设备量化考核管理制度

设备量化考核管理制度设备量化考核管理制度 文件编号QEO BYHN ZD 10 09 2016 A 0 文件类别支持性文件页码 1 1 4 4 编制部门硅片厂设备部 编制 日期审核 日期批准 日期 分发范围 硅片厂各工段 分部 生效日期20 年 月 日 目录目录 1 范围 2 原材料及产品质量指标 3 工作原理 4 操作步骤 5 控制要点 6 安全技术操作规程注意事项 7 常见故障处理措施 8 图 组织机构和职责范围组织机构和职责范围 文件编号QEO NBYC ZY SB 06 2011 A 0 文件类别作业文件页码 1 1 4 编制部门设备部 编制 日期审核 日期批准 日期 分发范围 总经理部 公司各部门负责人 生效日期20 年 月 日 目录目录 1 范围 2 原材料及产品质量指标 3 工作原理 4 操作步骤 5 控制要点 6 安全技术操作规程注意事项 7 常见故障处理措施 8 图 TPM 持续改进制度持续改进制度 文件编号QEO NBYC ZY TJ 05 2011 A 0 文件类别程序文件 管控部门体系建设办版本号 A 0 页码 1 4 目录目录 1 范围 2 原材料及产品质量指标 3 工作原理 4 操作步骤 5 控制要点 6 安全技术操作规程注意事项 7 常见故障处理措施 8 图 设备量化考核管理制度设备量化考核管理制度 文件编号QEO NBYC ZY SB 01 2011 B 0 文件类别作业文件页码 1 1 4 编制部门设备部 编制 日期审核 日期批准 日期 分发范围 总经理部 公司各部门负责人 生效日期 年 月 日 目录目录 1 范围 2 原材料及产品质量指标 3 工作原理 4 操作步骤 5 控制要点 6 安全技术操作规程注意事项 7 常见故障处理措施 8 图 TPM 持续改进制度持续改进制度 文件编号QEO NBYC ZY TJ 05 2011 A 0 文件类别程序文件 管控部门体系建设办版本号 A 0 页码 1 4 目录目录 1 范围 2 原材料及产品质量指标 3 工作原理 4 操作步骤 5 控制要点 6 安全技术操作规程注意事项 7 常见故障处理措施 8 图 1 1 目的目的 为了加强设备管理 维持设备完好的技术状况 降低设备的运行成本 延长设 备的使用寿命 促进管理工作进一步规范化 制度化 特制定本设备量化考核管理 制度 2 2 适用范围适用范围 本考核规定适用于硅片厂全部生产设备的管理 检查考核 3 3 设备考核内容及标准设备考核内容及标准 3 1 设备自主点检的考核 3 1 1 点检人要按点检标准和点检记录表规定进行点检 并做好记录 未按时点检 与监测而发生设备故障 又无点检记录 每违反一次 视情节轻重给予罚款 20 50 元 次 3 1 2 点检发现的一般隐患和问题未及时安排处理 又未采取有效的防护措施 而 导致故障扩大或造成设备事故 给予加倍罚款 50 100 元 次 并对设备所在区域负 责人给予相应的罚款 3 1 3 重大隐患一经发现 应及时采取防范措施 通知相关部门共同协商解决 并 做好记录 在未解决前或未经相关部门同意 该设备严禁运行 违反该规定给予 200 元以上的罚款 如情节严重给予相应的处分 3 1 4 点检记录的填写 统计和保管 要求记录必须真实详细 点检记录保管不当 和弄虚作假 违反规定给予罚款 20 100 元 次 3 1 5 记录不规范 填写与设备巡点检无关的内容 漏填 错填 不签名或挪作它 用 违反该规定罚款 20 50 元 次 3 2 设备专业巡检的考核 3 2 1 巡检人要按巡检标准和巡检记录表规定进行巡检 并做好记录 未按时巡检 与监测而发生设备故障 又无巡检记录 每违反一项 视情节轻重给予罚款 50 100 元 次 3 2 2 巡检发现的一般隐患和问题未及时安排处理 又未采取有效的防护措施 而 导致故障扩大或造成设备事故 给予加倍罚款 100 150 元 次 并对设备责任工程 师给予相应的罚款 文件名设备量化考核管理制度文件编号 QEO BYHN ZD 10 09 2016 A 0 页码 2 2 4 4 2 原材料及产品质量指标 原材料及产品质量指标 2 1 原料质量指标 原料质量指标 名称品种规格消耗量吨 年 备注 氯气氯 体积 99 8 水和其它含氧杂质 质量 0 015 三氯化氮 质量 0 002 不挥发的残余物 质量 0 015 9573符合 GB T 5138 1966 标准的优质品 氢气1 氢 质量 99 997 2 氧 质量 0 003 3 露点 60 286 原始氢 4 循环氢 282 2 2 产品质量指标 产品质量指标 2 2 1 合成 合成 HCL 质量指标 体积 质量指标 体积 HCL 含量 95 97 H2 含量 3 5 无游离氯 含量小于 20ppm 水分含量 200ppm 2 2 2 CDI 回收回收 HCL 质量指标 体积 质量指标 体积 HCL 含量 95 H2 含量 5 氯硅烷含量 0 5 2 3 技术经济指标 技术经济指标 产能 按 70 合成 HCL 9859T a 消耗 CL2 9573T a 消耗 H2 286T a 其中补充氢 4T 循环氢 282T 3 工作原理 工作原理 3 1 HCL 合成工艺原理 合成工艺原理 HCL 的合成是采用氢气在氯气中不爆炸燃烧的条件下进行的方法来制备 反应式 