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文档简介
.,1,Semiconductor:半导体MFG(Manufacture):制造部Wafer:晶片Boule:晶锭Ingot:晶棒Ascutwafer:毛片Particle:含尘量/微尘粒子Pod:晶盒Cassette:晶片夹CleanRoom:洁净室(Class100000以上)MO(MissOperation):误操作,ProcessEngineering:制程工程师,简称为P.E.简单称为制程。EquipmentEngineering:设备工程师,简称为E.E.简单称为设备。,Recipe:程式,PM(PreventionMaintenance):预防保养,Alarm:警讯,OI(OperationInstruction):规定的标准的正确操作机台的方法的文件,半导体专业词汇汇总,1,.,2,2,.,3,3,.,4,4,.,5,5,.,6,6,.,7,7,.,8,
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