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文档简介
廠務系統概述 莊士正 整廠系統 1 廠務系統功能 1 1水系統在製程中的功能 1 2氣體系統在製程中的功能 1 3化學系統在製程中的功能 1 4真空系統在製程中的功能 1 5排氣 排水系統在製程中的功能 2 廠務系統使用材質 2 1水系統使用材質 2 2氣體系統使用材質 除特氣外機台端都可能用Teflon軟管 2 3化學系統使用材質 2 4真空系統使用材質 PumpLine製程高真空 SUS316BA EP GEX一般排氣 鍍鋅螺旋風管 2 5排氣系統使用材質 Solvent有機排氣 SUS304全焊式不銹鋼風管 Acid Ak酸鹼排氣 不銹鋼TeflonCoating風管 Tefpass 2 6排水系統使用材質 Drain一般排水 PVC PVCSCH80 Solvent有機排氣水 SUS304不銹鋼管 Acid Ak酸鹼排氣水 PVCSCH80 PVDF PTFE PFA 3 廠務系統流程 3 1製程冷卻水系統簡略流程 3 2冰水系統簡略流程 3 3純水系統簡略流程 3 4自來水 回收水系統簡略流程 3 5CDA GN2 PN2系統簡略流程 3 6其他大宗氣體 特氣系統簡略流程 3 7高真空 排氣系統簡略流程 3 8真空系統簡略流程 3 9化學系統簡略流程 3 10廢水
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