无尘室之维护管理.doc

三.無塵室之維護管理3-1無塵室之管理3-1-1一般注意事項(1)普通注意事項為保持無塵室的清潔度，必須經常維持正常的氣流狀態。因此，負責無塵室操作之專門人員必須經常檢查並防止會擾亂氣流之一切備品、物品等被帶進無塵室內。但作業上必需物品或設備盡量維持最少限度，並盡量配置在不會擾亂氣流之位置為原則。(2)傢俱等設備之材料無塵室內使用之設備材料，儘量使用不會產生塵粒之不銹鋼或有適當之表面處理；或用耐磨性佳之鋼品、鋁製品及優良塑膠製品等。(3)構造上述設備等之構造，盡量採用構造簡單且與其他物品接觸或磨擦時不會產生磨耗粉質，在各角部份要圓滑，避免有突出之角。(4)傢俱等設備之維修必須在無塵室內用之傢俱等設備必須保持乾淨，有必要補修時立即修理，經常保持良好狀態，修理困難者立即廢棄不用而換新。3-1-2桌子不得不用木製者，表面須施EPOXY樹脂加工以防止發塵。要用簡單間的桌子不能有抽屜、腳板，及側面板等。桌腳下端應套上橡膠或塑膠套。3-1-3椅子盡量採用沒有背及腳踏板之椅子，椅腳之高度以坐下來腳適當地接觸到地板之原則，萬一非用高椅子不可時要準備腳踏台。椅腳下端應裝有塑膠製之小輪子或應套上橡膠套。為避免產生塵粒盡量不使用椅墊(CUSHION)為原則，萬一不得不用椅墊時要用發塵性少之材料完全封蓋，因為椅墊容易損傷而在損傷之狀態下使用易產生塵粒，故須特別注意。3-1-4搬運箱有關原料、半製品或產品之搬運箱及作業上須要之工具箱均須用特製之專用箱，須附蓋下面裝有橡膠或塑膠者。容易清潔之構造，並須定期檢查及清潔。3-1-5搬運車構造簡單為原則，不要使用可摺疊式。放置物品之表面材料特別採用耐磨性高者。車輪之軸承必須用充填黃油密封式滾珠軸承，並用耐磨性高之橡膠輪胎。重量輕並容易清潔之構造。須做定期檢查，維修及清潔。3-1-6筆記用品(1)紙類要用特別加工，發塵量少(或全無)之紙類。如需要帶進以一般紙類印刷之文件時需要放在透明之塑膠袋中。或有防塵處理之紙類印刷者。鉛筆、橡皮擦、自來水筆、蠟筆、普通紙類均不能帶進無塵室內。筆記時要用塑膠做的原子筆，無塵紙或塑膠紙類。(2)告示板、黑板類普通黑板及粉筆當然不能使用，必要時在準清淨室內(低一級之清淨室)用白板，FELTPEN，清淨室專用之擦布。告知板要用自立式，並附有輪子可移動式者，並放置在準清淨室內。告示板之構造為不易聚積灰塵或其他污染物並容易清潔者。告示用之紙當然用如3-1-6項規定之專用紙並告知愈少愈佳。3-1-7垃圾箱垃圾箱不能放置在此清淨度CLASS 100 清潔之無塵室內。3-1-8無塵衣管理 入清淨室前，必需依等級不同穿著適當的無塵衣(表3-1)，且在長時間使用後， 發塵量會增加。因此，必需定期換洗。3-1 清淨室之穿著標準100級連身式(coverall)無塵衣，頭肩罩(hood)、口罩、手套、長鞋套(Boots)1000級分離式(Separate)或大衣式(Coat或Frock)無塵衣，帽子或(頭)髮罩、口罩、手套、(短)鞋套或布鞋。 註(1)：全罩式(Overall) = 連身式 (Coverall) +頭肩罩+長鞋套。 (2)：亦有頭連身式無塵衣 = 連身式+頭肩罩。因頭髮易 生油垢，以不含頭肩罩之連身式為宜，以便局部更換。3-1-9 人員教育管理 影響清淨度的一大原因是人。