光电制程、半导体制程设备供应链-与-技术研发地图PPT课件

1,光電製程、半導體製程設備供應鏈與技術研發地圖,2,一、光電製程:1.TFT-Array段(1),基板受入前洗淨線PEP1DenseCleaner廣運,洗淨設備、成膜前洗線Pre-DepoCleaner帆宣亞智勤友,濺鍍機零件防著板Sputterparts漢泰世禾技鼎,Photo展研,AI蝕刻機、鋁蝕刻線AlEtcher帆宣亞智,TotalPitch旭東,CDOverlay量測機CDOverlay/CDOLMeasurement晶彩,去光阻機、剝離線Stripper帆宣勤友,乾式蝕刻機DryEtcher帆宣帆宣(擬開發)資騰,列陣測試ArrayTeste,ParticleCounter旭東勤友技鼎,回火機AnnealOven帆宣志聖能麒資騰,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,3,1.TFT-Array段(2),CVD,雷射修補機LaserRepair均豪、沛鑫晶彩、大銀旭東、揚朋,雷射CVD修補機LaserCVD沛鑫,傳輸機/取片/排片/排序機Changer/Exchanger七憶、帆宣均豪、盟立旭東,反射率量測機Reflectometer晶彩,Ellipsometer,SurfaceProfiler,面板阻抗量測機SheetResist/SheetResistance晶彩,TEG,檢測機VisionInspection旭東大銀揚朋政美,巨量檢測機/巨觀檢查機Macro/Micro均豪、高僑大銀、宏瀨廣運、資騰,光學檢測機/視覺檢測/自動檢查機AOI晶彩、由田大銀、資騰,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,4,1.TFT-Array段(3)-周邊設備或其他,BC/EAP羽冠,堆疊式解包設備DenseUnpack陽程,巨觀自動光學檢測系統DigitalMacroAOISystem由田,MES羽冠(擬開發),顯影設備Developer亞智(擬開發),常壓電漿清潔設備APPlasmaCleaner馗鼎,輸送帶Conveyor帆宣,良率管理系統SUNSSystem晶彩,拍照機Review晶彩,自動傳送系統AutomaticTransferSystem盟立,真空chamber銲接Welding漢泰(擬開發),濺鍍機零件,乾蝕刻機零件,化學層積零件表面處理Partscleaningsurfacetreatment漢泰,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,離子雲植入機IonShowerDopingSystem帆宣,5,1.TFT-Array段(4)-零組件供應,滾珠螺桿BallScrew上銀大銀,防著板，銅背板Mask,BackingPlate(Copper)千附,鋁背板BackingPlate(forCVD)千附,加熱器Susceptor千附,電極板及網板Electrode&Grid千附,線性馬達LinearMotor大銀,線性滑軌LinearGuideway大銀,擴散板Diffuser千附,EUV172光源EUVExcimerLamp資騰,BrushlessMotor&ServoMotor&G.Motor宙揚,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,6,2.TFT-Cell-FEOL段(1),PI前洗淨設備Pre-PICleaner亞智億尚勤友,PI轉寫機,PI預烤爐/PI烤爐PiPre-Cure/PiPostBake志聖能麒,PI轉寫後檢查機PIInspectionSystem宏瀨,PI烤爐PIMAINCUREOVEN能麒,液晶脫泡機L.C.緯瑩億尚,框膠脫泡機,RubbingMachine,Rubbing後人工檢查機RubbingInspection陽程迅得(擬開發),Rubbing後洗淨設備亞智億尚勤友,C/FAnnealOven志聖能麒,框膠塗佈機SealDispenser帆宣帆宣(擬開發),紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,7,2.TFT-Cell-FEOL段(2),液晶注入機/液晶滴入機LiquidCrystalDispenser帆宣、帆宣(擬開發)晶彩(擬開發),SpacerScatter,Ballspacer光學檢測機SpacerCounterInspector/CellSpacerAOI晶彩,SpacerPrebakeOven能麒,CommonPasteDispenser,框膠硬烤爐SealMainCureoven志聖能麒霖豐,大基板貼合後人工檢查機LCInspection陽程,真空貼合機VacuumPanelAligner帆宣(擬開發),UVCure志聖,基板貼合精度檢查機旭東帆宣(擬開發),PhotoSpacer高度檢查機PhotoSpacerLevelMete沛鑫、旭東、勤友帆宣、陽程(擬開發),框膠塗佈機SealDispenser帆宣帆宣(擬開發),紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