rena机常见的报警以及处理方法作业指导书.doc

QES文件编号：文件名称RENA机常见的报警信息以及处理方法的作业指导书校订版别： 页次/总页次：6/51.目的： 控制不合格品的标识，记录，评价，隔离和处置，防止不合格品被误取误用，确保公司产品质量；同时规范各个相关部门及人员的职责，以免出现控制盲点。2.范围： 适用于本公司所有被判定为不合格之原材料零件，半成品及成品。3.定义： 不合格品： 指没有达到公司质量规格要求的原料，半成品及成品。4.作业流程说明：流程责任单位参考文件窗体不合格品记录各权责单位1. 来料检验控制程序2. 巡检管理程序3. 成品与出货检查控制程序 各记录表识别.隔离各权责单位产品标识与可追溯性控制程序“红色”不合格票通 知品管课相关单位1.来料检查控制程序2.巡检管理程序3.出货检查控制程序 各检验记录表检 讨各权责单位1. 检验基准2. 不合格品控制程序各检验记录表处 置各权责单位1. 质量管理体系改进控制程序检 验品管课1.来料检查控制程序2. 巡检管理程序3.出货检查控制程序各检验记录表6.作业说明:6.1不合格品记录:所有零件、半成品、成品有不符合规定,规格要求,均须记录不良原因,并应立即采取下列步骤.6.2识别,隔离:厂区各部门得规划不合格品区域. 6.2.1零件:修订日期版本 修订说明 2015-07-08A新版制定修订部门编 制 审 核 批 准 设备部1.目的掌握RENA机常见的报警信息以及处理的方法2.范围 RENA设备 3.定义无4.职责4.1所有操作人员都必须严格按照本文件进行操作；4.2操作过程由设备人员完成；5.作业内容5.1上料槽常见报警内容以及处理方法；5.1.1通道1-8输入晶片堵塞（Input Waferjam Trace 18） 1)发生此报警后，先将上料机停掉，检查RENA机此通道有无硅片堵塞或叠片现象，若无可消除报警；若有立即通知设备人员处理，处理完成后消除报警，打开上料机；2）此通道无硅片堵塞或叠片，但是报警无法消除，应通知设备人员，检查上料槽此通道相对应的对射感应器；5.2制绒槽/刻蚀槽常见报警内容以及处理方法； 5.2.1氢氟酸_硝酸槽泵缸严重错误(Replenish Stopped (Pumptank full) 1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理； 2）此报警是因为泵缸内的药液液位已经达到第四个液位感应器了所致，与工艺人员确认适当排掉些药液即可消除报警；如果液位没有达到第四个液位感应器而报此警，需检查第四个液位感应器的灵敏度以及确认此感应器是否损坏。5.2.2氢氟酸_硝酸槽泵缸超出最高温度(Maximum temperature exceeded)1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理；2）此报警是因为泵缸内的温度高于工艺配方内设定的温度，此报警一般发生在工艺更换药液的时候，冰水机还在继续降温，降到设定的温度报警即可消除，若报警发生在正常生产过程中，设备人员需要检查泵缸的温度传感器是否损坏。5.2.3氢氟酸_硝酸槽传感器组合错误(Sensor combination)1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理；2）此报警是因为泵缸内的真实液位与液位传感器感应到的液位不一致，调整液位传感器的灵敏度与真实液位一致，即可消除报警。5.2.4氢氟酸_硝酸槽循环的控制低于最小流量(Fell below minimum flow)1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理；2）此报警是因为槽内循环的流量低于工艺配方内设定的流量，此报警一般发生在工艺将药液从储液罐打上槽内，等待循环的流量达到工艺配方设定的流量报警即可消除，若报警发生在正常生产过程中，设备人员需要检查制绒槽是否有漏液，少液的现象导致流量小，如果没有漏液少液，则需检查流量计是否损坏。5.2.5 冷却系统测量传导率达到了最大的电导值(Maximum conductance reched)1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理；2）此报警是因为电导率的电导值超过了配方内设定的最大值3000，将冰水机里的水重新换掉，再添加16L乙二醇，若电导值降下来则报警消除，若电导值无变化，则需检查测量电导率的感应器是否损坏。5.2.6氢氟酸供给1剂量瓶填充时间已过(Timeout filling)1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理；2）此报警是因为氢氟酸供给的剂量瓶在设定时间内没有达到指定的液位（刚好达到第二个液位传感器），查看剂量瓶的液位管，如果液位低于第二个液位传感器位置，则需通知工艺，工艺要通知设施部人员，集中供液的氢氟酸消耗完了需更换。5.2.7硝酸供给剂量瓶填充时间已过(Timeout filling)1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理；2）此报警是因为硝酸供给的剂量瓶在设定时间内没有达到指定的液位（刚好达到第二个液位传感器），查看剂量瓶的液位管，如果液位低于第二个液位传感器位置，则需通知工艺，工艺要通知设施部人员，集中供液的硝酸消耗完了需更换。5.2.8氢氟酸_硝酸槽容量计数器硝酸最小流量尚未到达(Fell below minimum flow) 1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理；2）此报警通常发生在工艺换液时，添加硝酸的过程中，硝酸的流量低于设定的流量，造成此报警的原因有：1，有多台设备同时在添加硝酸，导致硝酸流量小，若是此原因，可将别的机台添加硝酸的动作取消，逐台添加即可；2，硝酸的添加的流量计脏污或损坏导致计数误差，若是此原因，设备人员需要对流量计进行拆下清洗，若损坏则更换。5.2.9氢氟酸_硝酸槽容量计数器氢氟酸最小流量尚未到达(Fell below minimum flow)1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理；2）此报警通常发生在工艺换液时，添加氢氟酸的过程中，氢氟酸的流量低于设定的流量，造成此报警的原因有：1，有多台设备同时在添加氢氟酸，导致氢氟酸流量小，若是此原因，可将别的机台添加氢氟酸的动作取消，逐台添加即可；2，氢氟酸的添加的流量计脏污或损坏导致计数误差，若是此原因，设备人员需要对流量计进行拆下清洗，若损坏则更换。