标准解读

《GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》是一项国家标准，专门针对使用原子力显微镜（AFM）技术来测定溅射薄膜材料表面粗糙度的过程提供了详细的指导。该标准适用于各种通过物理气相沉积方法制备的溅射薄膜样品，旨在为科研人员及工业界提供一个统一且准确的测试平台。

根据标准内容，首先明确了适用范围，即本标准所涵盖的具体领域和对象；接着对术语进行了定义，包括但不限于“表面粗糙度”、“原子力显微镜”等关键概念，确保了行业内对于这些专业词汇有一致的理解基础。此外，还详细介绍了实验所需仪器设备的基本要求，比如AFM的工作模式选择、探针规格等，并给出了具体的操作步骤说明，从样品准备到数据采集再到结果分析都有明确指示。

在样品制备方面，强调了需要保证待测表面清洁无污染，并且推荐了一定条件下进行预处理以提高测量准确性。关于数据处理部分，则是基于国际通用算法对获取的数据进行分析，计算出平均粗糙度值Ra以及其他相关参数。同时，也提到了如何评估测量不确定度以及重复性与再现性的控制方法。

整个过程强调了标准化操作的重要性，通过规范化的流程设置来减少人为因素造成的误差，从而能够更客观地反映溅射薄膜的真实表面特性。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2014-09-30 颁布
  • 2015-04-15 实施
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