LCD_产业现况解析.doc

此文档收集于网络 如有侵权 请联系网站删除 精品文档 T TF FT T L LC CD D 產產業業觀觀察察與與現現況況解解析析報報告告 Y 9 8 Q 3 主主辦辦單單位位 經經濟濟部部工工業業局局 執執行行單單位位 金金屬屬工工業業研研究究發發展展中中心心 作作做做作作者者 產產業業 研研究究組組 中中 華華 民民 國國 九九 十十 八八 年年 九九 月月 財財 團團 法法 人人 金金 屬屬 工工 業業 研研 究究 發發 展展 中中 心心 此文档收集于网络 如有侵权 请联系网站删除 精品文档 文文目目錄錄 壹壹 全全球球 LCD 曝曝光光設設備備產產業業動動向向 2 一 前言 2 二 NIKON 啟動 10G 設備 2 三 PSA 以及光配向以量產程度正式起跑 3 四 EGIS 將 CF 以及 TFT 的設備納入目標 5 五 主要廠商戰略 5 六 2010 年第三季國際 TFT LCD 設備廠動態整理 9 貳貳 我我國國 TFT LCD 設設備備產產業業現現況況 11 一 2010 年 1 8 月總營收統計 11 三 TFT LCD 設備廠商動態 11 此文档收集于网络 如有侵权 请联系网站删除 精品文档 壹壹 全全球球 LCD 曝曝光光設設備備產產業業動動向向 一一 前前言言 受到 2008 年金融危機的影響 2010 年的 LCD 設備投資活動沉寂 但是 因為目前面板需求快速回溫 之前凍結的投資案又重新復活 據說在2010 年上半期將會出現第一波的高峰 其中 Nikon 的第 10 代設備已經交貨並開 始啟動 並針對下一世代展開第11 代對應設備的研發 另一方面 降低成本 技術也是各界關心的焦點 二二 NIKON 啟啟動動 10G 設設備備 Nikon 終於開始啟動第10 代 10G 對應的曝光設備 FX 101S 沿用 以前的概念 光學部分採用多鏡頭掃描方式 在第8 代 8G 對應設備中 雖然使用了 11 個解析度 3 m 的大口徑鏡頭 在10G 的設備中又增加了連接 數量 以因應大尺寸面板的需求 並且 還改良設備的平台 在擴大基板尺寸的 同時 盡力抑制大型化後的設備尺寸 雖然還不清楚解析度以及產品生產時間等 具體規格 不過應確保了與既有設備相同程度的規格 在第 7 代 7G 8G 對應設備中 發表了可以滿足高產出率需求的最新機 種 FX 75S 85S 表 1 相較於當初開始銷售的同一系列71S 81S 機種 產品生產時間速度加快 可達到15s plate 投入該設備後 可滿足電視面板 的需求 並可望再進一步提升市佔率 今後 除了推動下一代設備之第11 代 11G 機器研發之外 同時 也將更進一步改善10G 對應設備的產品生 產時間 Canon 也集中資源開發11G 對應設備 在光學部分以及平台技術部分 繼 續沿用以前的技術 在製程腔部分 以朝盡量減少人工作業的方向推動研發 作 業員在腔室內作業除了會產生塵埃之外 因為高度高達6 7 公尺 也必須考 此文档收集于网络 如有侵权 请联系网站删除 精品文档 慮安全上的問題 因此 將以前手動操作的光學部分調整作業等 更改為直接操 作設備外部的控制盤 另外 為了可以順利開始啟動 以及假設必須在客 戶公司 現場 有效率地完成組裝 也重新檢討了零配件的結構 11G 對應設備 的交貨預定於2011 年的下半期 在曝光設備部分 提高開口率以降低面板的消費電力 安裝120 240Hz 驅動等 以改善裝置的性能 既確保了開口率 也出現更多改善解析度以及套 準精度的需求 另外 因為既有的大尺寸a Si TFT 的精密程度已經與中小尺 寸 LCD 並駕齊驅 相信將會出現裝置精密度必須高達1 5 2 m 