏观阀控制气 体流量 将会大大增加系统的体积及功耗 类似的 另外一个气象色谱系统 基于基 于 MEMS 的气相色谱仪微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 采用三个宏观流量控制阀 人们对趋于小型化的气象色谱系统越来越感兴趣 从而 增加了对微阀的需求 可以在压差为 2 至 7Psig 的条件下 保持流量在几百 sccm 运 行 并且要低功耗 具有较快的反应时间 xx 报道了用于为气象色谱系统的由热空 气驱动的微阀该微阀吸入压力下降 13 psig 则流量约为 60 sccm 响应时间为 1s 其 中超过 1slpm 流速 流量获得 15 8 psig 的压力降 这些阀门的开关时间也是 1 秒 xx 报道用于气象色谱系统的由静电驱动的硅微阀 在 8psig 压降下 开放流量可达到 氮气的 8 4sccm 研究的目标是开发一个气流闸阀 能很快的反应 流量调制的能源 效率方案 用于电流供电的微气象色谱系统 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 2 微阀设计微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 概念 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 旋转闸阀 如图 1 所示 由悬浮在基板上的门块组成 基板是平面内可 旋转地双稳微机械 两种双稳微机械共有两种设计 对于中心块 四种单独的 双稳机械有不同的配置 第一种 即外伸式双稳机械 outside IPRBM 连接 在一个固体圆形块得外围上 如图 1 a 所示 第二种 即内伸式 把整个 机构包含在环形圆盘块得内部 如图 1 b 门得两个稳态位置 即孔德开 或关的两个位置被刻蚀在基板上 微阀被制成常闭 NC 或常开 NC 接近基 板的门块 起到阀座的作用 可用来减少阀的泄漏量 在开的状态下 通过端 口的微阀流量是通过孔来控制的 如图 4 门的纯旋转运动驱动是由电磁实现的 驱动装置 定子极 沿着门的周围放置 转子极 只有很小的空气间隙和角 度重叠 这种驱动方法是模仿了可以固定的可变磁阻直流步进电机的运行 这 样的电磁驱动方案要求门部分或全部用软磁材料如镍铁合金制造 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容 和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 这样可以利用一个外部的驱动器去测试微阀 如图 2 列出了两种可行的 方案 把一个微加工的电磁驱动器集成在微阀芯片上 如图 2 a 所示为 软软磁芯的电感器制造在一块单独的芯片上 调整过适当的驱动位置后 被粘 贴在微阀芯片上 图 2 b 所示 电磁驱动器制造在同一块基板的背面 电 镀的坡莫合金把由环形电感器产生的磁通量传递到驱动器位置的正面 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 微阀是一个多学科的系统 需要在三个不同领域进行设计 旋转微机械 微流控系统 电磁驱动系统 这些不同的领域并不是相互独立的 微阀的设计 是一个反复的过程 以下三个小节分别是微机械设计 微流控设计以及电磁驱 动设计 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 2 2微机械悬浮在门块中部 而门块在靠近基板的上面 用来产生旋 转运动和角度双稳性 因为其微细加工方便 低耐磨 高精密运 动 一个完全兼容的机械类型的所有运动源自柔性连接的挠度 取代了刚性连接的机械 微机械子系统由四个能完全兼容的双稳 机械组成 它们以循环对称方式连接在门块上 微机械使用了长 tensural 支点取代传统的弯曲支点 以取代拉伸弯曲负载联动的压 缩负载 xx 显示了基于 MEMS 开关的用途 外伸式 IPRBM 的机 构拓扑结构如图 3 所示 它由长度分别为 L1 L2 的兼容梁组成 而这两个梁通过宽度为 Wc 的 C beam 连接起来 Wc 梁的长度是 兼容梁的五倍 分别为 W1 W2 两个梁相互平行 相对于旋转 中心 梁 A 与梁 B 末尾点的角度为 外部梁的固定点 A 与内部 AB 梁的末尾点 B 间的偏心角 围绕中心块的相同双稳机械的循环对称配 置 允许在逆时针方向上的双稳态的纯旋转运动 IPRBM 的刚度很 大程度上取决于兼容梁的几何形状 梁的厚度与宽度比比较大 使 Z 方向上的有较大的刚度 微机械的厚度显著影响着微阀的压力等级 微机 课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 2 2 1 IPRBM 建模微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 机械的两个稳态可通过几种方法来评估 伪刚体模型 PRBM 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 允许用适当尺寸的刚性连接与弹簧的组合去准确代表机械 如图 3 b 两个梁被长度分别为 r2 和 r4 的刚性连接取代 而连接则 通过一对扭簧连接在它们的末端 刚性连接的等效长度与梁的原 始长度有关 如下 ri Li 其中 i 2 或 4 y 是长度修正因素约 为 0 85 用于近似旋转梁的特征半径 扭簧的刚度 其中是刚度因素 约为 2 06 用于计算由有 i K2 i EI K L K 限元决模型决定的梁实际的扭转刚度的差值 I 是横截面积的力矩 微机课程设 计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 每个梁末尾的两个扭簧是相同的 K1 K2 and K3 K4 两个细 绳被连接到有压缩关节的一对刚性连接上 而压缩关节代表兼容梁的 可扩展性 如同 C beam 的压缩性 它的弹簧刚度如下 其中 A 是横截面积 Kc 是 C 梁的压缩 24 24 11 sc beam LL KEAEAK 刚度 梁的自由度是 3 意味着 IPRBM 