H2 CL2 HCL 反应的发生需要一定的前提条件 即提供一定的能量 在光照或加热的情况下 二者能迅速反应 释放出大量的热 3 2 工艺流程 工艺流程 3 2 1 工艺流程说明 附工艺流程图 工艺流程说明 附工艺流程图 氯化氢合成是由三套相同的合成炉系统 氢气 氯气缓冲罐 事故排放接收设备组成 其中 H2 CL2 缓冲罐及事故排放装置为三套合成炉系统共用 3 2 1 1 原料 原料 外购液氯汽化后 到缓冲罐 01V0701 经干燥后由管道输送至氯气缓冲罐 V3 1 1 08 氢气来自 制氢厂房及 CDI 装置 由管道输送至缓冲罐 V5 1 1 10 3 2 1 2 HCL 吸收吸收 为了吸收合成炉 R1 1 1 01 R1 1 1 01 1 R1 1 1 01 2 安全薄膜阀动作时的事故废气 以及合成炉 开停车或不合格的废气 设置 HCL 吸收装置 系统由两台 一开一备 一级降膜吸收器 D1 1 1 1 01 D1 1 1 1 02 一台二级降膜吸收器 D1 1 1 1 03 HCL 吸收塔 T1 1 1 1 08 储罐容器 V1 1 1 1 04 V1 1 1 1 05 V1 1 1 1 06 V1 1 1 1 07 V2 1 1 1 09 V2 1 1 1 10 收集罐 V4 1 1 1 29 和换 热器 E1 1 1 1 11 泵 P1 1 1 1 21 22 P1 1 1 1 23 24 P2 1 1 1 25 26 等组成 充分吸收 HCL 后 尾气 经 T1 1 1 1 08 排空 制得 20 以下的盐酸输送到三废车间处理 收集排放的废液被收集到设备 V4 1 1 1 29 继而用 0 5MPa 的氮气压送到三废车间处理 4 操作步骤 操作步骤 4 1 开车前的准备开车前的准备 4 1 1 按照工艺流程 依次对系统内所有设备 包括内件 按照工艺流程 依次对系统内所有设备 包括内件 管道 阀门 分析取样点 电气 仪 管道 阀门 分析取样点 电气 仪 器仪表 安全设施等的施工安装进行检查和验收 确保其符合设计要求 器仪表 安全设施等的施工安装进行检查和验收 确保其符合设计要求 4 1 2 确认公用工程 确认公用工程 供电系统 氢气 氮气 脱盐水 压缩空气 循环水等供电系统 氢气 氮气 脱盐水 压缩空气 循环水等 装置均已完成试车并装置均已完成试车并 投入正常运行 接通所有公用工程物料的供应管线 使之处于可用状态 烧碱 投入正常运行 接通所有公用工程物料的供应管线 使之处于可用状态 烧碱 10 NaOH 溶液 的溶液 的 配制 配制 4 1 3 DCS 操作系统准备工作 按设计条件校对所有仪表元件的位置 接管 标记及量程 对所操作系统准备工作 按设计条件校对所有仪表元件的位置 接管 标记及量程 对所 有调节阀逐一进行试验调校 保证其对所控参数能作出正确反应 并在仪表空气出现故障时能正确开有调节阀逐一进行试验调校 保证其对所控参数能作出正确反应 并在仪表空气出现故障时能正确开 闭 试验所有报警系统 确保其灵敏有效 对所有的安全阀进行校核 整定 闭 试验所有报警系统 确保其灵敏有效 对所有的安全阀进行校核 整定 4 1 3 1 启动仪表电源和操作员站 4 1 3 2 检查远传仪表和现场仪表是否正常 4 1 3 3 启动各调节阀 观察运转是否正常 4 1 3 4 检查各控制点设定值是否符合规定值 4 1 3 5 检查测控点的逻辑关系是否正确 4 1 3 6 以上检查合格 控制阀关闭待用 4 1 4 确认消防 安全 急救等设施齐全 可用 确认消防 安全 急救等设施齐全 可用 4 1 5 系统的吹扫和干燥 系统的吹扫和干燥 4 1 5 1 开车前 用安全灯逐个设备检查 有杂物积垢的应用刷子或其他方法清理干净 特 别要把安装过程中遗留下来的杂物清理干净 4 1 5 2 用压缩空气逐段吹扫所有管道 除去灰尘和颗粒物 吹扫时 禁止从管道向设备 中吹扫 防止颗粒等杂物吹入设备中 4 1 5 3 吹扫时拆开设备和阀门前的管道作为吹出口 管道吹净前拆下流量计限流孔板 待管道吹净后重新安装 4 1 5 4 用 0 5MPa G 的压缩空气 按流程顺序逐台设备 逐条管道吹净 不得跨越设备 管道 阀门及工序之间的连接管道 反复多次吹扫 并用白绸于出口检查 无污物贴附其上为合格 在吹扫主管道的同时 注意吹扫相邻的蒸汽 空气 排污 分析取样 仪表管等 4 1 5 5 设备最低处或死角 必要时采用人工清扫 4 1 5 6 系统如果有水 用热氮气干燥 露点达到 60 4 1 5 7 吹扫和干燥完成后 正确连接设备 应加或拆盲板 恢复主工艺系统的畅通 关 闭设备上的阀门 4 1 6 气密性实验 以一套为例 另两套操作类似 气密性实验 以一套为例 另两套操作类似 气密性实验是为了保证阀门及法兰等的正确连接 无泄漏 4 1 6 1 H2 管线的气密性实验管线的气密性实验 a 用 N2 对氢站至合成工段 H2 缓冲罐的氢气管道充压至 0 6MPa G 对其管道焊接处 阀门 和法兰的焊缝及连接处涂抹肥皂水进行检漏 b 用 N2 对 CDI 返回至合成工段 H2 缓冲罐的氢气管道充压至 0 6MPa G 对其管道焊接处 阀门和法兰的焊缝及连接处涂抹肥皂水进行检漏 c 用 N2 对合成工段 H2 缓冲罐至 H2 调节阀 FV0202a 前的氢气管道充压至 0 