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4吋晶圆生产线部分设备清单 序号设备名称型号 1四探针测试仪SZ 82 2特气柜 3CVDAEC 2200 4CVD淋水槽WCSB 7 5CVD设备AEC 2200 6特气柜 7净化层流罩 8净化层流罩 9腐蚀清洗柜 10CVD除尘装置 11擦片机SVG88 12擦片机SVG88 13擦片机SVG8800 14甩干机AMT 06 15甩干机SG 09A 16双槽清洗机 17甩干机SG 07A 18甩干机SG 07A 19硅片转换器RAPITRAN 20硅片转换器RAPITRAN 21OAP烘箱HOCHECK 22传递窗 23风淋室 24匀胶机SVG 88 25光刻机PLA0501F 26光刻机PLA0501F 27光刻机PLA501 28光刻机PLA501F 29光刻机PLA501F 30光刻机PLA 501F 31光刻机PLA 501F 32光刻机PLA 501F 4吋晶圆生产线部分设备清单 序号设备名称型号 33光刻机PLA 501 FA 34光刻机PLA 50IF 35光刻机PLA 50IF 36光刻机PLA 50IF 37甩干机SG 07B 38涂胶机6000XL 39匀胶机SVG88 40真空烘箱HOCHECK 41SiO2腐蚀机GFQ 1 42SiO2腐蚀机 43铝腐蚀机 44甩干机KPDW1255 4SRD 45甩干机SG 07B 46自动去胶机 47扩散炉4104 48扩散炉4304 49扩散炉4304 50扩散炉4304 51扩散炉E2000 52炮筒升降机构 53硅片转换器RAPITRAN 54硅片转换器RAPITRAN 55扩散炉4104 56扩散炉4104 57扩散炉4104 58扩散炉4304 59扩散炉4304 60扩散炉4304 61甩干机AMT 06 62涂源机DNUNA700 63匀胶机SVG88 64匀胶显影机6000XL 4吋晶圆生产线部分设备清单 序号设备名称型号 65甩干机AMT 06 66双槽清洗机TAW 3B 67双槽清洗机TAW 3B 68扩散炉 69扩散炉 70扩散炉E2000 71扩散炉E2000 72扩散炉E2000 73硅片转换器RAPITRAN 74甩干机AMT 06 75甩干机SG 07B 76甩干机SG 09A 77双槽清洗机TAW 3 78双槽清洗机 79激光打标机 80层流净化柜 81扩散炉 82喷砂处理机LH BT S 83划片机改造TSK 10A 84划片机改造TSK 10A 85抛光机32SPAW 86十二
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