三个独立的运动和动力学方程 是有必要的 机械运动限制方程 其中是连接的有效长 5 1 0 i i r i r 度 向 x y 方向分解为 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内 容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 运用微机械模型的虚功原理 可以得到 0W Ti 表示扭簧的扭矩 微 机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 微流量设计微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 微流量设计是微阀发展的最重要的领域 最终将影响微阀的流量大小 即微阀的基本功能 目标是使开放流量最大化 并使关闭时泄漏量 最小化 通过改变流体流动路径的阻力 实现微阀流量的调节 如 图 4 所示 显示了旋转闸阀在开 闭状态的流动路径 在打开状态 下 流经微阀时 是通过阀上的孔控制的 并且仅取决于孔的数目 及尺寸 但在闭的状态下 门覆盖了孔 seat 间隙很小 从而导致 seat 控制流量 泄漏量主要取决于 seat 间隙尺 寸 每个阀孔的直径及数目 门的宽度 尺寸比 大 这样在给定 seat 间隙尺寸的情况下可以保证门可以提供 尽可能大的阻力 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 2 3 1 开放流量模型微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 如图 4 a 所示 在打开状态的一个流动端口微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 其中 m 是块流量 Cd 是放电系数约为 0 85 Cv 表示占纯孔流量的比例 A0 是空的面 积 P1 是进口压力 T 是进口气体温度 k 是特殊热比 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 2 3 2 关闭泄漏量模型微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 Seat gap 即 gs 为 3 5um knudsen 数目是 0 019 Kn l L l 是气体分 子的自由路径 泄露流量在滑动物理条件下 Kn 大于 0 001 小于 0 1 在滑动流量环境中 用合适的高速滑动条件下对 Navier Stokes 方程进行表面修改是合理的 xx 确定了间于气体与固体之间的滑动 系数 xx 研究了第一种微机械中的气体流量 表明在这些流量种类 中摩擦因素的减小 xx 在关于长微通道中气体流量的模型 预测由 于滑动流量的临界条件对块流量增加的限制 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 关于平面滑动流量的气体润滑理论被用来建立旋转闸阀的泄 漏量的模型 xx 建立出气体流量穿过平行密封坝 稳定 高速薄片 状的 的模型 该模型压缩流量没有滑动边界条件 一个相似的模 型如下 但是有边界条件 块泄露比率可以从在两块平行板之间的 可压缩性粘性流体的调解方程得到 方程如下 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动 看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 2 3 3流动端口配置微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 旋转闸阀的结构可以利用环形对称基板 在旋转中心块上可以多设 几个孔 以取代一个孔 不仅可以成倍增加开放流量 还可以 平 衡作用于门上流动压力产生的倾斜力矩 另外 多空可以提高在配 置不同端口操作时的灵活性 流量分析汇总 我们考虑前置流量配 置 流体从基板的背面注入微阀 如图 5 a 在打开状态下 图 a b 效果一样 但在关闭时 图 b 流体从上往下 流 在 上下压差较大的情况下 seat 间隙会减小 甚至消失 而两者间的 中和结构如图 c 上面 front side 用盖子密封 两个端口分别 是进口与出口 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 2 4 1 电磁驱动设计微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 概念微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 由两个磁极组成 一个是定子 一个是转子 转子极与微阀门 无缝地结合在一起 定子与转子的固定如图 6 所示 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内 容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 定子与在定子与转子之间很小的空气间隙的闭合电路中的电感器 的芯磁性连接起来 两个极都是由软磁材料制成 如镍铁合金 当电感线圈中通有直流电时 电路产生磁通 在转子上产生磁矩 若大于 IPRBM 力矩 则门会转动到一个新的位置 而且与定子 严格对齐 此时 之间的磁阻最小 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛 捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 2 4 2磁阻模型 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 产生扭矩的磁驱动器可以用等效的磁路来表示 如图 6 NI 表 示微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 磁电动机驱动力 由线圈电流 I 匝数为 N 定子 门 转子环 