电子显微镜及其附属设备结构、基本原理(第一部分1)_第1页
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文档简介

电子显微镜及其附属设备的结构 基本原理 用途及其使用方法 第一部分透射式电子显微镜 1 透射式电子显微镜外形及其基本结构 组成 电子光学系统 高压系统 数据采集系统 电子控制系统 真空系统等五大部分 透射式电子显微镜 电子光学系统 电子枪 电子束加速线圈 透镜系统 物镜系统 成像系统 消像散系统 电子对中系统等 真空系统 真空系统的组成 机械泵 扩散泵 离子泵 真空管道 循环水系统等 电子枪 镜筒 照相室 DP IP RP 数据采集系统 数据采集系统包括 CCD数据采集系统 PHOTO采集系统 高压及其电源系统 高压箱 高压电缆 高压瓷瓶 电子束发射枪 电源等 电子控制系统 电源控制系统 电子束调整系统 电子光路调整系统 电子成像控制系统 真空控制系统 模式选择系统等 2 透射电子显微镜的基本工作原理 电子光学系统的工作原理LaB6灯丝在高电压的作用下 产生一束高能电子束 经过透镜 物镜 消像散等系统的调整 形成一束近似平行光的电子束 作用于试样 电子束与试样将发生各种各样的作用 主要形成透过电子 弹性散射电子 非弹性散射电子
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