一般而言私人用品均應禁止，同時跑、 跳、拖走、括指甲、梳頭髮、擦桌子、打噴嚏、打哈欠、咳嗽、打電腦、印報 表、影印等應完全禁止。而且需依清淨度等級，穿著適當的清淨室專用衣。 並對進出路線、生產作業時之動作，防災演習及日常的清潔保養等，均應嚴 格執行。表3-2是典形的清淨室進出管理流程。表3-2無塵室進出流程圖 (FLOW MODEL)腳踏粘板屋 外換鞋一次更衣辦公室等管理區域鞋櫥鞋一般衣服室脫衣穿衣一般衣櫥洗手間換穿無塵衣區 域赤腳或穿拖鞋無塵衣用專櫃(衣櫥)穿衣台、洗衣籃穿衣脫衣鞋一般衣櫥洗手烘乾機準清淨區域腳踏粘板空氣洗塵室等清淨區域無 塵 室準 備 室 3-2無塵室內監視(MONITORING IN CLEAN ROOM)3-2-1氣流(1)無塵室內之氣流形式(AIR FLOW PATTERN) 是否符合設計之要求，須做氣流測試確認。(2)氣流測試最好採用污染無塵室之可能性較少之塔夫特(TUFT METHOD)法。(3)氣流測試原則上由專業人員施行之。(4)氣流測試應在專業人員決定之作業區域及容易產生亂流之位置施行，每年最少做1次並記錄結果。(5)專業人員應將測試記錄結果與設計值做比較，檢討並判斷現狀是否符合設計條件。3-2-2風速(1)在無塵室內測試風速之目的是要確定空氣流形式(AIR FLOW PATTERN)是否符合規定。(2)風速測試用之儀器應採用攜帶用熱式風速計或其它。(3)原則上風速之測試應由該無塵室之專業人員施行。(4)風速測試除了測試各HEPA FILTER之代表點之外，應在專業人員決定之位置及高度施行，而每個月1次以上之頻度行之並做記錄。(5)專業人員須將測試記錄結果與設計值做比較，並檢討現狀是否符合設計要求。3-2-3風量(1)無塵室內送風量是否符合設計要求，由風速測試結果計算之。(2)為算出風量之風速測試結果根據3-2-2 (2)之規定。(3)為算出風量之風速測試原則上由該無塵室之專業人員行之。(4)為算出風量之風速測試最好在送風管裏面行之，但也可以在各HEPA FILTER 之代表點測試。測試方法、測試頻度，由該專業人員決定並做記錄。(5)該專業人員應由風速測試記錄算出之風量與設計值做比較並檢討現狀是否符 合設計要求。3-2-4空氣壓(1)測試無塵室之空氣壓其目的為高清淨度無塵室與次清淨度無塵室之間有無保 持規定之差壓，高清淨度室空氣壓應比次清淨度室略高，以免污染之空氣侵入高清淨度室內。(2)空氣壓之測試儀器須能夠測試到該無塵室內外之差壓至0.98Pa (0.1mmAq) 之差壓計或可代替之測試儀器為準。(3)測試空氣壓原則上由該無塵室之專業人員行之。(4)測試空氣壓應該於該無塵室在正常運轉狀態下而在作業開始前及作業終了後 施行並做記錄，但必要時要隨時測試並記錄。(5)該無塵室之專業人員須將測試記錄結果與設計值比較，並檢討現狀是否符合設計條件。3-2-5室溫與相對濕度(1)無塵室內之溫濕度測試之目的為檢查其對製程(PROCESS)之影響與對作業人員之舒適性，並是否與設計條件符合。(2)溫濕度之測定儀器，原則上使用ASSMANN通風式乾濕球溫度計或有相同性能之其他乾濕球溫度計如手搖式(SLING PSYCHROMETER)者。(3)溫濕度之測試應由專業人員施行，並由其人員決定測試之位置與高度。