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IZO透明导电氧化物材料的研究 报告内容 研究意义 实验方法 实验成果 课题总结 目前 透明导电二元氧化物IZO薄膜作为ITO的替代物 正得到越来越广泛的关注 透明导电IZO薄膜 透明导电IZO薄膜 组分可调 多重物理化学特性 低温制备 塑性好 高迁移率 功函数高 可用于OLED 与ITO相比 功函数高 用于OLED IZO能够减小阳极空穴势垒 提高空穴注入效率 5 0eV 4 7eV 透明导电IZO薄膜 Han KiKim Surface CoatingsTechnology203 2008 652 656 透明导电IZO薄膜 IZO为阳极的OLED开启电压低 发光亮度高 报告内容 研究意义 实验方法 实验成果 课题总结 国际上关于IZO薄膜的研究 磁控溅射脉冲激光沉积 PLD 化学气相沉积 CVD 溶胶 凝胶沉积喷雾热分解 脉冲等离子体镀膜设备原理图 全新的制备方法 脉冲等离子体沉积法 PPD 创新点 PPD的特点 好 好 好 好 报告内容 研究意义 实验方法 实验成果 课题总结 按成分配比In2O3 ZnO将粉末混均匀 干压成形 大气氛围温度 1000 时间 10h 普通研钵 粉末压片机 管式电阻炉 IZO靶材的制备 成分比为国际上主流的三种IZO 富In In Zn相当 富Zn IZO靶材的结构 PPD制备IZO薄膜 In2O3 ZnO 1 3 IZO薄膜 In2O3 ZnO 1 3 的光电性能 电阻率 1 63 10 3 cm可见光区平均透射率 80 波长 nm 透射率 与国际研究水平对比 电学性能不理想 转为研究富In含量的IZO薄膜 10wt ZnO PPD制备IZO薄膜 10wt IZO 10wt 薄膜结晶性随温度变化关系 不同衬底温度下沉积的IZO薄膜的XRD谱图 IZO 10wt 薄膜电学性能随氧压的变化关系 IZO薄膜的电阻率 载流子浓度和载流子迁移率随氧压的变化关系 IZO 10wt 薄膜电学性能随厚度的变化关系 IZO薄膜的电阻率 载流子浓度和载流子迁移率随厚度的变化关系 IZO 10wt 薄膜电学性能随温度的变化关系 IZO薄膜的电阻率 载流子浓度和载流子迁移率随温度的变化关系 IZO 10wt 薄膜光学性能随氧压的变化关系 IZO薄膜在可见光范围内的透射率随氧压的变化关系 IZO 10wt 薄膜光学性能随厚度的变化关系 IZO薄膜在可见光范围内的透射率随厚度的变化关系 IZO 10wt 薄膜光学性能随温度的变化关系 IZO薄膜在可见光范围内的透射率随温度的变化关系 IZO薄膜的禁带宽度 3 6eV IZO 10wt 薄膜的禁带宽度 h 2 h 曲线图以及IZO薄膜的禁带宽度拟合直线 与国际研究水平对比 与国际水平基本持平 报告内容 研究意义 实验方法 实验成果 课题总结 1 电阻率6
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