5.2.10氢氟酸供给1剂量瓶排放装置的阀门闭塞了(Drain valve block)1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理； 2）此报警是因为自动添加氢氟酸的气动阀损坏无法自动添加，或是此气动阀的隔膜片有堵塞现象造成无法自动添加，发生报警后第一时间停机将该气动阀进行更换，更换后重新校验此气动阀的自动添加流量。5.2.11硝酸供给剂量瓶排放装置的阀门闭塞了(Drain valve block)1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理； 2）此报警是因为自动添加硝酸的气动阀损坏无法自动添加，或是此气动阀的隔膜片有堵塞现象造成无法自动添加，发生报警后第一时间停机将该气动阀进行更换，更换后重新校验此气动阀的自动添加流量。5.3水槽1，水槽2，水槽3，常见的报警内容以及处理方法；5.3.1 泵的干燥保护(Pump protection against dry running)1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理；2）发生此报警的原因有：1，槽内漏液，少液，循环打不起来。若是此原因，则要查出少液的原因， 漏液的话要找出漏点进行处理，处理完成后，通知工艺人员补水，报警可消除；2，滤芯堵塞，导致流量偏小，循环打不起来，若是此原因，则需排掉槽内水，对滤芯进行更换；3，循环泵损坏，若是此原因，则需对循环泵进行更换。5.3.2 水的最小流量尚未到达(Fell below minimum flow)1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理；2）此报警通常发生在工艺换液时，添加水的过程中，水的流量低于设定的流量，造成此报警的原因有：1，有多台设备同时在添加水，导致水流量小，若是此原因，可将别的机台添加水的动作取消，逐台添加即可；2，水的添加的流量计脏污或损坏导致计数误差，若是此原因，设备人员需要对流量计进行拆下清洗，若损坏则更换。5.4碱槽常见的报警内容以及处理方法；5.4.1碱性溶液供给1剂量瓶排放装置的阀门闭塞了(Drain valve block)1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理； 2）此报警是因为自动添加碱液的气动阀损坏无法自动添加，或是此气动阀的隔膜片有堵塞现象造成无法自动添加，发生报警后第一时间停机将该气动阀进行更换，更换后重新校验此气动阀的自动添加流量。5.4.2泵的干燥保护(Pump protection against dry running)1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理；2）发生此报警的原因有：1，槽内漏液，少液，循环打不起来。若是此原因，则要查出少液的原因， 漏液的话要找出漏点进行处理，处理完成后，通知工艺人员补液，报警可消除；2，滤芯堵塞，导致流量偏小，循环打不起来，若是此原因，则需排掉槽内药液，对滤芯进行更换；3，循环泵损坏，若是此原因，则需对循环泵进行更换。5.4.3碱性溶液供给1剂量瓶填充时间已过(Timeout filling)1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理；2）此报警是因为碱液供给的剂量瓶在设定时间内没有达到指定的液位（刚好达到第二个液位传感器），查看剂量瓶的液位管，如果液位低于第二个液位传感器位置，则需通知工艺，工艺要通知设施部人员，集中供液的碱液消耗完了需更换。5.4.4传感器组合错误(Sensor combination)1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理；2）此报警是因为槽内的真实液位与液位传感器感应到的液位不一致，调整液位传感器的灵敏度与真实液位一致，即可消除报警。5.5氢氟酸槽常见的报警内容以及处理方法；5.5.1氢氟酸供给2剂量瓶排放装置的阀门闭塞了(Drain valve block)1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理； 2）此报警是因为自动添加氢氟酸的气动阀损坏无法自动添加，或是此气动阀的隔膜片有堵塞现象造成无法自动添加，发生报警后第一时间停机将该气动阀进行更换，更换后重新校验此气动阀的自动添加流量。5.5.2氢氟酸供给2剂量瓶填充时间已过(Timeout filling)1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理；2）此报警是因为氢氟酸供给的剂量瓶在设定时间内没有达到指定的液位（刚好达到第二个液位传感器），查看剂量瓶的液位管，如果液位低于第二个液位传感器位置，则需通知工艺，工艺要通知设施部人员，集中供液的氢氟酸消耗完了需更换。5.5.3传感器组合错误(Sensor combination)1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理；2）此报警是因为槽内的真实液位与液位传感器感应到的液位不一致，调整液位传感器的灵敏度与真实液位一致，即可消除报警。5.5.4泵的干燥保护(Pump protection against dry running)1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理；2）发生此报警的原因有：1，槽内漏液，少液，循环打不起来。若是此原因，则要查出少液的原因， 漏液的话要找出漏点进行处理，处理完成后，通知工艺人员补液，报警可消除；2，滤芯堵塞，导致流量偏小，循环打不起来，若是此原因，则需排掉槽内药液，对滤芯进行更换；3，循环泵损坏，若是此原因，则需对循环泵进行更换。 5.6烘干槽常见的报警内容以及处理方法； 5.6.1机器错误(Error side channel compressor 14)1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理；2）发生此报警后，设备会异常停机，滚轮都停止了，要先将设备打到维修模式，手动打开各个风刀，手动打开滚轮的传动，先将机器内的片子走出来。待