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文档简介

工艺设备清单序号设备名称一外延、芯片生产线1MOCVD（GaN）2气柜3尾气处理器4毒气探测器5泄漏探测器（检漏仪）6X-Ray7脉冲测试仪8霍尔测试仪9标准化显微镜10原子显微镜11探针台及电流-电压测试仪12光刻机13甩胶台14显影台15湿法操作台16旋转式脱水机17电子束蒸发台18ICP刻蚀机19快速退火炉20PECVD21清洗台22热蒸发器23研磨&抛光M/C（套）24划片机25裂片机26扩片机27测试仪28分类仪29晶圆装配台30高放大倍数显微镜31低放大倍数显微镜32测量台阶测厚仪33专用工作台34可靠性测试设备35夹具及盒子（套）二芯片封装生产线1管芯安放机2自动引线键合机3荧光粉涂敷设备4划片机5测试机6编带机7清洗机8塑封压机9模具10点胶机11自动切割设备三照明模组及灯具生产线1灯具组装生产线（1）2灯具组装生产线（2）3机装流水线4电装机装线5老练线6车床7喷漆设备8计算机9光谱测试系统10灯具测光系统11晶体管参数测试仪12脉冲信号源13数字示波器.14数字电流表15数字电压表16功率因数测试仪17高低温实验箱18直流电源19综合测试台20充电架
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