自控30803班49号武腾翔开题报告.doc

河北化工医药职业技术学院毕业论文（设计）选题报告河北化工医药职业技术学院毕业论文（设计）选题报告论文（设计）题目 PLC在糖衣包衣清洗机中的应用 姓 名 武腾翔 学 号 49 专业班级 生产过程自动化 30803 指导教师 姚瑞英 梁晓明 2010年 11月17日PLC在糖衣包衣清洗机中的应用 的开题报告伴随着硅片的大直径化,器件结构的超微小化、高集成化,对硅片的洁净程度、表面的化学态、微粗糙度等表面状态的要求越来越高，主流工艺已经在从90nm向65nm过渡。高集成化的器件要求硅片清洗必须减少给硅片表面带来的破坏和损伤,减少溶液本身或工艺过程中带来的玷污。而糖衣包衣清洗设备也正向着小型化、非盒式化及一次完成化方向发展,以减少工艺过程中的玷污,满足90nm乃至65nm级器件工艺的要求。这无论对清洗工艺还是对清洗设备都是一个极大的挑战,传统的清洗方法已不能满足要求。论文设计了基于PLC在糖衣包衣硅片清洗机的结构和工艺流程，对PLC在糖衣包衣硅片清洗机控制上的应用可行性进行了探讨，对PLC控制糖衣包衣硅片清洗机梯形图及程序进行了分析，对糖衣包衣硅片清洗机采用PLC控制的优越性进行了总结。设备产品质量高，控制系统可靠性高，自动化水平高。随着PLC技术的不断发展，PLC在糖衣包衣硅片清洗机的控制上将有更广阔的应用前景。清洗设备有如下的特点：1、可靠性高，由于采取了一系列的PLC高可靠性的措施，PLC的平均无故障时间（MTBF）一般可达35万小时。而且PLC的环境适应性也很强，它能在工业环境下可靠地工作；2、编程简单，PLC最常用的编程语言是梯形图语言。这种编程语言形象直观，容易掌握，不需要专门的计算机知识，便于广大现场工程技术人员掌握。当工作流程需要改变时，可以现场改变程序，使用方便、灵活；3、体积小、结构紧凑、安装、维修方便。PLC的体积小，重量轻，便于安装。一般PLC都具有自诊断、故障报警、故障种类显示等功能，便于操作和维修人员检查，可以较容易通过更换模块插件来迅速排除故障。PLC的结构紧凑，它与被控对象的硬件连接方式简单、接线少，便于维护。糖衣包衣硅片清洗机由槽体、移栽机械手、抽风装置、人机界面和电控柜等五部分组成，其控制部分主要由三菱FX2N系列PLC控制，操作员通过10.4英寸彩色触摸屏控制生产。手动将装有硅片的提篮放入上料位，移载机械手抓取提篮，按设定程序将提篮转移到各工艺槽进行腐蚀或清洗，相关工艺槽具有加热、超声、喷淋、排液、温度检测、液位检测等功能，完成处理过程后，机械手将提篮转移至下料位，手动取出提篮。近年来又有许多新型PLC产品控制的糖衣包衣硅片清洗机设备推出，如PCC、软PLC控制方式的糖衣包衣硅片清洗机设备。以计算机为平台的Soft PLC（即软PLC）可以说是这方面的优秀代表，Soft PLC基于工业计算机的柔性可编程逻辑控制技术，充分利用计算机的高速、大容量、丰富功能及各种软件资源。Soft PLC是开放的可编程控制器，在实时控制、网络控制和分布控制领域可获得广泛的应用。Soft PLC是实时多任务操作系统，能提供强大功能的指令、更加快速的扫描与指令执行速度和安全的操作。开放式的结构容易连接各种I/O模块、PID模块运动控制模块和装置、网络。它采用独特的TOPDOC软件进行编程调试，编程语言为梯形图 C/C+和JAVA等高级语言。可以预见，随着PLC技术的不断发展，PLC技术将在糖衣包衣硅片清洗机设备上将有更加广泛的应用。 计划表时间计划完成任务11月2日11月11日毕业论文的选题报告11月12日11月25日毕业论文的中期报告12月15日12月18日完成毕业论文12月21日12月24日毕业答辩参考文献1 熊葵容.电器逻辑控制技术M.北京:科学出版社,2003.2 王兆义.可编程控制器教程M.北京:机械工业出版社,2004. 3 齐从谦,王士兰.PLC技术及应用M.北京:机械工业出版社,2004.4 朱绍祥，王宏生等.可编程控制器（PC）原理与应用M.上海:上海交通大学出版社,2007.5 郁汉琪.电气控制与可编程序控制器应用技术M.南京:东南大学出版社,2003.6 邓则名等电器与可编程控制器应用技术北京：机械工业出版社，20087 杨长能等电器与可编程控制器基础及应用重庆：重庆大学出版社，20058 廖常初PLC基础及应用北京：机械工业出版社，20039 廖常初可编程序控制器的编