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文档简介
準份子雷射EXCIMERLASER 前言 1970年代研發成功 應用 鑽孔 標記 表面處理 CVD PVD與磁頭 光學鏡片 矽晶片的清潔 目前是微機電系統相關微製造微元件LIGA高科技業 氣體組成 惰性氣體與鹵素 光子能量 4eV 波長308nm 或6eV 波長193nm 屬於冷加工 準份子雷射冷加工原理 工件材料吸收短波長的準份子 直接打斷材料內的鍵結而破壞 藉多次脈衝將多餘的雷射能量帶走 降低熱影響區 故視為冷加工 重要的準份子雷射種類及波長 一般工業用準份子雷射規格
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