无尘室测试.doc

As-built At rest Operation ? Air Velocity of Ceiling Filters 吊顶过滤器风速 ? Air filter Leakage 漏风量 ? Cleanliness 清洁度 ? Temperature and Humidity test 温湿度测试 ? Room Pressure Test 压力测试 ? Noise Test 噪声测试 ? Lighting Level test 照度测试 ? Static Electricity 静电 ? Interior Materials Conductivity 内部导电性 ? Recovery Performance ? Air Flow Parallelism Test(Not Applicable) ? Air Balance 风量平衡 ? Slight Shock 微小冲击 ? Enclosure Infiltration Leak Test 一.Air flow Velocity test (1)此檢測計劃在於確認天花板過濾器出口風速是否合乎規範要求. (2)檢測仪器 使用在校正期內之風速議(Thermal Anemometer)(3-D supersonic- Anemomet (3)檢測方法 I)檢測點 檢測點位於過濾器下方2030CM處,且每一過濾器取三點測試,此三點為HEPA中心 II)檢測儀器檢測時須以適當之架台支撐,不可以手持檢測. III)每一檢測點須至少量測10秒,取時間平均值. (4)驗收標準 每一過濾器出口風速須較設計之空氣量規格高015%. (5)實物解說. 二.Filter Leakage (1)此測試目的在確保所有安裝在天花板格柵系統之過濾器及其框架,seal絕無泄漏情形. (2)檢測儀器 檢測儀器需經校正合格之Particle Counter:-Met One ,Models A2100B (3)檢測方法 a.泄漏測試前先將Return air之pre-filter除去,並用aerosol generator産生10000 b.於室溫.濕度.室內及空氣流速等均合乎規範之條件下調整空氣系統至平衡狀態.c.啟動FFU,利用particle counter之采樣器置於filter下方約2.5cm,以5cm/sec之速 二.Filter Leakage (1)此測試目的在確保所有安裝在天花板格柵系統之過濾器及其框架,seal絕無泄漏情形. (2)檢測儀器 檢測儀器需經校正合格之Particle Counter:-Met One ,Models A2100B (3)檢測方法 a.泄漏測試前先將Return air之pre-filter除去,並用aerosol generator産生10000 b.於室溫.濕度.室內及空氣流速等均合乎規範之條件下調整空氣系統至平衡狀態. c.啟動FFU,利用particle counter之采樣器置於filter下方約2.5cm,以5cm/sec之速 三.Cleanliness (1)此檢測在於證明潔淨度合乎無塵室規範要求. (2)檢測儀器需經校正合格之Particle Counter:-Met One ,Models A2100B (3)檢測方法: a.確認測試泄漏完成及修補完成. b.測試位置及測試次數 I).測試高度80cm120cm. II).測試點數=A1/2. III)以LPC吸1CFM的風量,每次測試一分鍾,每點測三次. IV)測試位置應避免會産生粒子之附近. V)任一區域內至少要有二點以上之測試點且要平均分布(除非有設備影響). (4)驗收標準: 詳見ISO 14644-1 (5) 實物解說. 四. Temperature and Humidity test (1).此項檢測系確認無塵室內溫度及濕度均在要求範圍內. (2)檢測儀器 a.檢測儀器需提供校正報告. b.測試儀器:-Testo 400溫濕度傳感器(0.460m/s,140oC) (3)測試步驟: I)依據平面圖,列出各種溫濕度要求區域,並依所需溫濕度自動控制系統使其達到正常 II)每一房間至少測一點,高度為工作面(或與業主協商). III)將溫濕度記錄儀置於測試位置,溫濕度測量要讓感測器有足夠的時間穩定下來後 IV)以上記錄采用個別溫濕度數值時,計算其最高,最低,平均讀數,讀數之數值,查其標 V)記錄如以自動記器記錄,及采用何種精度之記錄器,及在何種範圍可被接受,甚至測 五.Room pressure test (1)此測試在確保無塵室依甲方要求均維持在正壓狀態.(2)檢測儀器 a.檢測儀器需提供校正報告. b.檢測儀器-Testo400壓力感測器(正負100Hpa) (3)測試方法: I)必須在風速,風量,氣流等測試完成後再測(排氣與MAU要完全正常運轉) II)全部門與開口都需關閉. III)每一不同等級之無塵室中心點,於高架地板/地板上方1200mm高處測試兩分鍾. (4)驗收標準 I)建儀不同等之無塵室壓差值為5Pa,最低等級之無塵室對室外1520Pa,並無強制性 (5)實物解說 六.Noise test (1)此項測試在於確認無塵室之噪音值系控制在甲方期望之範圍內. (2)測試儀器 a.含sound level meter(D&K2238數位式噪音計)及適當之支撐座,且這些儀器均須提 (3)檢測方法: I)無塵室內空氣流速,流量,潔淨度,室內溫濕度均在規範要求範圍內且 HVAC處於 II)每區無塵室取6點或室面積小於20M2者取1點,於高架地板/地板上方1500mm之高度 (4)驗收標準: Cleanroom Area65dB(A) (5) 實物解說 七.lighting level test (1)此項檢測系確保照明均符合規範要求. (2)檢測儀器 a.儀器需提供有效之校正報告TEST 1330 (3)檢測方法: I)確定日光燈以使用100小時,其他燈已使用20小時,以確保燈管已達正常使用狀態. II)測試時必須先開類2小時或燈管已達熱平衡. III)每4m2取一點並位於高架地板/地板上方75110cm處. IV)測試儀器要在測試區515分鍾以上才可達到穩定之狀態,再持續測量. (4)驗收標準 檢測結果需符合規範要求,一般要求400500LUX. (5) 實物解說 八.Static Electricity (1)此項係確保靜電資料符合甲方要求. (2)檢測儀器: a.20pf electro static discharge monitor w/150*150mm pararrel plate.b.檢測儀器需符合EOS/EOD標準S3.1-1991年版,並提供有效之校正報告. (3)檢測方法: I)位於高架地板/地板上方1100mm處檢測,檢測點於制程靜電控制要求處,確實位置需 (4)驗收標準 自1000V至100V之放電時間為206