超精密磨削PPT课件

.,1,第4章精密和超精密磨削,.,2,4.1精密和超精密磨削概述4.1.1精密和超精密磨料加工方法分类,.,3,4.1.2精密和超精密磨削,(1)精密砂轮磨削利用粒度为60#80#的砂轮，经过精细修整后进行磨削，其加工精度可达1um，表面粗糙度可达Ra0.025um，通常可在精密磨床上加工。(2)超精密砂轮磨削通常是指利用粒度为W40W5的金刚石、立方氮化硼等超硬微粉磨料砂轮，经过精细修整或在线修整在超精密磨床上进行磨削，可获得低于或等于0.1um的加工精度，表面粗糙度为Ra0.0250.008um的加工表面，实际上是超硬磨料微粉砂轮超精密磨削。由于所磨削的表面光亮如镜，光彩照人，又称为镜面磨削。(3)精密砂带磨削利用粒度为P280P600的微粉砂带可进行精密砂带磨削，其加工精度可达1um，表面粗糙度可达Ra0.025um。(4)超精密砂带磨削利用粒度为P600P1200的微粉砂带可进行超精密砂带磨削，其加工精度可达0.1um以上，表面粗糙度可达Ra0.0250.008um。通常应在超精密砂带磨床上进行加工。,.,4,精密和超精密磨削的精度和粗糙度,.,5,4.1.3精密和超精密磨削的砂轮特性（1）磨料,各种磨料主要性能,.,6,精密和超精密磨削的砂轮磨料,天然金刚石人造金刚石CBN普通磨料,.,7,（2）磨料粒度及选择,粒度表示粗磨粒粒度：每平方英寸筛网上孔的数量，60#，80#微粉磨粒粒度：磨粒最大直径尺寸m，W5,W3,W0.5选择普通磨料超硬磨料,.,8,（3）结合剂及其选择,结合剂的作用是将磨粒粘合在一起，形成一定形状，并有一定强度的磨具。常用结合剂：陶瓷结合剂V树脂结合剂B金属结合剂M结合剂选择影响砂轮结合强度、自锐性、化学稳定性和修整方法等。,.,9,（4）组织和浓度及其选择,普通磨具：磨粒的含量用组织表示，反映了磨粒、结合剂和气孔的比例关系。,以磨粒率表示的磨具组织及其应用范围根据国标CB248484,.,10,超硬磨料磨具浓度的选择,超硬磨具：磨粒的含量用浓度表示，是指磨料层中每cm3体积中所含磨料的重量。浓度越高，含量越多。超硬磨具的浓度选择时，应综合考虑磨料、粒度、结合剂、磨削方式、磨削质量要求、效率和加工成本。,超硬磨料磨具浓度与磨料含量的关系,.,11,（5）硬度及其选择,普通磨具的硬度：磨粒在外力的作用下，自磨具表面脱落的难易程度。用英文大写字母表示，如K、L、M、N等超硬磨具：超硬磨料耐磨性好、比较昂贵，硬度一般较高。在标志中，无硬度项。,磨具硬度等级名称及其代号,.,12,（6）磨具的强度及其选择,磨具的强度是指磨具在高速回转时，抵抗因离心力的作用而自身破碎的能力。为确保磨具工作时的安全，对各种结合剂的磨具都规定了最高工作线速度。影响磨具强度的因数很多，主要有结合剂、磨料的粒度、磨具的组织、硬度、形状、不平衡值和制作质量，以及磨具的使用条件等。,.,13,（7）磨具形状和尺寸及其选择,普通磨料固结磨具主要有砂轮、磨头、油石和沙瓦等，有关名称、代号、形状及基本用途等可查阅国家标准GB2484-84和GB4127-84。磨头的代号为M，油石的代号为W。对于砂轮，其系列及其代号有：平行系列（P）、筒形系列（N）、碟形系列（D）、专用系列（J）。,.,14,普通磨料磨具的标志,普通磨料固结磨具的标志按国标GB2484-84规定，其书写顺序为：磨具形状、尺寸、磨料、力度、组织、结合剂、最高工作线速度。,国标GB2484-84,国际标准ISO,.,15,超硬磨料磨具的标志,书写顺序为：形状、尺寸、磨料、粒度、结合剂和浓度等。平行砂轮标志示例如下：,.,16,4.1.4超硬磨料磨具的结构,超硬磨料砂轮一般由磨料层、过渡层和基体组成。,.,17,4.1.5涂附磨具,涂覆磨具是将磨料用粘接剂均匀地涂敷在纸、布、化纤或其他复合材料等基底上的磨具。