6MPa G 对其管 道焊接处 阀门和法兰的焊缝及连接处涂抹肥皂水进行检漏 4 1 6 2 氯化氢合成主系统的气密试验 氯化氢合成主系统的气密试验 气密试验过程中 所有的管道 阀门 法兰的焊缝 连接处 都应该用涂抹肥皂水的办法 检 查是否泄漏 系统充压完成后保压 30 分钟 压力不下降为合格 a 关闭 HV0201a 打开 HV0203a 向 H2 管道中通入氮气 气源压力 0 6MPa G 对其管道焊 接处 阀门和法兰的焊缝及连接处涂抹肥皂水进行检漏 b 打开吹扫氢主管道 Ha03a 15 C2C N 手动阀 对其充氮检漏 c 打开 H2 调节阀 FV0202a 及前后手阀 关闭 HV0204a HV0205a 向 R1 1 1 01 通入氮气 确认管路畅通 确认 R1 1 1 01 E1 1 1 02 E2 1 1 03 无内窜外漏 d 向 V1 1 1 05 通入氮气 确认 V1 1 1 05 无内窜外漏和其安全阀 放液阀运转正常 e 检查合格 系统卸压到 0 05MPa G 封闭备用 4 1 7 系统气体置换系统气体置换 4 1 7 1 打开 HV0203a 用 0 5MPa G 氮气充压到 0 2MPa G 然后打开打开 HV0207a 卸压到 0 05MPa G 从氯化氢吸收塔放空阀排气 同样操作进行三次后封闭 0 05MPa G 压力备用 4 1 7 2 氢站出口及 CDI 返回 H2 至合成工段 H2 缓冲罐的管道 从氢站或 CDI 的入口通入 N2 充压至 0 2MPa G 然后打开打开 H2 缓冲罐的放空阀卸压到 0 05MPa G 同样操作进行三次后封 闭 0 05MPa G 压力备用 4 1 7 3 汽化工序汽化器至氯气缓冲罐的管道 可在对氯气缓冲罐充入氯气时 打开其顶部 至氯气事故缓冲罐的排气阀 用合格氯气进行置换 置换的氯气经事故缓冲罐排入氯气吸收塔进行吸 收 4 1 8 检查点火枪设施 检查点火枪设施 4 1 8 1 氢气和压缩空气的管线安装正确 并用 0 5MPaG 氮气试压后无泄漏 4 1 8 2 电子打火设施正常 4 1 8 3 氢气和压缩空气管线上的阀门启闭正常 4 1 9 泵的试车 泵的试车 1 试车用循环水 2 应在泵的入口管线上安装临时过滤网 3 封闭的水循环回路应是该系统可能的最长管线 4 充水的容器应放空通大气 防止可能造成的真空 5 试车前 操作人员应熟悉泵的资料 按说明书进行操作 4 1 10 把所有连锁阀 调节阀设定为手动 并关闭 把所有连锁阀 调节阀设定为手动 并关闭 4 2 原始开车步骤 原始开车步骤 4 2 1 HCL 吸收装置开车吸收装置开车 4 2 1 1 启动吸收塔循环冷却水 首先开启 D1 1 1 1 01 D1 1 1 1 02 备用 D1 1 1 1 03 壳程循环冷却水出口的手动阀 缓慢开 启入口调节阀 TV0401 TV0501 开启度 50 及全开其前后手动阀 循环吸收液温度 TIRC0401 TIRC0501 控制 45 50 投入自动 开启换热器 E1 1 1 1 11 壳程循环冷却水出口的手动 阀 缓慢开启入口调节阀 TV0601 开启度 50 及全开其前后手动阀 循环吸收液温度 TIRC0401 TIRC0501 控制 45 50 投入自动 4 2 1 2 建立储酸槽液位 开启盐酸储槽 V1 1 1 1 04 V1 1 1 1 06 V2 1 1 1 09 进水手阀 向其内供入来自管廊的软水 V1 1 1 1 04 V1 1 1 1 06 液位控制 将两槽液位加到 70 Lmin 200mm Lmax 1400mm Lmax 1400 时报警 V2 1 1 1 09 内 10 NaOH 液位控制 将 两槽液位加到 80 Lmin 200mm Lmax 2600mm Lmax 2600 时报警 4 2 1 3 建立一级降膜吸收器 二级降膜吸收器 HCl 碱液吸收塔吸收液循环 a 启动调节阀 FV0401a FV0501a FV0601a 与流量计 FIRC0401a FIRC0501a FIRC0601a 分别 设定流量 24 5m3 h 12m3 h 4 m3 h 投入自动 b 开启泵 P1 1 1 1 21 P1 1 1 1 23 P2 1 1 1 25 前后相关手动阀 并启动泵 将容器 V1 1 1 1 04 V1 1 1 1 06 内的软水 V2 1 1 1 09 内 10 NaOH 液 通过吸收塔后 建立循环 4 2 2 HCL 合成炉点火合成炉点火 4 2 2 1 确定氢气和氯气系统已正常投入 控制氢气和氯气缓冲罐压力 4 2 2 2 确定 HCL 吸收系统已正常运行 4 2 2 3 确定整个系统各部分已投入可正常运行 4 2 2 4 打开 E2 1 1 03 循环冷却水 4 2 2 5 打开 FV0202a 前后手动阀 FV0202a 设定开度 10 打开 HV0205a HV0207a 打开 T1 1 1 1 08 上放空阀门 再打开氮气阀门 HV0203a 对系统进行赶气 大约半小时 4 2 2 5 启动 HCL 吸收系统 4 2 2 6 关闭 HV0203a 停止氮气置换 关闭 HV0205a HV0207a 开启 HV0204a 开现场压缩空气 手阀给 HCL 合成炉 R1 1 1 01 置换 进行空气吹扫 将 