,8,2.TFT-Cell-FEOL段(3),薄膜,光阻塗佈,曝光,顯影機Developer亞智廣運帆宣,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,9,2.TFT-Cell-FEOL段(4)-周邊設備或其他,IRCP志聖,HPCP志聖,異物計算機CellParticleCounter晶彩,Seal光學檢測機CellSealAOI晶彩,PI光學檢測機CellPIAOI晶彩,切裂光學檢測機CellBurrCheckAOI晶彩,自動傳送系統AutomaticTransferSystem盟立三橋,常壓電漿清潔設備APPlasmaCleaner馗鼎,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,光罩檢測系統Photomaskinspection帆宣,BC/EAP羽冠,MES羽冠(擬開發),ARCOven志聖,10,2.TFT-Cell-FEOL段(5)-周邊設備或其他,Spacer乾式洗淨設備元捷,整廠無塵室風扇過濾裝置FFUUNIT元捷,P.P.Box乾式洗淨設備元捷(擬開發),自動複檢儀器AutoReviewMachine由田,框膠自動光學檢測系統SealAOISystemG5,G6,G7.5由田,配向膜自動光學檢測系統PIAOISystemG5,G6,G7.5由田,雷射修補機Open/ShortLaserRepair揚朋,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,玻璃再生機(PI去除)PIrework帆宣,PI灰化機DryAsher資騰,Cell段轉寫機搭配之恆溫機元捷,Cell段磨刷機搭配之加溼器元捷,PP-Box包裝機PP-BoxPacker三橋,11,2.TFT-Cell-FEOL段(6)-零組件供應,線性馬達LinearMotor大銀,線性滑軌LinearGuideway大銀,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,線性滑軌LinearGuideway上銀大銀,非接觸ITO模組值測量器Non-contactResistivitymeasurement資騰,偏向膜零件表面處理Surfacetreatment漢泰,BrushlessMotor&ServoMotor&G.Motor宙揚,12,3.TFT-Cell-BEOL段(1),玻璃切割機GlassCutting均豪、緯瑩漢泰、億尚資騰,玻璃裂片檢測機(切割後檢查機)BurrChecker(AOI)均豪沛鑫旭東,磨邊倒角機Grinding均豪,玻璃表面清潔機TapeCleaner均豪陽程,濕製程洗淨機WetCleaner亞智億尚廣運霖豐,點燈檢查機CTProber沛鑫旭東晉速,偏光板貼附機P/A(Polarizerattacher)七憶陽程帆宣、帆宣(擬開發),包裝機DensePacker均豪、迅得旭東、陽程基丞、帆宣,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,13,3.TFT-Cell-BEOL段(2)-周邊設備或其他、零組件,PP-Box包裝/解包裝機PP-BoxPacker/Unpacker迅得,BrushlessMotor&ServoMotor&G.Motor宙揚,面板薄形化研磨設備陽程(擬開發),面板自動檢測光學系統AutomatedPanelInspectionSystem由田,線性馬達LinearMotor大銀,滾珠螺桿BallScrew大銀,線性滑軌LinearGuideway大銀,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,14,4.TFT-Module/LCM段-小尺寸(1),裝/拆自動化系統，收/放板機Loader/Unloader帆宣、盟立、高僑緯瑩、旭東、晉速億尚、廣運、勤友,磨邊倒角機/磨邊機Grinding均豪緯瑩,CulletRemover旭東,清潔機/測洗設備Cleaner均豪、亞智旭東、駐龍廣運,IonizerBlow,偏光板貼附機P/A,PolarizerAttachM/C七憶易發,對位貼合機/對位壓著機COGBonder均豪、緯瑩易發、旭東,Brush亞智旭東,乾蝕刻清潔機PlasmaCleaner均豪志聖馗鼎旭東,自動檢測/視覺檢測AOI均豪旭東晉速,分片機/點膠機Dispenser盟立緯瑩易發旭東,AMT,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,15,4.TFT-Module/LCM段-小尺寸(2),老化測試設備/面板熟化設備系統AgingOven志聖、盟立高僑、晉速帆宣、廣運,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,MES/BC/EAP羽冠,BrushlessMotor&ServoMotor&G.Motor宙揚,雷射修補機ModuleLaserRepair揚朋,