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文档简介
.,1,.,2,OLED简介,OLED又称有机发光二极管可以自发光,无需背光全固态,不怕震动高亮度高对比度视角宽超薄低成本低功耗,.,3,OLED在显示器中的分类,OLED,.,4,OLED应用,.,5,OLED结构原理图,.,6,OLED发光原理图,HIL:空穴注入层HTL:空穴传输层EML:发光层ETL:电子传输层EIL:电子注入层,.,7,OLED象素结构图,.,8,OLED产品结构图,.,9,OLED工艺流程,.,10,.,11,OLED空穴注入(HIL)材料,.,12,OLED空穴传输(HTL)材料,.,13,OLED掺杂材料,.,14,OLED电子传输、发光层材料,.,15,OLED电子传输材料,.,16,OLED驱动方式,.,17,OLED全彩方式,.,18,OLEDVsLCD(性能),LCD需要背光有视角限制响应时间100ms多层结构不支持柔性显示工艺复杂,成本高温度范围窄:050,OLED自发光160度宽视角相应快,1us更薄,1mm柔性显示工艺简单,具有低成本潜力使用温度范围宽:-4085,.,19,OLEDVsLCD(色彩亮度对比),.,20,OLEDVsLCD(视角对比),.,21,OLEDVsLCD(性能),.,22,OLEDVsLCD(剖面结构),.,23,.,24,InorganicEL简介,iEL(InorganicElectroluminescence):即无机电致发光发光原理:发光材料薄膜中电子在电场的作用下碰撞发光中心,发光中心从激发态返回基态过程中发生能级跃迁而导致发光。,.,25,InorganicEL性能特点,自发光/宽视角/高对比高亮度,且亮度均匀无闪烁快速反应轻薄制程简单,成本低,无需TFT冷光源,工作时不发热牢固,抗震,.,26,介电薄膜,金属行电极,玻璃基板,色彩转换膜,ITO列电极,蓝光薄膜,密封、保护玻璃,发光,一般选用可耐高温的平板显示专用玻璃,如TFT玻璃,扫描电极薄膜,用光刻加工成条状,限制电流、保护器件不被击穿的关键耐压层,蓝色电致发光层,透明导电薄膜,用光刻或激光加工成条状,红、绿色光致发光厚膜,丝网印刷后曝光成型,对器件提供环境和物理保护,EL全彩色无机EL器件结构,介电薄膜,限制电流、保护器件不被击穿的关键耐压层,.,27,EL蓝光成彩法,.,28,(EL)器件结构,UV胶,干燥剂,金属或玻璃盖,介电薄膜,.,29,EL(单色)一般制作流程,ITO玻璃基板,列电极光刻,无机薄膜制作,行电极制作,封装,ITO玻璃清洗、光阻旋涂、曝光、显影、蚀刻、光阻剥离,介电薄膜:溅射/溶胶凝胶发光薄膜:溅射/电子束蒸发,封盖、UV胶封装,电子束蒸发,制程重点:ITO玻璃光刻介电薄膜制备发光薄膜制备,.,30,EL(彩色)一般制作流程,蓝膜刻蚀,绿膜蒸镀、抬离,.,31,EL(彩色)一般制作流程,二次刻蚀蓝膜,二次刻蚀蓝膜,.,32,EL(彩色)一般制作流程,蒸镀、抬离红膜,蒸镀、抬离红膜,.,33,.,34,FAHED简介,发光原理:,在薄膜结构的上下电极之间施加反向电压,电子从上电极通过传输层达到传输层和绝缘层之间的界面,当施加正向电压时,电子就会获得加速穿过传输层达到上电极,能量大的电子能克服势垒穿过上电极逸出到真空中形成发射电子,经过阳极电压加速,轰击荧光屏发光,.,35,FAHED产品结构,.,36,FAHED工艺流程(阴极制备),玻璃基板,制作底电极,溅射介质层Ta2O5,蒸发ZnS传输层,制作上电极,.
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