FV0202a 设定为 3 打开 HV0201a 及 FV0202a 前手阀 对氢气缓冲罐 V5 1 1 10 至炉前手阀的管 线用 0 5MPG 氢气进行置换 在进 HCl 合成炉前氢气管线上的现场压力表口子放空 20 分钟后 关闭 HV0201a 装上现场压力表 将 PV0304a 设为自动对 V5 1 1 10 充压至 0 48MPG 将 PV0304b 设为自 动对白碳黑送氢气 设定值为 0 28 MPG 确认还原氢化到我们这边的调节阀是否设定为自动 设定 值为 0 52MPG 然后开启阀门 HV0201a 确认开启 FV0202a 及其前手动阀 并设定 FV0202a 开度为 3 充压至炉前主氢管线上的手阀前 压力为 0 5MPG 4 2 2 7 液氯库确认打开 01V0701 出口至氯气干燥的手动阀 再开启干燥至 V3 1 1 08 氯气缓冲罐 的手动阀 打开 V3 1 1 08 进气手动阀 充压到 0 6MPG 用氨水在各法兰 焊缝和仪表接口处检漏 合格后打开 V3 1 1 08 至氯气吸收塔之间的手动阀 卸压至 0 05 MPG 重复两次后 充压至 0 53 MPG 打开 HV0202a 及 FV0201a 其前后手动阀 并设定 FV0201a 开度为 7 充压至炉前的主氯管 线上的手阀前 压力为 0 53MPG 4 2 2 8 现场压缩空气给 HCL 合成炉 R1 1 1 01 置换 进行空气吹扫约 20 分钟后 通知检验部进行 取样做爆炸性结果分析 当取样分析合格后 关闭手动阀 停吹扫空气 4 2 2 9 确定以上准备工作已完成 中控人员开压缩空气电磁阀和允许点火控制 开启点火氢 现 场人员现场启动点火器 4 2 2 10 当点火器火焰燃烧起来后 以现场人员通过窥视孔能看见火焰为准 火焰检测器工作检 测到火焰 慢慢开启炉前主氢管线上手动阀 此时主氢燃烧 点火氢手动关闭 然后立即慢慢开启炉 前主氯管线上手动阀 保证氢气过量 火焰颜色为苍白色 此时点火器停止打火 4 2 2 11 开启视镜吹扫氢 4 2 2 12 缓慢提量 原则 先氢后氯 至规定流量 50 后 取样分析 HCL 含量 4 2 2 13 HCL 含量达到要求后 95 97 开启 HV0205a HV0207a 关闭 HV0204a 对储罐置 换 大约 5 分钟后 关闭 HV0207a 对 R1 1 1 01 和 V1 1 1 05 进行升压 当压力达到要求 开车时 V1 1 1 05 控制在 0 32MPa 后 即可开启 HV0208a 向三氯氢硅合成提供 HCL 点火失败 必须重复 4 2 3 9 步骤 方能重新点火 4 3 停车 停车 4 3 1 正常停车 以一套系统为例 正常停车 以一套系统为例 4 3 1 1 首先报告调度 通知制氢站停氢气 通知液氯库岗位 关闭液氯钢瓶阀 以降低液氯汽化 器液位 4 3 1 2 将 H2 调节阀 FV0202a CL2 调节阀 FV0201a 缓慢减小开度 减少 CL2 H2 流量 先 CL2 后 H2 氢过量 10 进行降量操作 降量操作必须先降氯后降氢配合操作 4 3 1 3 当 SiHCl3 合成炉停止反应时 打开 HV0207a 关闭 HV0208a 缓冲罐 V1 1 1 05 内的 HCL 切换到 HCL 吸收系统 4 3 1 4 当氯气流量计 FIRC0202a 显示 20Nm3 h 时 关闭 HV0202a FV0201a 其次关闭氢气 HV0201a FV0202a 将火熄灭 4 3 1 5 开启氮气阀 HV0203a 流量控制 50 100Nm3 h 吹扫系统 1 个小时 关闭 HV0203a 4 3 1 6 系统压力 0 05MPa 时 关闭 HV0207a 保持系统微正压 4 3 1 7 关闭各换热器循环冷却水 关闭 HCL 吸收系统 若停车时间长 用泵将 V1 1 1 1 04 V1 1 1 1 06 酸液和 V2 1 1 1 09 内的中和液排到 5 厂房处理 HCL 合成系统 停车步骤类似 4 3 2 非正常停车非正常停车 4 3 2 1 HCL 合成炉紧急停车 当合成工段出现停电 停水 重大泄露及安全事故或 CDI 1 事故停车时 a HCL 合成炉系统 H2 HV0201a CL2 HV0202a HCL HV0205a 自动关闭 b 同时 N2 HV0203a 自动打开 废气由缓冲罐 V1 1 1 05 前导入 HCL 吸收系统 合成炉完成停车 并与 SIHCL3 合成系统隔离 c 根据缓冲罐 V1 1 1 05 出口压力 调节阀自动调节 加大 HCL 返回量 维持缓冲罐压力 保证 SIHCL3 合成系统仍可继续正常运行 4 3 2 2 事故停车 系统发生一般泄漏或其它原因 设备 管道 阀门 法兰密封垫等 时 视情况作降量保持 HCL 合 成炉内火焰或正常停车处理 4 4 HCL 合成再开车合成再开车 4 4 1 正常停车后的再开车 正常停车后的再开车 按原始开车步骤进行开车 4 4 2 事故停车后的再开车 现阶段不投连锁 故暂时取消 事故停车后的再开车 现阶段不投连锁 故暂时取消 4 4 2 1 HCL 合成炉联锁停车后 紧急停车后的再开车 用氮气吹扫系统 不包括 H2 CL2 缓冲 罐 1 小时 故障处理完毕后进入点火开车程序 4 4 2 2 HCL 缓冲罐后联锁停车后的再开车 