soiex02全耗尽SOI-VT和亚阈值斜率.doc

soiex02.in：全耗尽SOI - VT和亚阈值斜率要求：SPISCES最低版本：阿特拉斯5.16.3.R这个例子重复soiex01.in但一个已经设计操作与全耗尽SOI薄膜的装置。它表明： 使用Atlas语法基本SOI结构的定义 设置传输模式，包括碰撞电离 生成ID / VDS = 0.1V Vgs下曲线 从结果中提取的阈值电压和亚阈值斜率 绘图输出曲线和结构薄膜全耗尽SOI MOSFET的已被证明，以实现低阈值电压和近乎理想的逆阈斜坡。这使得他们理想的低功耗操作。这个例子表明，ATLAS是能力音响在soiex01.in部分耗尽的晶体管，在这个例子中完全耗尽晶体管之间的差异。在这个例子中使用的语法和方法是相同的，只有两三个修改soiex01.in。网已被修改，以支持的0.1um的较薄的SOI薄膜厚度和地区语句上的SOI层的定义也同样被改编。此外，通道掺杂已减少对兴奋剂的语句，以确保电影完全耗尽。加载和运行这个例子，选择的负载例如在DeckBuild中的按钮。这将复制输入文件到当前工作目录和任何支持文件。选择运行按钮来执行的例子。go atlasTITLE SOI device simulation# SILVACO International 1992, 1993, 1994, 1995, 1996# 0.1um of silicon on 0.4um oxide substrate #mesh space.mult=1.0# x.mesh loc=0.00 spac=0.50x.mesh loc=1.15 spac=0.02x.mesh loc=1.5 spac=0.1x.mesh loc=1.85 spac=0.02x.mesh loc=3 spac=0.5#y.mesh loc=-0.017 spac=0.02y.mesh loc=0.00 spac=0.005y.mesh loc=0.05 spac=0.02y.mesh loc=0.1 spac=0.01y.mesh loc=0.5 spac=0.25#region num=1 y.max=0 oxide region num=2 y.min=0 y.max=0.1 siliconregion num=3 y.min=0.1 oxide#* define the electrodes *# #1-GATE #2-SOURCE #3-DRAIN #4-SUBSTRATE(below oxide)#electrode name=gate x.min=1 x.max=2 y.min=-0.017 y.max=-0.017electrode name=source x.max=0.5 y.min=0 y.max=0electrode name=drain x.min=2.5 y.min=0 y.max=0electrode substrate#* define the doping concentrations *#doping uniform conc=1e17 p.type reg=2doping gauss n.type conc=1e20 char=0.2 lat.char=0.05 reg=2 x.r=1.0 doping gauss n.type conc=1e20 char=0.2 lat.char=0.05 reg=2 x.l=2.0 save outf=soiex02_0.strtonyplot soiex02_0.str -set soiex02_0.set# set interface charge separately on front and back oxide interfacesinterf qf=3e10 y.max=0.05interf qf=1e11 y.min=0.05# set workfunction of gatecontact name=gate n.poly# select modelsmodels conmob srh auger bgn fldmob print #solve init# do IDVG characteristic#method newton trap solve prev solve vgate=-0.2 solve vdrain=0.05solve vdrain=0.1# ramp gate voltagelog outf=soiex02_1.log mastersolve vgate=0.1 vstep=0.1 name=gate vfinal=1.5# plot resultant IDVG threshold voltage curve tonyplot soiex02_1.log -set soiex02_1.set# plot resultant IDVG subthreshold slope curve tonyplot soiex02_1.log -set soiex02_2.set#extract name=subvt 1.0/slope(maxslope(curve(v.ga