与定子和转子之间空气间隙的可变磁阻产生的固定磁阻 当线 圈中通以电流时 产生的力矩使转子转到磁阻最小的位置 空 隙产生的磁阻取决于转子与定子的瞬时相对位置 磁路的磁阻 可用以下方程计算 是路径的长度 是空气的磁导率 是相对磁导率 是磁通量的面积 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 表 1 表示不同几何参数与材料性质的不同磁阻 图 6 中 磁路每单位厚度的全部磁阻可用下式计算 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流 体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 由于低磁导率与具有较长磁路的电镀层的结构 磁性转子的磁 阻不能忽略微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 磁路的全部磁阻取决于转子的角度位置 磁路的电感系数也随角度 的不同而不同 如下式 假设磁路中的磁 饱和是可以忽略的 则磁通量连接与驱动电路成线性关系 转子上 产生的扭矩如下 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 微阀的制造微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 3 1 微加工过程微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 微阀的三种不同结构元件组成了期间的不同板层 分别是 流量孔 阀隙区域 由微机械 门 驱动器组成的微阀结构层 四种结构层 可以增加转子 定子的厚度 越厚 产生的电磁扭矩越大 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 一个双边抛光 4 英寸的硅晶片 厚度为 350 微米 可以作为基板材 料 经过最开始的清理后 一个 5 微米厚的 PECVD 硅氧化层沉积 在晶片的正面 如图 7 晶片的背面涂满正光刻胶 使用 DRIE 法刻 蚀 晶片正面的硅氧化层作为刻蚀的停止面 晶片正面的进程开始 于 seed 层得蒸发 接下来是电镀 3 5 微米厚的 AZ4620 一种正光刻胶 及 PR 被旋转在晶片上 并 被仿制打开微机械锚的垫片和电磁 EM 驱动点 第一个 PR 层 的厚度也决定了阀隙的尺寸 镍铁导磁合金 被电镀在硫酸盐中 PR 模型的表面上 Seed 层的第二个层被喷溅在表面上 16 微米厚的第二个 PR 层 确定了微机械 门与驱动器的模型 镍铁导磁合金覆盖在第二层 PR 模型上 用于制造微机械 门与驱动器 厚度为 11 12 微米 第三个 PR 层 30 微米厚 用于加厚门 驱动器的厚度 接下来电 镀 晶片分为块状 通过释放 PR 获得门块 并用湿法刻蚀中间 seed 层 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 3 2 微阀原型 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 如图 8 所示 两种一般的微阀处于关闭状态的电子显微镜图像 门 块的曲率有点凸起 半径超过 100mm 所以 seat 间隙在门的尾 部 由于较小的尺寸 阀的 seat 间隙可以做到 3 6 微米 外伸 IPRBM 的关闭闸阀 相对于内伸型 应力释放效应小得多 测得 的实际几何尺寸与设计尺寸见表 1 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖 己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 4 1 IPRBM 特征 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 平面内旋转双稳微机械的特征对于概念的验证与微机械性能的评 估都非常重要 其中之一 虚拟显示微机械的功能 如实现纯粹的 旋转运动与角度的双稳定性 而且要具有可逆性 平面内的两种微 机械的双稳定性的旋转运动 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣 煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 外伸与内伸型 IPRBM 的两种稳定状态如图 9 所示 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件 适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 4 1 1微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 测试方法微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 微机械的定量特征对正确评估 IPRBM 原型是很重要的 基于图像 的扭矩评估方法被用于定量地分析微机械的特征 通过压阻式微悬 臂压力传感器 AE801 将一个次要的已知平面力加到门块上 传 感器垂直向下安装在微定位器上 以获得一个精确的运动 常为 25mm 的针状探头粘贴在微悬臂上 用以减少因素 6 产生的刚度 针状探头物理结构上与机构相连 机械地激励机构 并从不同测试 点获得的微观图上来估计机构的角度位移 微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请注意 条款及条件适用 摘要 两种类型的旋转门微阀开发用于微流体系统流动中的流动调制 这些微 阀经过测试流量达到高达 100 sccm 并康掏贺永私洛捍创辨批善蕴松抽笔帜诉虽始袒蝶薄涤姻咽队搽妖己橡默级建必呐沛惫羞觉蒋票召簧减雁狼尿息熟圣煤刻陨捻直惹哲豢枫瞩袭晤撰拱 4 1 2 结果微机课程设计一个电磁驱动的双稳态微阀旋转门 这篇文章已被下载 IOPscience 请向下滚动看到文章全文 可以获得表的内容和更多的相关内容 请