故障处理完毕 根据 SIHCL3 合成炉温度及系统具备 正常开车条件后 缓慢提升 H2 CL2 的流量至正常生产值 HCL 质量浓度达标后 供入 SIHCL3 合 成炉 4 5 排酸 中和液 操作排酸 中和液 操作 一级降膜吸收系统 二级降膜吸收器系统 HCL 吸收系统的排酸 中和液 操作类似 现以一级 降膜吸收系统为例 4 5 1 当 AIRA0402 检测出 D1 1 1 1 01 的吸收盐酸质量浓度达 20 时报警 4 5 2 启动调节阀 FV0402 与流量计 FIC0402 设定流量 24 5m3 h 开启泵 P1 1 1 1 22 前后相关手 动阀 并启动泵 P1 1 1 1 22 将容器 V1 1 1 1 05 内的软水 通过降膜吸收器 D1 1 1 1 02 建立循环 4 5 3 打开降膜吸收器 D1 1 1 1 02 进 HCL 阀 关闭降膜吸收器 D1 1 1 1 01 进 HCL 阀 打开泵 P1 1 1 1 21 出口至三废车间的手动阀 关闭至降膜吸收器 D1 1 1 1 01 的手动阀 将 20 盐酸输送至 三废车间 当液位 200mm 时 停止泵 P1 1 1 1 21 至此 排酸完成 5 控制要点 控制要点 5 1 管理要点 5 1 1 氢气缓冲罐的压力 5 1 2 氯气缓冲罐的压力 5 1 3 HCL 合成炉的压力 温度 5 1 4 HCL 空气冷却器 HCL 出口温度 5 1 5 HCL 水冷换热器 HCL 出口温度 5 1 6 HCL 储罐压力 出口温度 5 1 7 石墨 HCL 吸收器的温度及运转情况 5 1 8 盐酸储罐的液位及盐酸的质量情况 5 1 9 各泵的运转情况 5 1 10 仪表 设备及管道的安全使用情况 5 1 11 控制氢气流量稳定 5 1 12 控制氯气流量稳定 5 1 13 每小时取样分析 HCL 含量 含量控制在 95 97 含量主要通过调节 FV0202a 和 FV0201a 开度来进行控制 5 2 取样分析点 取样分析点 5 2 1 HCL 质量浓度分析 刚开车 1 次 小时或每调量一次 5 2 2 吸收 HCL 储罐内盐酸质量浓度分析 常规 1 次 周 开停车或事故处理则 1 次 2 小时 5 2 3 合成炉点火前炉内气体爆炸分析 每次点火前 6 安全技术操作规程注意事项 安全技术操作规程注意事项 6 1 氯气 氯化氢都是有毒气体 正常生产和检修时 一定要正确穿戴好劳保用品 6 2 正常生产和检修时 不允许氢气 氯气 氯化氢外溢 各种有毒气体浓度控制在允许范围以内 现场环境 氯气和氯化氢 1mg m3 6 3 氢气极易燃 易爆 与一定比例的空气 氯气混合能发生爆炸 点火前应对氢气 氯气进行安 全分析 氧含量和氢含量测定 6 4 系统进行维修 若需动火 必须用氮气充分置换 6 5 HCL 岗位及氢气管线 10 米以内严禁吸烟和使用明火 6 6 万一发生爆炸 着火事故 应根据情况迅速关闭氢气 氯气源 对着火设备进行充氮置换 或 用二氧化碳封闭灭火 6 7 点火失败 必须重复 7 2 2 点火准备 8 步骤 方能重新点火 6 8 经常检查仪表 设备 管道的易损件和易损部位 并及时更换 防止安全隐患扩大 6 9 仪表调节阀在投入自动前 必须先用手动调节至接近正常值时 才能切换为自动控制 防止对 设备造成冲击 6 10 仪表空气气源故障 按紧急停车处理 6 11 设备排空时的产品和取样的废水排至容器地槽 V4 1 1 1 29 出该容器的废水靠压力为 0 5MPa 的 氮气送到 5 厂房废物处理 7 常见故障处理措施 常见故障处理措施 若火焰非正常熄灭 应尽快找出具体原因及时排除故障 一般原因有 7 1 合成炉压力升高 温度发生变化 系统故障联锁控制启动 现阶段联锁取消 7 2 氢气 氯气原料供应不足 压力明显下降 7 3 系统出现有堵塞现象 表现为系统压力增大 7 4 氢气 氯气流量配比失衡 尤其 HCL 提量降量时 防爆膜破裂 合成炉内形成爆炸性混合物气体 发生爆炸 压力增大破裂 合成炉内压力超过 0 625MPa 且应每年一次更换防爆膜 超期使用会使其承压能力下降 导致正常压力也出现破裂 7 5 阀门开关失控或内漏 根据情况及时更换或维修处理 7 6 停电 按紧急停车处理 关闭氢气 氯气进气阀 关闭 HCL 进 SiHCL3 合成炉控制阀 关闭 CDI 至 HCL 控制阀 打开吹扫氮气进气阀及至 HCL 吸收装置控制阀 现阶段 CDI 回收 HCL 用氮气 中和放空 7 7 系统设备 管道发生泄露 应根据情况采取隔断 放空或停炉处理 并及时报告上级 防止事 态扩大 7 8 当氯气缓冲罐 V3 1 1 08 压力高于 1 6MPa 时安全阀动作 一开一备 废气排至废氯处理罐 继 而送到液氯库的废气处理塔吸收处理 8 图 图 液氯库 氯气缓冲罐 电解氢 氢气缓冲罐CDI 返回的氢 阻火器 HCL 合成炉 空气冷却器 水冷却器 HCL 储气罐 HCL 加热器 SiHCL3 合成炉 CDI 返回的 HCL HCL 吸收装置 三废处理厂房 空气冷却器 事故 HCL 缓冲 罐 罐 文件名组织机构和职责范围文件编号 QEO NBYC ZD 16 06 2011 A 0 页码 2 2 4 4 2 原材料及产品质量指标 原材料及产品质量指标 2 1 原料质量指标 