程度的要求 至於 Netbook 筆記本電腦等級的7 11 吋 因為隨身攜帶移動 必須降低消費 電力 也有人認為製程革新 將從第5 代 5G 起重現江湖 三三 PSA 以以及及光光配配向向以以量量產產程程度度正正式式起起跑跑 各家 LCD 廠商為了因應逼近成本的面板價格降價 紛紛再度降低了生產成 本 包括背光源 BL 光學薄膜的組成 Cell 結構 變流器以及電源迴路 等所有部分 似乎會出現翻天覆地的變化 第一步就是重新檢討Cell 結構 透過重新檢討Cell 結構 提高面板的透過率與BL 的光使用效率 減少光源 的搭載數量 這樣一來 可同時降低成本與降低消費電力 至於最近受到各界矚 目的 LED BL 則遇到發熱的問題 在側光式模組中 因為熱度容易集中在面板 邊緣部位 液晶材料受損 並且聽說出現了外圍與中央回應速度不同的例子 提 高透過率 雖然可幫助減少光源裝載數量 同時也可以成為一種散熱方案 深受 各界期待 表 1 FX 75S 85S Nikon 規格 解析度3 5 m g h i 線模式 3 0 m i 線模式 投影倍率1 1 對準精度 0 6 m 基板尺寸1950 2250mm 75S 2500 2200 85S 光罩尺寸1220 1440mm 產品生產時間58s plate 75S 60s plate 85S 此文档收集于网络 如有侵权 请联系网站删除 精品文档 4 光罩掃描方式時 30mJ cm2 4EGA scan g h i 線模 式 資料來源 Electronic Journal 2010 08 金屬中心產研組 2010 09 圖 1 Nikon 的最新曝光設備的透視圖 資料來源 Electronic Journal 2010 08 金屬中心產研組 2010 09 在 Cell 相關技術部 分 台灣友達 AUO 在大尺寸生產線上採用 PSA Polymer Sustained Aligment 以及夏普採用光配向技術等成為各界注目 的焦點 在 PSA 部分 使用混合UV 硬化單體的液晶材料 在ODF 之後 印加電壓並照射UV 單體開始活性化並與聚合物層反應後 預傾角固定 優點 為即使 VA 模式中必備的突起或是彩色濾光片 CF 上沒有縫 隙 slit 依然可以進行液晶的配向 因為CF 部分形狀平坦 就裝置而言 也具有不會 出現殘留位相差或是光漏的好處 目前已經應用於 手機或是電視產品 但 是 因為配向處理均一度差 使用在電視上時 畫質不均就是尚待解決的問題 在產品生產時間方面 因為一次以強烈紫外線照射的緣故 形成大量的小針孔 必須以低能源進行長時間的照射 V Technology 則在紫外線照射部分 提出 使用新型光源以及水冷方式進行強制冷卻的 FACE 方案 如果使用這項技 術 可以壓倒性地將原本需要30 分鐘的紫外線照射時間縮短到30 秒左右 除了友達光電量產使用PSA 之外 另外 夏普也使用於中小尺寸的生產線上 並正在生產 另外 韓國的Samsung Electronics 與台灣的奇美光電則正在進 行研發 此文档收集于网络 如有侵权 请联系网站删除 精品文档 在光配向技術部 分 V Technology 接到了曝光機 EGIS 總計 95 億日 圓的大型訂單 光配向使用的機種 已經於4 年前完成研發 雖然長期處於 等待客 戶下單的狀態 在降低生產成本的氣氛逐漸高漲之際 終於獲得客戶採用 光配向除了可以進行高產出率的生產之外 另外 還擁有其他如製程範圍較大等 優點 透過率也高於PSA 但是 材料與裝置成本偏高 則是比較令人擔憂的 問題 此外 聚 醯亞胺 PI 擁有波長依存性與光照射量依存性的特性 因此 需要配合使用配向材料與製程方面的Know how 