,.,18,涂附磨具的结构及其制造,.,19,4.2普通砂轮精密磨削,精密磨削是指加工精度10.1m，表面粗糙度达到Ra0.20.025m的磨削。又称低粗糙度磨削。多应用于机床主轴、轴承、液压滑阀、滚动导轨、量规等的精密加工。,.,20,4.2.1精密磨削机理,主要靠砂轮的精细修整，使磨粒具有微刃性和等高性，磨削后，被加工表面留下大量极微细的磨削痕迹，残留高度极小，再加上无火化磨削阶段的作用，获得高精度和低粗糙度的表面。机理归纳为：微刃的微切削作用微刃的登高切削作用微刃的滑挤、摩擦和抛光作用,.,21,磨粒的微刃性与等高性,.,22,精密磨削时的砂轮修整,砂轮修整方法,.,23,单粒金刚石车削修整方法,.,24,无火花磨削,无火花磨削又称光磨，其次数的确定主要是使磨床相关部件的弹性变形得以充分恢复，磨粒的微刃性的微切削、摩擦、抛光等作用得以充分发挥。用粗粒度砂轮(60#-80#)精细修整后进行精密磨削时，光磨次数视加工表面粗糙度的要求不同可取510次单行程；用细粒度砂轮(240#-W7)精细修整后进行精密磨削时，光磨次数可取10-25次单行程。,1.粗粒度砂轮（PA60KV）2.细粒度砂轮（WA/GCW10KR）,.,25,4.2.2采用弹性砂轮精密磨削,PVA海绵抛光砂轮采用特殊合成树脂，加强其耐磨力和磨削力，由天特殊气孔的存在，可迅速排除磨屑，不发生填塞及发热现象，避免发热烧伤工件，适于长时间研磨工作。结合剂柔软具缓冲性，在研磨面上不留深疵纹。用以磨削不锈钢、铝、铜、铁、木材、宝石、大理石、玻璃制品及皮革等。海绵橡胶弹性砂轮柔软具有缓冲性，弹性极大、可弯曲，组织均匀、气孔特殊，具有极好的散热性。适用于使用中需要砂轮有一定的弯曲性、工件的异型面、磨削量不大但要抛光的工件。适宜研磨不锈钢、铝、铜和木材等。,.,26,4.2.3精密磨床,磨床从类别上分为M(外圆磨床、内圆磨床、平面磨床等)、2M(超精机、珩磨机、抛光机、砂带抛光及磨削机床、研磨机等)、3M(轴承、滚子、钢球、气门等磨削机床)3个分类。从机床特性代号有：高精度(G)、精密(M)、自动(Z)、半自动(B)、数控(K)、加工中心(H)等。精密磨床的特性代号应为MM，而MG应为高精度磨床，属于超精密磨床一类。对精密磨床要求高几何精度砂轮主轴回转精度、工件主轴回转精度、导轨平直度等，以保证工件的形状及位置精度要求。低速进给运动的稳定性减少振动,.,27,4.2.4精密磨削用量,砂轮速度工件速度工件纵向进给量横向进给量（吃刀量）进给次数光磨（无火化磨削）次数,.,28,4.3超硬磨料砂轮精密磨削,超硬磨料砂轮目前主要有金刚石砂轮和立方氮化硼(CBN)砂轮，并用来对难加工材料进行精密磨削。金刚石微粉砂轮磨削主要是基于微切削作用的微量去除来达到低表面粗糙度值，是一种采用固结微粉磨料进行精密加工的新方法。,.,29,4.3.1超硬砂轮精密磨削的机理,金刚石微粉砂轮在磨削时，其主要机理是微切削，磨粒具有很大的负前角和较大的切削刃钝圆半径，一般前角可达0=-45o，切削刃钝圆半径可达rn=100m，因此，在切削过程中有磨屑形成、耕犁(隆起)，滑擦(滑动和摩擦)等现象。,.,30,4.3.2超硬磨料砂轮磨削特点及应用范围,1)可用来加工各种高硬度、高脆性金属材料和非金属材料，如陶瓷、玻璃、半导体材料、宝石、石材、硬质合金、耐热合金钢，以及铜铝等有色金属及其合金等。2)磨削能力强、耐磨性好、耐用度高，易于控制加工尺寸及实现加工自动化。3)磨削力小，磨削温度低，加工表面质量好，无烧伤、裂纹和组织变化。用金刚石砂轮磨削硬质合金时，其磨削力只有绿色碳化硅砂轮磨削时的1415。4)磨削效率高，这是由于超硬磨料有锋利的刃口，耐磨性高，因此有较高切除率和磨削比。但超硬磨料砂轮有难度较大的修整问题。