原料质量指标 名称品种规格消耗量吨 年 备注 氯气氯 体积 99 8 水和其它含氧杂质 质量 0 015 三氯化氮 质量 0 002 不挥发的残余物 质量 0 015 9573符合 GB T 5138 1966 标准的优质品 氢气1 氢 质量 99 997 2 氧 质量 0 003 3 露点 60 286 原始氢 4 循环氢 282 2 2 产品质量指标 产品质量指标 2 2 1 合成 合成 HCL 质量指标 体积 质量指标 体积 HCL 含量 95 97 H2 含量 3 5 无游离氯 含量小于 20ppm 水分含量 200ppm 2 2 2 CDI 回收回收 HCL 质量指标 体积 质量指标 体积 HCL 含量 95 H2 含量 5 氯硅烷含量 0 5 2 3 技术经济指标 技术经济指标 产能 按 70 合成 HCL 9859T a 消耗 CL2 9573T a 消耗 H2 286T a 其中补充氢 4T 循环氢 282T 3 工作原理 工作原理 3 1 HCL 合成工艺原理 合成工艺原理 HCL 的合成是采用氢气在氯气中不爆炸燃烧的条件下进行的方法来制备 反应式 H2 CL2 HCL 反应的发生需要一定的前提条件 即提供一定的能量 在光照或加热的情况下 二者能迅速反应 释放出 大量的热 3 2 工艺流程 工艺流程 3 2 1 工艺流程说明 附工艺流程图 工艺流程说明 附工艺流程图 氯化氢合成是由三套相同的合成炉系统 氢气 氯气缓冲罐 事故排放接收设备组成 其中 H2 CL2 缓冲 罐及事故排放装置为三套合成炉系统共用 3 2 1 1 原料 原料 外购液氯汽化后 到缓冲罐 01V0701 经干燥后由管道输送至氯气缓冲罐 V3 1 1 08 氢气来自制氢厂 房及 CDI 装置 由管道输送至缓冲罐 V5 1 1 10 3 2 1 2 HCL 吸收吸收 为了吸收合成炉 R1 1 1 01 R1 1 1 01 1 R1 1 1 01 2 安全薄膜阀动作时的事故废气 以及合成炉开停车 或不合格的废气 设置 HCL 吸收装置 系统由两台 一开一备 一级降膜吸收器 D1 1 1 1 01 D1 1 1 1 02 一台二级降膜吸收器 D1 1 1 1 03 HCL 吸收塔 T1 1 1 1 08 储罐容器 V1 1 1 1 04 V1 1 1 1 05 V1 1 1 1 06 V1 1 1 1 07 V2 1 1 1 09 V2 1 1 1 10 收集罐 V4 1 1 1 29 和换热器 E1 1 1 1 11 泵 P1 1 1 1 21 22 P1 1 1 1 23 24 P2 1 1 1 25 26 等组成 充分吸收 HCL 后 尾气经 T1 1 1 1 08 排空 制得 20 以下的盐酸输送到三废车间处理 收集排放的废液被收集到设备 V4 1 1 1 29 继而用 0 5MPa 的氮气压 送到三废车间处理 4 操作步骤 操作步骤 4 1 开车前的准备开车前的准备 4 1 1 按照工艺流程 依次对系统内所有设备 包括内件 按照工艺流程 依次对系统内所有设备 包括内件 管道 阀门 分析取样点 电气 仪器仪表 管道 阀门 分析取样点 电气 仪器仪表 安全设施等的施工安装进行检查和验收 确保其符合设计要求 安全设施等的施工安装进行检查和验收 确保其符合设计要求 4 1 2 确认公用工程 确认公用工程 供电系统 氢气 氮气 脱盐水 压缩空气 循环水等供电系统 氢气 氮气 脱盐水 压缩空气 循环水等 装置均已完成试车并投入正装置均已完成试车并投入正 常运行 接通所有公用工程物料的供应管线 使之处于可用状态 烧碱 常运行 接通所有公用工程物料的供应管线 使之处于可用状态 烧碱 10 NaOH 溶液 的配制 溶液 的配制 4 1 3 DCS 操作系统准备工作 按设计条件校对所有仪表元件的位置 接管 标记及量程 对所有调节阀操作系统准备工作 按设计条件校对所有仪表元件的位置 接管 标记及量程 对所有调节阀 逐一进行试验调校 保证其对所控参数能作出正确反应 并在仪表空气出现故障时能正确开闭 试验所有报逐一进行试验调校 保证其对所控参数能作出正确反应 并在仪表空气出现故障时能正确开闭 试验所有报 警系统 确保其灵敏有效 对所有的安全阀进行校核 整定 警系统 确保其灵敏有效 对所有的安全阀进行校核 整定 4 1 3 1 启动仪表电源和操作员站 4 1 3 2 检查远传仪表和现场仪表是否正常 4 1 3 3 启动各调节阀 观察运转是否正常 4 1 3 4 检查各控制点设定值是否符合规定值 4 1 3 5 检查测控点的逻辑关系是否正确 4 1 3 6 以上检查合格 控制阀关闭待用 4 1 4 确认消防 安全 急救等设施齐全 可用 确认消防 安全 急救等设施齐全 可用 4 1 5 系统的吹扫和干燥 系统的吹扫和干燥 4 1 5 1 开车前 用安全灯逐个设备检查 有杂物积垢的应用刷子或其他方法清理干净 特别要把 安装过程中遗留下来的杂物清理干净 4 1 5 2 用压缩空气逐段吹扫所有管道 除去灰尘和颗粒物 吹扫时 禁止从管道向设备中吹扫 防止颗粒等杂物吹入设备中 4 1 5 3 吹扫时拆开设备和阀门前的管道作为吹出口 管道吹净前拆下流量计限流孔板 待管道 吹净后重新安装 4 1 5 4 用 0 5MPa G 的压缩空气 按流程顺序逐台设备 逐条管道吹净 