如無經過長時間的研究與累 積 難以導入量產 目前 可以用於量產的公司只有夏普一家 但是 據聞 Samsung 正在進行研發 四四 EGIS 將將 CF 以以及及 TFT 的的設設備備納納入入目目標標 EGIS 曝光機因為可以大幅度幫助降低營運成本 即使是在CF 方面的運 用 採用活動也十分活躍 組合成電視套裝狀態在經LCD 廠商測試後 結 果顯示良好 因此 共同研發的日本精工也期待可以儘快被採用 EGIS 因 為裝載了高精度的影像檢出技術 可以瞬間檢查出Pattern 偏移以及基板熱 變形等問題 並可立即進行補正並同時曝光 不同於利用對準圖形進行對位的既 有設備 因為可以同時讀取被瞄畫的Pattern 並進行曝光的關係 因此 被認 為是最適合用來讀取黑色矩陣 BM 並曝光 RGB 的方法 這個相同的手法 也被認為是用來在TFT 上形成 CF 的 Color Filter on Array COA 的最佳曝 光法 因為 COA 在貼合的玻璃上可以使用鈉鈣玻璃 可以有效大幅度降低成本 V Technology 在 TFT 使用方面 目前針對8G 以上提案了結合微透鏡陣列結 構的試作設備 據說10G 的光罩一枚價格就超過2 億日圓 因此 即使是試 作的光罩也是一項重大的負擔 基於8G 玻璃也是同樣道理的判斷 將之定 義為量產設備前的銜接階段 於2010 年 3 月之前交貨 並針對其他LCD 廠商推廣營業活動 此文档收集于网络 如有侵权 请联系网站删除 精品文档 五五 主主要要廠廠商商 戰戰略略 一 NIKON 此文档收集于网络 如有侵权 请联系网站删除 精品文档 1 投入 10G 對應機種 連結下一代研發 Nikon 在 4 月舉辦的 FINTEC JAPAN 展示會中所介紹的第10 代 10G 對應曝光機 FX 101S 已經交貨給客 戶並開始運作 延襲以前的 概念 在光學部分採用多鏡頭掃描方式 在第8 代 8G 對應機種方面 使 用了 11 個解析度 3 m 的大口徑鏡頭 在10G 對應機種中 更增加了連接數 量 以因應大尺寸面板的需求 並且還改良了裝置平台 在擴大基板尺寸的 同時 抑制了大型化後的設備尺寸 至於光罩 依照慣例採用了4 光罩掃描 方式 曝光全部基板的尺寸 這樣的設計下 該公司表示 每一張基板可以生 產 4 張 70 吋面板 足以滿足當前市場的需求 液晶曝光裝置事業部部長 川端邦雄先生 並成功同時 啟動 多台設備 10G 對應設備的研發目前已經暫 告一個段落 今後 除了推進 下一代之 第 11 代 11G 的研發活動之外 同時還會更 進一步改善 10G 對應機種的產品生產時間 關於11G 的部分 該公司更表示 因為使用的是10G 時所建立的技術 只要客戶一下單 隨時可以馬上開始進 行 川端先生 此外 與大型設備同時平行推動既有設備的開發 在第 7 代 7G 8G 的對應設備中 發表了最新的 FX 75S 85S 機種 相較 舊 機款 分別改善了產品生產時間約10 15 左右 投入這款機種後 可因應電 視面板的需求 更進一步提升 市佔率 關於平時固定且持續的開發主題 主要著重於4 光罩方式以及高解析度 等性能提升 的議題上 因為多鏡頭掃描方式可以取得良好輪廓外形的結像 被 視為適合使用在4 光罩方式以及高解析度上 最近 更實施提高開口率以降低 面板的消費電力和安裝120 240Hz 驅動等裝置改良 希望能一體兩面地對提高 生產 力有所貢獻 關於第 4 代 4G 以下的中小尺寸LCD 曝光機部 分 除了 較既有產品 改善其 生產時間的 FX 803M 之外 目前正在推廣可以因應解析度1 5 m 此文档收集于网络 如有侵权 请联系网站删除 精品文档 需求的 FX 903N 