(4)溫濕度之測試應於該無塵室在正常運轉狀態下而在作業開始前及作業終了後 施行並做記錄，但必要時須隨時測試並做記錄。(5)關於無塵室內溫度分佈，須由專業人員根據3-3 (空氣清淨度之測試頻度)之 規定測試與記錄。(6)該無塵室之專業人員須將測試記錄結果與設計值比較並檢討現狀是否符合設 計條件。(7)對溫度變化後敏感之製程，為了感知急激之溫度變化，須裝設自動溫度警報裝置。必要時須在適當之位置裝設警報裝置以便空調系統發生異常情況時可立即發出警報。(8)對濕度特別敏感之製品必須另採取特殊對策。 表3-3空氣清淨度之測試頻度 CLASS 100以下 100以上 測試頻度 每月1次 每3個月1次3-2-6空氣之清淨度(1)無塵室內飄浮在空氣中之微粒子影響製程(PROCESS)甚鉅，故必須按時測試浮游微粒子，濃度以檢查是否符合規定。(2)浮游微粒子濃度之測試儀器應採用光散亂式粒子計數器 或有同等性能之儀器。(3)浮游微粒子濃度測試應由該無塵室之專業人員在規定之位置及高度測試，另者測試對象粒徑也應由該專業人員決定。(4)浮游微粒子濃度測試應遵照FS-209 (無塵室中浮游微粒子測試方法)規定並 依表 3-3之頻度施行並做記錄。 【備註】測試時，其空氣體積總量不管是繼續或斷續，須達到10 3 M 3 ，如可預期粒子個數濃度將超過50010 3個M 3時，在其濃度附近之計數值範圍內可減少測試空氣總體積，但不可低於0.110 3 M 3。(5)該無塵室之專業人員須將測試記錄結果與設計值比較並檢討現狀是否符合條 件。(6)除了定期做浮游微粒子濃度之測試之外，原則上也應一年做一次查漏試驗。另者ULPA、HEPA FILTER更換後或發現空氣清淨度有異常時也應做上述測 試工作。(7)做查漏試驗時應拆除ULPA、HEPA FILTER面上之整流格子(GRILL)後，將 PARTICLE COUNTER (光散亂式粒子計數器)之檢出端(空氣進口嘴管)距離 ULPA HEPA FILTER面吹出口約10 mm下流之位置，由FILTER之一端至另一端以6 cmsec之速度平行移動測試，最少以30 mm之間隔(PITCH)移動 測試做FILTER全面之檢查。3-2-7有害瓦斯、微生物、其他(1)考慮到對作業人員之健度及對製程(PROCESS)之影響，視需要須做有害瓦斯、浮游微生物、放射性元素，必要氧氣濃度等之測試，並檢查其數字是否符合規定。測試對象物質由該無塵室專業人員選定。(2)測試上述對象物質之儀器，參考FS-209等有關規定，並由該無塵室專業人員選定。(3)上述測試之頻度依地方之環境條件、無塵室之運轉條件等而由專業人員決定，並由該人員做測試及記錄。(4)該無塵室之專業人員須將測試記錄、結果與設計值比較並檢討現狀是否符合 條件。3-3無塵室設備之清潔清潔人員之管理與該無塵室內作業人員相同。3-3-1清掃用衣服(1)無塵室作業人員或清掃專業人員要做清掃前須按照3-1-8規定之順序穿用衣鞋。 (a)辦公室等非清淨區域之清掃時一般之外出用衣服或外套、拖鞋或布鞋。(b)有更衣室等次，無塵室之清清時(1)CLASS 100及CLASS 1000之場所。 無塵衣、無塵室專用布鞋、或鞋套及戴帽子。(2) CLASS 1及CLASS 10之場所。 無塵衣、無塵室專用布鞋或鞋套或長統鞋、戴帽子或戴頭罩。