不得跨越设备 管道 阀门及工序之间的连接管道 反复多次吹扫 并用白绸于出口检查 无污物贴附其上为合格 在吹扫主管 道的同时 注意吹扫相邻的蒸汽 空气 排污 分析取样 仪表管等 4 1 5 5 设备最低处或死角 必要时采用人工清扫 4 1 5 6 系统如果有水 用热氮气干燥 露点达到 60 4 1 5 7 吹扫和干燥完成后 正确连接设备 应加或拆盲板 恢复主工艺系统的畅通 关闭设备 上的阀门 4 1 6 气密性实验 以一套为例 另两套操作类似 气密性实验 以一套为例 另两套操作类似 气密性实验是为了保证阀门及法兰等的正确连接 无泄漏 4 1 6 1 H2 管线的气密性实验管线的气密性实验 a 用 N2 对氢站至合成工段 H2 缓冲罐的氢气管道充压至 0 6MPa G 对其管道焊接处 阀门和法兰的 焊缝及连接处涂抹肥皂水进行检漏 b 用 N2 对 CDI 返回至合成工段 H2 缓冲罐的氢气管道充压至 0 6MPa G 对其管道焊接处 阀门和 法兰的焊缝及连接处涂抹肥皂水进行检漏 c 用 N2 对合成工段 H2 缓冲罐至 H2 调节阀 FV0202a 前的氢气管道充压至 0 6MPa G 对其管道焊接 处 阀门和法兰的焊缝及连接处涂抹肥皂水进行检漏 4 1 6 2 氯化氢合成主系统的气密试验 氯化氢合成主系统的气密试验 气密试验过程中 所有的管道 阀门 法兰的焊缝 连接处 都应该用涂抹肥皂水的办法 检查是否 泄漏 系统充压完成后保压 30 分钟 压力不下降为合格 a 关闭 HV0201a 打开 HV0203a 向 H2 管道中通入氮气 气源压力 0 6MPa G 对其管道焊接处 阀门和法兰的焊缝及连接处涂抹肥皂水进行检漏 b 打开吹扫氢主管道 Ha03a 15 C2C N 手动阀 对其充氮检漏 c 打开 H2 调节阀 FV0202a 及前后手阀 关闭 HV0204a HV0205a 向 R1 1 1 01 通入氮气 确认管 路畅通 确认 R1 1 1 01 E1 1 1 02 E2 1 1 03 无内窜外漏 d 向 V1 1 1 05 通入氮气 确认 V1 1 1 05 无内窜外漏和其安全阀 放液阀运转正常 e 检查合格 系统卸压到 0 05MPa G 封闭备用 4 1 7 系统气体置换系统气体置换 4 1 7 1 打开 HV0203a 用 0 5MPa G 氮气充压到 0 2MPa G 然后打开打开 HV0207a 卸压到 0 05MPa G 从氯化氢吸收塔放空阀排气 同样操作进行三次后封闭 0 05MPa G 压力备用 4 1 7 2 氢站出口及 CDI 返回 H2 至合成工段 H2 缓冲罐的管道 从氢站或 CDI 的入口通入 N2 充 压至 0 2MPa G 然后打开打开 H2 缓冲罐的放空阀卸压到 0 05MPa G 同样操作进行三次后封闭 0 05MPa G 压力备用 4 1 7 3 汽化工序汽化器至氯气缓冲罐的管道 可在对氯气缓冲罐充入氯气时 打开其顶部至氯气 事故缓冲罐的排气阀 用合格氯气进行置换 置换的氯气经事故缓冲罐排入氯气吸收塔进行吸收 4 1 8 检查点火枪设施 检查点火枪设施 4 1 8 1 氢气和压缩空气的管线安装正确 并用 0 5MPaG 氮气试压后无泄漏 4 1 8 2 电子打火设施正常 4 1 8 3 氢气和压缩空气管线上的阀门启闭正常 4 1 9 泵的试车 泵的试车 1 试车用循环水 2 应在泵的入口管线上安装临时过滤网 3 封闭的水循环回路应是该系统可能的最长管线 4 充水的容器应放空通大气 防止可能造成的真空 5 试车前 操作人员应熟悉泵的资料 按说明书进行操作 4 1 10 把所有连锁阀 调节阀设定为手动 并关闭 把所有连锁阀 调节阀设定为手动 并关闭 4 2 原始开车步骤 原始开车步骤 4 2 1 HCL 吸收装置开车吸收装置开车 4 2 1 1 启动吸收塔循环冷却水 首先开启 D1 1 1 1 01 D1 1 1 1 02 备用 D1 1 1 1 03 壳程循环冷却水出口的手动阀 缓慢开启入口 调节阀 TV0401 TV0501 开启度 50 及全开其前后手动阀 循环吸收液温度 TIRC0401 TIRC0501 控 制 45 50 投入自动 开启换热器 E1 1 1 1 11 壳程循环冷却水出口的手动阀 缓慢开启入口调节阀 TV0601 开启度 50 及全开其前后手动阀 循环吸收液温度 TIRC0401 TIRC0501 控制 45 50 投入 自动 4 2 1 2 建立储酸槽液位 开启盐酸储槽 V1 1 1 1 04 V1 1 1 1 06 V2 1 1 1 09 进水手阀 向其内供入来自管廊的软水 V1 1 1 1 04 V1 1 1 1 06 液位控制 将两槽液位加到 70 Lmin 200mm Lmax 1400mm Lmax 1400 时报警 V2 1 1 1 09 内 10 NaOH 液位控制 将两槽液位加到 80 Lmin 200mm Lmax 2600mm Lmax 2600 时报 警 4 2 1 3 建立一级降膜吸收器 二级降膜吸收器 HCl 碱液吸收塔吸收液循环 a 启动调节阀 FV0401a FV0501a FV0601a 与流量计 FIRC0401a FIRC0501a FIRC0601a 分别设定流 量 24 5m3 h 12m3 h 4 m3 h 投入自动 