在中小尺寸方面 每年越來越嚴格的高解析度以及對準精 度大受各界好評 每年持續維持10 台以上的出貨 在中小尺寸的LCD 方面 主要運用於手機 隨著超過VGA 等級的高精密面板出貨比率越來越高 設備 也被要求必須更精密 FX 903N 的使用比例也越來越高 2 設備市場將以 8G 為中心重新復活 在 LCD 市場急速復甦的同時 設備投資計畫重新啟動 設備交易又嗅到春 天的氣息 雖然沒有出現新投資案件 暫停的計畫似乎出現慢慢復甦的跡象 特 別是在電視方面 以8G 為主需求活躍 交貨據說會集中於2010 年上半期 Nikon 期初時 曾預測能接到18 台 7G 以上 1 台第 5 代 第 6 代 5G 6G 17 台 4G 以下的訂單 並期待今後訂單數量能夠繼續增加 2010 年的接單狀況 將與大尺寸面板的投資何時開始息息相關 2010 年底 的促銷戰則被視為今後能否佔據FPD 市場的 考驗 Nikon 也持續關注 二 CANON 1 MP Asp H700 的規格 1 光學鏡頭 等倍反應投影光學鏡頭 2 使用基板尺寸 2200 x2500mm 最大 3 使用光罩尺寸 850 1200 850 1400mm 4 解析度 3 0 mL S 5 焦點深度 20 m 6 對準精度 3 0 8 m 2 來自韓國與中國的交易復甦 Canon 聚焦於鏡面投影方式的LCD 曝光設備 受到去年金融海嘯影響 預估 2010 年的 LCD 設備投資大幅度縮減 雖然2008 年的銷售台數仍有64 台 2010 年預估將只剩下41 台 2010 年部分 受到中國政府實施促進消費的 此文档收集于网络 如有侵权 请联系网站删除 精品文档 家電下鄉 制度的影響 LCD TV 的需求急速回溫 投資案件重新開始復甦 特別是來自韓國的第8 代 8G 以及來自中國的第6 代 6G 的交易活動 活躍 公司表示 銷售台數預估可達到今年的1 5 倍左右 事業部長 磯端純二先生 3 11G 對應機種採用了專用的大型化對策 Canon 目前聚焦於三方面 1 下一代第 11 代 11G 因應機種的開發 2 8G 對應機種的性能提升 3 中國廠商建設電視生產線的因應活動 在第 1 項中 在光學部分以及平台技術方面 繼續沿用以前的技術 在製程 腔部分 以朝盡量減少人工作業的方向推動研發 因為作業員在腔室內作業除了 會產生塵埃 以外 因為高度高達6 7 公尺 也必須考慮安全上的問題 因此 將以前手動操作的光學部分調整作業 更改為直接操作設備外部的控制盤 另外 為了可以順利開始 啟動 以及假設必須在客戶公司 現場 有效率地完成組裝 也重新檢討了零配件的結構 11G 對應設備的交貨預定於2011 年的下半期 在第 2 項中 為了降低TFT LCD 的消費電力 提升面板透過率的活動 越來越為活躍 此外 為了確保曝光設備的開口率 改善解析度以及套準精度的 需求也越來越強烈 另一方面 透過安裝 Smart Platform 結構 目標將原 本 60 天的安裝時間縮短到45 天 在顯影製程的設備安裝部分 以前必須將實 際曝光與顯像後所取得的資料輸入到設備中 目前將該作業自動化後並刪除 以大幅度縮減時間 為目標 進行開發 在交貨方面 更盡力縮短前置時間等 以 迅速因應客戶的需求 關於第 3 項中的中國市場 Canon 從很久以前就持續用心經營 目前 已經取得壓倒性的市佔率 並已經建立 四處服務據點推廣業務 中國以第 5 代 5G 的生產線為主流 用於筆電以及顯示器的生產 今後預計將會興建電 視使用的大尺寸生產線 首先 先啟動 6G 生產線 之後目標興建8G 生產 此文档收集于网络 如有侵权 请联系网站删除 精品文档 線 在曝光設備部分 到5G 