面板測試Paneltest旺矽,線性馬達LinearMotor大銀,滾珠螺桿BallScrew大銀,線性滑軌LinearGuideway大銀,周邊設備或其他,零組件供應,16,5.TFT-Module/LCM段-中尺寸(1),磨邊倒角機Grinding均豪沛鑫,CulletRemover,清潔機Cleaner均豪、馗鼎旭東、駐龍廣運,偏光板貼附機P/A,PolarizerAttachM/C七憶易發,裝/拆自動化系統Loader/Unloader盟立、高僑旭東、晉速億尚、廣運,分片機Dispenser盟立易發旭東,PCB對位壓著機PCBBonder易發億尚,EPC,COG對位壓合機/貼合機COGBonder均豪、沛鑫盟立、易發億尚,FPC對位壓合機/貼合機FPCBonder七憶、沛鑫盟立、易發億尚,PCBTest高僑旭東晉速,老化測試設備/面板熟化AgingOven志聖、盟立高僑、晉速、廣運帆宣(擬開發),紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,17,5.TFT-Module/LCM段-中尺寸(2),AFT,ACF貼附ACFAttachment七億,BrushlessMotor&ServoMotor&G.Motor宙揚,MES/BC/EAP羽冠,自動傳送系統AutomaticTransferSystem盟立三橋,雷射修補機ModuleLaserRepair揚朋,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,周邊設備或其他,線性馬達LinearMotor大銀,滾珠螺桿BallScrew大銀,線性滑軌LinearGuideway大銀,零組件供應,18,6.TFT-Module/LCM段-大尺寸(1),磨邊倒角機Grinding均豪,CulletRemover,清潔機Cleaner均豪亞智駐龍廣運,偏光板貼附機P/A,PolarizerAttachM/C易發七憶(擬開發),裝/拆自動化系統Loader/Unloader盟立、高僑旭東、億尚廣運,分片機Dispenser盟立易發旭東萬潤,PCB對位壓著機PCBBonder易發,EPC,重修機OLB易發億尚,自動檢測LeadAOI均豪旭東,PCBTest旭東晉速,老化測試設備/面板熟化AgingOven志聖、盟立、高僑晉速、陽程、廣運帆宣、迅得(擬開發),紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,19,6.TFT-Module/LCM段-大尺寸(2),AFT,自動傳送系統AutomaticTransferSystem盟立,面板自動檢測光學系統AutomatedPanelInspectionSystem由田,擴散板元捷,面板與背光模組自動組裝設備AssemblyLine陽程,背光模組自動組裝設備陽程(擬開發),紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,周邊設備或其他,精密線性模組SingleAxisRobot上銀,MES/BC/EAP羽冠,雷射修補機ModuleLaserRepair揚朋,20,6.TFT-Module/LCM段-大尺寸(3)-零組件,BrushlessMotor&ServoMotor&G.Motor宙揚,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,線性馬達LinearMotor大銀,滾珠螺桿BallScrew大銀,線性滑軌LinearGuideway大銀,21,6.ColorFilter(1),PEP1DenseCleaner,Pre-DepoCleaner,Sputter,Photo,AlEtcher,TotalPitch,CDOverlay量測機CDOverlay/CFCDOLMeasurement晶彩,Stripper,DryEtcher,CFTester,ParticleCounter,AnnealOven,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,22,6.ColorFilter(2),CVD,雷射修補機LaserRepair/Laser-InkRepair晶彩,LaserCVD,Changer/Exchanger,穿透率量測機ODmeasurement晶彩,Ellipsometer,SurfaceProfiler,色度量測機Colormeasurement晶彩,Thicknessmeasurement,VisionInspection,Macro/Micro,光學檢測機AOI晶彩,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,23,6.ColorFilter(3),複金屬燈箱CFMetalHalideLampHouse晶彩,拍照機CFReview晶彩,異物檢知機CFTokkiAOI晶彩,良率管理系統CFSUNSSystem晶彩,彩色濾光片檢查,修補Colorfilterreview&repair帆宣,彩色濾光片修補機Colorrepair帆宣沛鑫,BC/EAP羽冠,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,周邊設備或其他,24,7.