b 开启泵 P1 1 1 1 21 P1 1 1 1 23 P2 1 1 1 25 前后相关手动阀 并启动泵 将容器 V1 1 1 1 04 V1 1 1 1 06 内的软水 V2 1 1 1 09 内 10 NaOH 液 通过吸收塔后 建立循环 4 2 2 HCL 合成炉点火合成炉点火 4 2 2 1 确定氢气和氯气系统已正常投入 控制氢气和氯气缓冲罐压力 4 2 2 2 确定 HCL 吸收系统已正常运行 4 2 2 3 确定整个系统各部分已投入可正常运行 4 2 2 4 打开 E2 1 1 03 循环冷却水 4 2 2 5 打开 FV0202a 前后手动阀 FV0202a 设定开度 10 打开 HV0205a HV0207a 打开 T1 1 1 1 08 上放空阀门 再打开氮气阀门 HV0203a 对系统进行赶气 大约半小时 4 2 2 5 启动 HCL 吸收系统 4 2 2 6 关闭 HV0203a 停止氮气置换 关闭 HV0205a HV0207a 开启 HV0204a 开现场压缩空气手阀给 HCL 合成炉 R1 1 1 01 置换 进行空气吹扫 将 FV0202a 设定为 3 打开 HV0201a 及 FV0202a 前手阀 对氢气缓冲罐 V5 1 1 10 至炉前手阀的管线用 0 5MPG 氢气进行置换 在进 HCl 合成炉前氢气管线上的现场压力表口子放空 20 分钟后 关闭 HV0201a 装 上现场压力表 将 PV0304a 设为自动对 V5 1 1 10 充压至 0 48MPG 将 PV0304b 设为自动对白碳黑送氢气 设定值为 0 28 MPG 确认还原氢化到我们这边的调节阀是否设定为自动 设定值为 0 52MPG 然后开启阀门 HV0201a 确认开启 FV0202a 及其前手动阀 并设定 FV0202a 开度为 3 充压至炉前主氢管线上的手阀前 压力为 0 5MPG 4 2 2 7 液氯库确认打开 01V0701 出口至氯气干燥的手动阀 再开启干燥至 V3 1 1 08 氯气缓冲罐的手动 阀 打开 V3 1 1 08 进气手动阀 充压到 0 6MPG 用氨水在各法兰 焊缝和仪表接口处检漏 合格后打开 V3 1 1 08 至氯气吸收塔之间的手动阀 卸压至 0 05 MPG 重复两次后 充压至 0 53 MPG 打开 HV0202a 及 FV0201a 其前后手动阀 并设定 FV0201a 开度为 7 充压至炉前的主氯管线上的手阀前 压力为 0 53MPG 4 2 2 8 现场压缩空气给 HCL 合成炉 R1 1 1 01 置换 进行空气吹扫约 20 分钟后 通知检验部进行取样做 爆炸性结果分析 当取样分析合格后 关闭手动阀 停吹扫空气 4 2 2 9 确定以上准备工作已完成 中控人员开压缩空气电磁阀和允许点火控制 开启点火氢 现场人员 现场启动点火器 4 2 2 10 当点火器火焰燃烧起来后 以现场人员通过窥视孔能看见火焰为准 火焰检测器工作检测到火 焰 慢慢开启炉前主氢管线上手动阀 此时主氢燃烧 点火氢手动关闭 然后立即慢慢开启炉前主氯管线上 手动阀 保证氢气过量 火焰颜色为苍白色 此时点火器停止打火 4 2 2 11 开启视镜吹扫氢 4 2 2 12 缓慢提量 原则 先氢后氯 至规定流量 50 后 取样分析 HCL 含量 4 2 2 13 HCL 含量达到要求后 95 97 开启 HV0205a HV0207a 关闭 HV0204a 对储罐置换 大约 5 分钟后 关闭 HV0207a 对 R1 1 1 01 和 V1 1 1 05 进行升压 当压力达到要求 开车时 V1 1 1 05 控制在 0 32MPa 后 即可开启 HV0208a 向三氯氢硅合成提供 HCL 点火失败 必须重复 4 2 3 9 步骤 方能重新点火 4 3 停车 停车 4 3 1 正常停车 以一套系统为例 正常停车 以一套系统为例 4 3 1 1 首先报告调度 通知制氢站停氢气 通知液氯库岗位 关闭液氯钢瓶阀 以降低液氯汽化器液位 4 3 1 2 将 H2 调节阀 FV0202a CL2 调节阀 FV0201a 缓慢减小开度 减少 CL2 H2 流量 先 CL2 后 H2 氢过量 10 进行降量操作 降量操作必须先降氯后降氢配合操作 4 3 1 3 当 SiHCl3 合成炉停止反应时 打开 HV0207a 关闭 HV0208a 缓冲罐 V1 1 1 05 内的 HCL 切换 到 HCL 吸收系统 4 3 1 4 当氯气流量计 FIRC0202a 显示 20Nm3 h 时 关闭 HV0202a FV0201a 其次关闭氢气 HV0201a FV0202a 将火熄灭 4 3 1 5 开启氮气阀 HV0203a 流量控制 50 100Nm3 h 吹扫系统 1 个小时 关闭 HV0203a 4 3 1 6 系统压力 0 05MPa 时 关闭 HV0207a 保持系统微正压 4 3 1 7 关闭各换热器循环冷却水 关闭 HCL 吸收系统 若停车时间长 用泵将 V1 1 1 1 04 V1 1 1 1 06 酸液和 V2 1 1 1 09 内的中和液排到 5 厂房处理 HCL 合成系统 停车步骤类似 4 3 2 非正常停车非正常停车 4 3 2 1 HCL 合成炉紧急停车 当合成工段出现停电 停水 重大泄露及安全事故或 CDI 1 事