為止的機種都在自家工廠完成組裝 直接交貨成 品 但是 因為6G 以上都分解為組件運送 並且直接在客戶公司組裝的緣故 必須加強技術的基礎配套設施 此外 因為中國幅員遼闊 支援範圍廣大 必須 增加服務的據點 公司表示 中國的半導體產業因為尚未完全紮根 LCD 在強烈的電視 需求下 未來令人充滿期待 預計未來應該還會祭出更深入的強化策略 六 2010 年第三季國際TFT LCD 設備廠動態整理 表 1 1 2010 年第二季國際 TFT LCD 設備廠動態整理 廠廠商商名名稱稱說說明明 Helios Techno 收收購購配配向向膜膜塗塗佈佈裝裝置置大大廠廠 Nakan 強強化化 LCD 相相關關事事業業 Helios Techno Holdings 強化 LCD 相關事業 收購液晶面板製造裝置廠 Nakan 將以 Nakan 的配向膜塗佈 裝置為主軸 挾曝光裝置 檢查裝置等廣泛產品群的優勢擴大販售 目 標 5 年後銷售額達 300 億日圓 目前 2 倍 Nakan 為日本配向膜塗佈 裝置龍頭大廠 市占率 85 09 年 3 月申請適用民事再生法 被 Helios Techno 買下以 Nakan Techno 繼續營業 三三星星 Diamond 工工業業 入入股股武武井井電電機機工工業業 強強化化 PV 事事業業 於液晶玻璃分斷裝置擁有全球近 80 市占率的三星 Diamond 工業 三星 工業 取得 PV 製造裝置廠商武井電機工業 51 股份 將融合不同的 P V patterning 技術擴大 PV 事業 計畫 2011 年度 PV 事 業銷售額提高至 30 億日圓 武井電機工業為成立 66 年的電機機械廠 商 以雷射加工技術為核心 擅長於薄膜矽 PV 的透明電極 發電層 背面電極的雷射 patterning 裝置 Oiles 工工業業 開開發發非非接接觸觸型型 FPD 搬搬運運裝裝置置 Oiles 工業 工業 進軍 FPD 搬運裝置事業 開發利用空 氣 使玻璃浮起搬運的非接觸型裝置 Oiles Air Rail 年內將售予海 外家電廠商等 目標 2012 年度銷售額 10 億日圓 一般而言 非接觸 型搬運裝置大多是利用空氣浮力與吸力的均衡 使用真空幫浦達成真空 狀態 但 Oiles Air Rail 相較於其他公司產品 可簡化配管構造 軌 道部分採用鋁材等降低成本 價格約 10 萬日圓 公尺 目前 非接觸 型搬運裝置現正導入至面板廠的 FPD 產線中 該公司非接觸型搬運裝 置市場規模推估約 30 40 億日圓 未來將強化韓國 台灣等海外銷售 YAC 目目標標 11 年年度度結結晶晶型型 PV 製製造造裝裝置置銷銷售售額額為為 09 年年度度 10 倍倍 YAC 目標 11 年度結晶型 PV 製造裝置事業營業 此文档收集于网络 如有侵权 请联系网站删除 精品文档 額提高為 09 年度 10 倍 達 100 150 億日圓 將以亞洲為中心銷售 並強化海外據點 致力於出口事業 該公司 5 月收購 SES PV 部門 進軍 PV 製造裝置事業 以 PV cell 主要製程一貫供應達差別化 其中 CVD 裝置開發為主要關鍵 將用於 7 大製程的製程 4 10 年度下半年 前將開發具高度價格競爭力的裝置 以半導體相關技術為基礎 開發製 程 2 所用的擴散爐 製程 1 的矽晶圓表面 texturing 裝置與去除氧化膜 的裝置則可延用 SES 產品 4 個製程以 one stop 即可完成 價格預估 20 30 億日圓 島島津津製製作作 所所 OEM 供供應應德德國國 PV 成成膜膜裝裝置置 目目標標年年供供應應 10 台台 島津製作所開始 OEM 供應 PV 成膜裝置給德國 PV 製造裝置廠商 