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文档简介

1,任务五:压电传感器用于压力、应力及加速度的测量,2,一、压电效应二、压电材料三、压电式传感器的测量电路四、压电式传感器的应用,3,压电式传感器是一种典型的发电型传感器,以电介质的压电效应为基础,在外力作用下,在电介质表面产生电荷,从而实现非电量测量。压电式传感器可以对各种动态力、机械冲击和振动进行测量,在声学、医学、力学、导航方面都得到广泛的应用。压电式传感器具有响应频带宽、灵敏度高、信噪比大、结构简单、工作可靠、重量轻等特点。,概述,4,压电陶瓷位移器,压电陶瓷超声换能器,压电秤重浮游计,压电警号,压电加速度计,5,某些电介质(晶体)当沿着一定方向施加力变形时,内部产生极化现象,同时在它表面会产生符号相反的电荷;当外力去掉后,又重新恢复不带电状态;当作用力方向改变后,电荷的极性也随之改变;,一、压电效应,这种现象称正压电效应,6,石英晶体的压电效应演示,当力的方向改变时,电荷的极性随之改变,输出电压的频率与动态力的频率相同;当动态力变为静态力时,电荷将由于表面漏电而很快泄漏、消失。,7,压电效应是可逆的在介质极化的方向施加电场时,电介质会产生形变,将电能转化成机械能,这种现象称“逆压电效应”。压电元件可以将机械能转化成电能也可以将电能转化成机械能。,正压电效应,逆压电效应,8,9,超声波传感器,10,1、石英晶体的压电效应,Z,X,Y,(a),(b),石英晶体(a)理想石英晶体的外形(b)坐标系,石英晶体的理想外形是一个正六面体,在晶体学中它可用三根互相垂直的轴来表示,其中纵向轴ZZ称为光轴;经过正六面体棱线,并垂直于光轴的XX轴称为电轴;与XX轴和ZZ轴同时垂直的YY轴(垂直于正六面体的棱面)称为机械轴。,11,石英晶体具有压电效应,是由其内部结构决定的。组成石英晶体的硅离子Si4+和氧离子O2-在Z平面投影,如图(a)。为讨论方便,将这些硅、氧离子等效为图(b)中正六边形排列,图中“”代表Si4+,“”代表2O2-。,12,晶体沿X方向将产生收缩,电偶极矩在X方向的分量为(P1+P2+P3)X0(P1+P2+P3)Y=0(P1+P2+P3)Z=0即在X轴的正向出现正电荷,在Y、Z轴方向则不出现电荷。,(c)FX0,正、负离子(即Si4+和2O2-)正好分布在正六边形顶角上,形成三个互成120夹角的偶极矩P1、P2、P3,电偶极矩的矢量和等于零,即P1P2P30,(P1+P2+P3)X1,那么,输入电压幅值Uim为,上式表明理想情况时前置放大器输入电压Uim与频率无关,一般在/03时,就可以认为Uim与无关,0表示测量电路时间常数之倒数,即,这表明在测量回路的时间常数一定的情况下,压电传感器有很好的高频响应,也就是测量电路输出与被测信号频率无关。,37,当作用于压电元件的力为静态力(=0)时,前置放大器的输出电压等于零,因为电荷会通过放大器输入电阻和传感器本身漏电阻漏掉,所以压电传感器不能用于静态力的测量。,38,当被测动态量变化缓慢,而测量回路时间常数不大时,会造成传感器灵敏度下降,因而要扩大工作频带的低频端,就必须提高测量回路的时间常数。但是靠增大测量回路的电容来提高时间常数,会影响传感器的灵敏度。根据传感器电压灵敏度Ku的定义得,因为R1,故上式可以近似为,可见,Ku与回路电容成反比,增加回路电容必然使Ku下降。为此常将Ri很大的前置放大器接入回路。其输入内阻越大,测量回路时间常数越大,则传感器低频响应也越好。当改变连接传感器与前置放大器的电缆长度时Cc将改变,必须重新校正灵敏度值。,39,因此,压电传感器与前置放大器之间连接电缆不能随意更换,否则将引入测量误差。,40,电荷放大器由一个反馈电容Cf和高增益运算放大器构成。,2.电荷放大器,若放大器的开环增益A0足够大,并且放大器的输入阻抗很高,则放大器输入端几乎没有分流,运算电流仅流入反馈电容CF。由图可知i的表达式为:,41,根据该式画出等效电路图(b),反馈电容CF等效到A0的输入端时,电容CF将增大(1A0)倍。所以图中C=(1A0)CF;这就是所谓“密勒效应”的结果。,42,运放输入电压,运算放大器输出端电压为:,通常A=104108,(A+1)Cf(Ca+Cc+Ci),则上式可近似为:,43,说明电荷放大器输出电压只与电荷q、反馈电容Cf有关,与放大倍数及电缆电容无关,当A0足够大时,传感器本身的电容和电缆长短将不影响电荷放大器的输出,这是电荷放大器的最大特点。,反馈电容Cf为常数时,输出电压与电荷q成正比。反馈电容增大,输出电压将减小,所以应选择合适的反馈电容Cf值。CF一般取值100-104pF。,44,七、压电式传感器的应用(一)压电式加速度传感器(二)压电式压力传感器(三)压电式流量计(四)集成压电式传感器(五)压电传感器在自来水管道测漏中的应用(六)超声应用,45,当传感器感受振动时,因为质量块相对被测体质量较小,因此质量块感受与传感器基座相同的振动,并受到与加速度方向相反的惯性力,此力Fma。同时惯性力作用在压电陶瓷片上产生电荷为,运动方向,2,1,3,4,5,纵向效应型加速度传感器的截面图,(一)压电式加速度传感器结构:纵向效应型、横向效应型和剪切效应型三种,纵向效应是最常见的。压电陶瓷4和质量块2为环型,通过螺母3对质量块预先加载,使之压紧在压电陶瓷上。测量时将传感器基座5与被测对象牢牢地紧固在一起。输出信号由电极1引出。,qd33Fd33ma,46,连接方式:图(a)为并联形式,片上的负极集中在中间极上,其输出电容C为单片电容C的两倍,但输出电压U等于单片电压U,极板上电荷量q为单片电荷量q的两倍,即图(b)为串联形式,正电荷集中在上极板,负电荷集中在下极板,而中间的极板上产生的负电荷与下片产生的正电荷相互抵消。从图中可知,输出的总电荷q等于单,片电荷q,而输出电压U为单片电压U的二倍,总电容C为单片电容C的一半,即,+,+,(a)并联,(b)串联,叠层式压电元件,+,+,+,+,并联接法,输出电荷大,时间常数大,宜用于测量缓变信号,并且适用于以电荷作为输出量的场合。串联接法,输出电压大,本身电容小,适用于以电压作为输出信号,且测量电路输入阻抗很高的场合。,47,(二)压电式压力传感器根据使用要求不同,压电式测压传感器有各种不同的结构形式。但它们的基本原理相同。压电式测压传感器的原理简图。它由引线1、壳体2、基座3、压电晶片4、受压膜片5及导电片6组成。当膜片5受到压力P作用后,则在压电晶片上产生电荷。在一个压电片上所产生的电荷q为,F作用于压电片上的力;d11压

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