傳輸設備(1),玻璃基板倉儲系統Stocker台朔、帆宣均豪、沛鑫盟立、高僑、廣運帆宣(擬開發),軌道導引搬運車RGV台朔、帆宣志聖、沛鑫盟立、高僑旭東、立穩、廣運,人工導引搬運車MGV(GlassorCassette)七憶、志聖、沛鑫盟立、高僑、旭東立穩、廣運,面板搬運裝置Loader/Unloader士林、帆宣、均豪志聖、沛鑫、盟立高僑、迅得、旭東立穩、廣運、帆宣,機器手臂Robot均豪、盟立高僑、廣運帆宣(擬開發),自動(輸送帶)傳輸系統CTC/VSystem七憶、均豪、志聖沛鑫、盟立、高僑迅得、旭東、廣運三橋,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,25,7.傳輸設備(2)-周邊設備或其他、零組件,ColorFilerGlassConveyorSystem高僑,Panel輸送系統PanelC/VSystem迅得,自動輸送系統設備C/VSystem陽程,基板卡匣Cassette沛鑫高僑,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,BrushlessMotor&ServoMotor&G.Motor宙揚,線性馬達LinearMotor大銀,滾珠螺桿BallScrew大銀,線性滑軌LinearGuideway大銀,周邊設備或其他,零組件供應,26,8.其他光電製程設備(1),CleanOHT台朔,CleanAGV台朔,CleanAMHS台朔,雷射顯微鏡Lasermicroscope帆宣,OLED,organic材料蒸鍍機OLED,organicevaporation帆宣,光罩雷射修補機PhotomaskLaserRepair揚朋,二次元光學量測設備2DMOpticalMeasurement揚朋,OLED面板篩檢與老化設備OLEDorganic&finaltesting帆宣,冷陰極管沾錫機基丞,冷陰極管老化測試機基丞,平行曝光機用電源設備福峰,PV自動化系統PVAutomationSystem迅得,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,27,8.其他光電製程設備(2),美國Cognex機器視覺系統CognexMachineVision汎宇,美國Parker自動化控制產品ParkerMotionControl汎宇,日本Yokogawa直接驅動馬達YokogawaD.D.Motor汎宇,TapeRepair旭東,BrushlessMotor&ServoMotor&G.Motor宙揚,SEAL檢查機SealInspectionSystem宏瀨,PF檢查機PFInspectionSystem宏瀨,微粒子計數器Particlecounter耀群,環境監控系統FacilityMonitoringSystem耀群,產品表面監控系統SurfaceParticleCounter耀群,膜厚色度儀宏瀨,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,LCM後段自動包裝/堆疊LCMAutoPacking&StockerSystem三橋,28,8.其他光電製程設備(3),BEOL後段無塵昇降設備CleanLifter三橋,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,29,二、半導體製程:1.晶圓製造-薄膜製程(1),化學氣相沉積CVD漢泰,物理氣相沉積PVD漢泰,電化學沉積(銅製程)Ag/Cn/NiPlating漢泰嘉智,化學機械研磨機CMPequipment帆宣資騰,二氧化矽塗佈機SOGcoater展研,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,周邊設備或其他,30,1.晶圓製造-薄膜製程(2)-零組件,真空腔體Chamber千附(擬開發),擴散板ShowerHead千附(擬開發),PVABrush帆宣,線性馬達LinearMotor大銀,滾珠螺桿BallScrew大銀,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,線性滑軌LinearGuideway大銀,氣體質量控制器MssFlowController資騰,31,光罩清洗機弘赫電,2.晶圓製造-微影製程,光阻塗佈/烘烤,顯影Developer弘赫電嘉智廣運,曝光,光罩檢驗設備MaskInspection帆宣,黃光用紫外光源UVLamp資騰,光阻硬化機UVCuring霖豐,電荷消除機ChargeEraser霖豐,週邊曝光機WEE霖豐,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,零組件供應,線性馬達LinearMotor大銀,滾珠螺桿BallScrew大銀,線性滑軌LinearGuideway大銀,周邊設備日或其他,32,3.