Schmid 此為該公司首次 OEM 供應該裝置 將可助於海外營收擴大 每台供應價 1 億 5 千萬日圓 目前已供應 4 台 6 億日圓 目標年供 應 10 台 15 億日圓 其 PV 成膜裝置 08 年度銷售額較去年度成長 80 約 52 億日圓 稱霸日本國內市場 全球也約有 20 市占率 08 年度以中國 台灣為中心 海外銷售比重約提高至80 另一方面 09 年度銷售額方面 雖然日本國內活躍 但受景氣惡化等影響 預料海 外需求將下滑 預估海外銷售比重將降至 50 左右 Ulvac 薄薄膜膜型型 PV 用用複複合合型型評評估估裝裝置置開開始始接接單單 Ulvac 薄膜型 PV 用複合評估裝置 MPEC 1300 開始接單 可選 擇 6 種不同主題檢測堆疊型 PV 成膜特性 售價 1 億 5 千萬日圓 較 購入單一機能評估裝置便宜一半 預估 09 年度售出 10 台 過去堆疊 型 PV 評估只能透過於每個製程使用多種評估裝置來測定 導致初期投 資費用龐大 製造成本也增加 新裝置對應 5 5 代 1100 1400mm 基板 評估項目包括矽膜厚度 表面形狀 阻抗測定及光學特性等 可 將微晶 microcrystal 的結晶度以分布圖呈現 或以立體測定機能評估 雷射切斷透明電極後的形狀等 使用該裝置能減少一半的裝置購買金額 及營運費用 資料來源 金屬中心產業研究組 2010 09 此文档收集于网络 如有侵权 请联系网站删除 精品文档 貳貳 我我國國 TFT LCD 設設備備產產業業現現況況 一 2010 年 1 8 月總營收統計 單位 新台幣百萬元 均均豪豪東東捷捷盟盟立立高高僑僑萬萬潤潤日日揚揚志志聖聖 08 1 8 月 2 9292 7723 0358186739461 519 09 1 8 月 1 3265041 943623295510772 成長率 55 82 36 24 56 46 49 資料來源 該 公司財報 金屬中心產業研究組 2010 09 單位 新台幣百萬元 亞亞智智由由田田揚揚博博帆帆宣宣陽陽程程廣廣運運 08 1 8 月 1 6551 1771 1666 8079113 619 09 1 8 月 4116445132 5479295 145 成長率 75 45 56 63 2 42 資料來源 公司財報 金屬中心產業研究組 2010 09 三三 TFT LCD 設設備備廠廠 商商動動態態 表 2 2010 年第三季我國 TFT LCD 設備廠動態整理 廠廠商商名名稱稱動動 態態 盟盟立立 盟立自動化與聚積科技簽約結盟 雙方攜手搶進中國大陸發光二極體 LED 顯示器控制板市場 盟立過去以生產工業控制器產品為主 未來 透過與 LED 驅動 IC 廠聚積合作 將為聚積代工生產 LED 顯示器控制 板產品 明年可望有新台幣 1 5 億元業績貢獻 後年將進一步貢獻 2 3 億元業績 透過在中國大陸佈建的 10 幾個銷售點及 4 個分公司 拓展中國大陸 LED 顯示器控制板市場 受惠於大陸汽車廠用機器人 以及獲和鑫及達虹觸控面板機台訂單 加 上群創六代廠設備陸續交貨 今年業績可望維持去年七成水準 積極開發 LED 藍寶石晶片雷射劃線機 新產品 薄膜太陽能電池雷 射劃線機 及封裝測測產品 已有近十台的實績 近日還接到遠自敘利 亞來的訂單 均均豪豪 受惠於面板產業投資回溫 太陽能及半導體設備需求復甦 部分面板 CELL 段設備和太陽能自動化設備在 7 月 8 月陸續出貨 成功開發風力發電機 上半年已小量出貨 發電瓦數約在200 瓦至 此文档收集于网络 如有侵权 请联系网站删除 精品文档 5 000 瓦間 此外 也推出雷射美容 數位 X 光機 超音波設備等醫療 儀器 今年新設 L