(c)無塵室 遵照3-1-8 (無塵室用衣服)之規定。3-3-2無塵室設備之清掃順序(1)無塵室附屬設備之清掃應在作業終了後施行。(2)無塵室內部之清掃應在運轉中施行。(3)清掃工作完成後要等到無塵室之清淨度達到規定後始能停止運轉。3-3-4清潔用工具 無塵室內用之清掃工具為防止再污染，應依各室之清淨度級各使用專用之工具。3-3-5清潔用液體【1】 水(a)普通之自來水含有固體微粒子、有機物、礦物質等故不能用於無塵室之 清潔用。(b)CLASS 1，CLASS 10無塵室之清潔用欲應使用經過孔徑0.2m之薄膜過濾網過濾者。(c) CLASS100，CLASS1000 無塵室之清潔用欲應使用經過孔徑0.8m之薄膜過濾網過濾者。【2】 清潔用水溶液(a) CLASS 1，CLASS 10 無塵室之清潔用水溶液應用10公升容器，以30g(公克)之低殘留性之中性洗劑，配1公升自來水之混合比率靜靜地攪拌後，經過孔徑0.2m之薄膜過濾網過濾者。(b) CLASS 100，CLASS 1000 無塵室之清潔用水溶液如上述(a)項規定混合液，但經過0.8m孔徑之薄膜過濾網過濾者。3-3-6擦拭方式【1】擦拭用用具(a)表3-4例示擦拭用用具之清洗方法。 (b)為防止再污染，擦拭用用具應依各清淨度級(CLASS)區域個別採用專用 之用具。 (c)使用中之擦拭用用具要隨時用目視檢查，污染時把它降格使用，或用在 準清淨室(準備室)等地方，污損很厲害時應廢棄。【2】擦拭工作 (a)擦拭用工具在每次擦拭後應清洗乾淨。 (b) A 1 擦拭方式 擦拭用用具先浸在如3-3-5 (2) (a)所示之清潔用水溶液中，扭乾後始可擦拭。 擦拭後立即用別的擦拭用具浸在3-3-5 (1) (b)之淨水中完全扭乾後始可擦拭 被清潔面，視必要，做重覆工作至完全乾淨為止。 (c) A 1擦拭方式 擦拭用用具先浸在如3-3-5 (2) (a)所示之清潔用水溶液中，扭乾後始可擦拭。 擦拭後立即用別的擦拭用具浸在3-3-5 (1) (c)之淨水中完全扭乾後始可。 3-3-6室內之清掃方法 室內之地面、窗、玻璃、天花板之清掃例子如表3-5,3-6所示。表3-4 擦拭用用具清洗方法一例擦拭用用具清洗頻度無塵室CLASS 1CLASS 10無塵室CLASS100CLASS 1000無塵室專用擦拭用具每一次擦拭後或隨時每一次擦拭後用示於規格 3-3-5(1) (b)之水清洗，隨時或最少每水洗3次後，用示於規格3-3-5 (2) (a)之清洗用水溶液，洗好後再用示於 3-3-5 (1) (b)之淨水洗清。每一次擦拭後用示於規格 3-3-5(1) (c)之水清洗，隨時或最少每水洗5次後，用示於規格3-3-5 (2) (b)之清洗用水溶液，洗好後再用示於 3-3-5 (1) (c)之淨水洗清。無塵室專用抹布 對CLASS 1 及CLASS 10 無塵室不可使用。3-5 室內清潔方法及清潔頻度之例無塵室種類及位置擦拭方法及其頻度真空吸塵備考每日每週每月鞋子清潔周邊之地面B擦拭A擦拭每2小時非無塵室及準無塵室(準備室)地面B擦拭A擦拭每日2次窗及玻璃B擦拭每 月每2個月實際A擦拭天花板每 月每6個月實際B擦拭無塵室地面CLASS 1CLASS 10B擦拭A擦拭每 日上記以外B擦拭A擦拭每