晶圓製造-蝕刻製程,乾式蝕刻,濕式蝕刻EtchBench弘赫電嘉智嵩展,乾式光阻剝除,濕式光阻剝除Stripper&Cleaner弘赫電嘉智帆宣,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,電極板Electrode千附(擬開發),線性馬達LinearMotor大銀,滾珠螺桿BallScrew大銀,線性滑軌LinearGuideway大銀,清洗PartsClean嘉智弘赫電,零組件供應,33,4.晶圓製造-擴散製程,離子佈植,快速升溫處理,氧化/擴散爐/擴散退火爐Furnance/HightempFurnuance帆宣資騰,濕式批次處理WetBench嘉智弘赫電,濕式單晶圓處理SpinCleaner嘉智弘赫電,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,線性馬達LinearMotor大銀,滾珠螺桿BallScrew大銀,線性滑軌LinearGuideway大銀,零組件供應,34,5.晶圓製造-製程檢測(1),關鍵尺寸量測OpticalMeasurement揚朋,ADI量測旭東,薄膜量測Thin-FilmMeasurement帆宣,缺陷量測ParticleInspection旭東帆宣,EAP羽冠,環境監控系統FacilityMonitoringSystem耀群,產品表面監控系統SurfaceParticleCounter耀群,晶片高度檢測機CCMLansHolder均豪,針測機ProbingEquipment旺矽,微粒子計數器Particlecounter耀群,2D/3D量測設備2D/3Dmeasuringsystem耀群,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,周邊設備及其他,35,5.晶圓製造-製程檢測(2)-零組件,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,線性馬達LinearMotor大銀,滾珠螺桿BallScrew大銀,線性滑軌LinearGuideway大銀,36,6.晶圓製造-自動化設備及其他,晶圓自動傳送模組EFEM沛鑫,Stock高僑,自動化設備FactoryAutomationSystem旭東廣運,FOUP垂直搬送機FOUPCleanLifter三橋,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,精密線性軸承SingleAxisRobot上銀,零組件供應,自動化搬送設備AutomaticTransferSystem旭東廣運三橋,37,7.IC封裝-傳統封裝(1),晶圓探針Probepin&socket技鼎資騰,測試取放Sawing&placement技鼎,晶片/封裝切割機Dicing七憶技鼎資騰,黏晶機DieBonder均豪,覆晶黏晶機旭東,烘烤/迴銲,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,銲線機WireBonder均豪技鼎,自動封膠機AutoMolding/Moldpress均豪、基丞萬潤、帆宣,剪切成型機Trim/Form/Singulation均豪、基丞技鼎、帆宣,雷射刻印機LaserMark/Lasermarking均豪基丞技鼎,封裝/基板檢查/視覺檢查Package/SubstrateInspection/Visioninspection均豪、基丞技鼎、帆宣,植球機/BGA植球機BallMount/BallMounter萬潤帆宣,周邊設備及其他,38,7.IC封裝-傳統封裝(2)-周邊設備及其他,晶片薄化研磨Lapping/Polishing帆宣,MES/EAP羽冠,晶粒挑選機ChipSorter均豪,植球/點膠機Bumping均豪,自動倉儲ASRS盟立,送收料機Loader/unloader萬潤,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,電漿清洗設備PlasmaCleaner馗鼎,2D/3D量測設備2D/3Dmeasuringsystem政美,零組件Parts帆宣,線性馬達LinearMotor大銀,滾珠螺桿BallScrew大銀,線性滑軌LinearGuideway大銀,零組件供應,39,8.IC封裝-Bumping(1),UBM濺鍍,光阻塗佈Coater帆宣資騰,曝光,顯影/清洗/去光阻Developer/Clean/Stripper嵩展弘赫電帆宣資騰,凸版電鍍Plating帆宣,Bumping檢測BumpingInspection帆宣,MES/EAP羽冠,UBM去除,植球/點膠BallMount/FluxPrinting技鼎帆宣,晶圓傳送系統Waferhandlingsystem展研,視覺檢查Visioninspection基丞,紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口,周邊設備或其他,40,8.IC封裝-Bumping(2)-零組件及其他,特殊專用機SpecialPurp