5)加工成本低，虽然金刚石砂轮和立方氮化硼砂轮比较昂贵，但其寿命长，加工效率高，工时少，综合成本低。,.,31,4.3.3超硬磨料砂轮的修整,砂轮的修整（dressing）分为整形（truing）和修锐（sharpening）：整形：使砂轮的磨削表面达到精确的几何形状的过程。修锐：通过去除结合剂增加磨粒突出高度，在磨料层中形成足够的容屑空间。普通磨料砂轮，其整形和修锐是同时进行，超硬磨料砂轮的修整则分为两个独立过程，即整形和修锐。,.,32,金刚石车削修整方法,用单点或聚晶金刚石笔，金刚石修整片等车削超硬磨料砂轮。精度和效率都比较高，但修整后的砂轮表面平滑，切削能力低。整形后利用高强纤维清扫器修锐。,.,33,磨削法,普通磨料砂轮或油石与超硬磨料砂轮对磨；广泛采用的修整方法；修整轮消耗较大。,其它磨削法研磨法：用铸铁平台手工研磨修整端面砂轮，效率低。磨削软钢法：利用磨削时的长切屑刮除结合剂。,.,34,杯型砂轮修整器结构图,.,35,游离磨料挤轧修锐法,用碳化硅、刚玉、硬质合金或钢铁制成修整轮，以一定的压力与超硬磨料砂轮进行无速差自由对滚，加入碳化硅、刚玉等磨粒，依靠游离磨料的滚轧作用，使磨粒突出结合剂表面。,.,36,气压喷砂法,将碳化硅、刚玉磨粒从高速喷嘴喷射到转动的砂轮表面上，去除结合剂，使磨粒突出。一般喷嘴安装角510，喷射时间30s。主要用于修锐。,.,37,液压喷砂法,用高压泵打出流量20L/min、压力150Pa的冷却液进入喷嘴的漩涡室时形成低压，从边孔中吸入碳化硅或刚玉磨粒及空气形成混合液，以高速从喷嘴喷射到砂轮上。一般喷嘴安装角10修锐的砂轮精度高、锋利，修锐时间短。,.,38,电解修锐法,利用电化学腐蚀作用蚀除金属结合剂。多用于金属结合剂砂轮，非金属结合剂砂轮无效。不能用于整形。机床绝缘、腐蚀，电刷磨损、接触不良而打火。,.,39,双电极电解修锐法,电极接电可靠，机床、砂轮均不带电，电源简化为交流电源。,.,40,电火花修整法,电火花放电原理；适用于各种金属结合剂砂轮，也可用于加入石墨的树脂、陶瓷结合剂砂轮；可用线切割或电火花成形方式修整，配置数控系统可进行成形修整；既可整形，又可修锐；效率高，质量与磨削法相当。,.,41,超声波振动修整法,用受激振动的簧片或超声波振动头驱动的幅板作为修整器，在砂轮与修整器之间放入混油磨料，通过游离磨料撞击砂轮的结合剂使常用磨粒突出结合剂。主要用于修锐，效果较好。,.,42,激光修整法,可修任何结合剂的砂轮；既可整形，也可修锐；无修整力和机械冲击引起的金刚石损伤；无环境污染；无需昂贵的金刚石工具；容易实现自动控制。,.,43,4.3.4砂轮的平衡,砂轮自动平衡技术机电式动平衡技术液体注入式动平衡技术液、汽式动平衡技术,.,44,机电式平衡系统,由两块内装电子驱动元件并可在轴上相对转动的平衡重块3，紧固法兰2和信号无线传输单元1组成。整个平衡系统构成一个完整的部件，装在磨床主轴4内。,.,45,装有机电式动平衡系统的砂轮主轴,主轴的动不平衡振幅值由振动传感器测出，动不平衡的相位则通过装在转子内的电子元件测量。相应的电子控制信号驱动两平衡块1作相对转动，从而达到平衡的目的。这种平衡装置的精度很高，平衡后的主轴残余振动幅值可控制在0.1lm。,.,46,液体注入式平衡技术,1.进水槽2.砂轮3.储水槽4.喷水嘴5.电磁阀液体注入平衡砂轮原理示意图,.,47,电液平衡系统,.,48,液、汽式动平衡技术,Theon-boardmicroprocessordirectspowertotheinsertheatersoftheheavychamber.Thispowervaporizeshigh-densityfluid,forcingittotheoppositecoolerchamberwhereitcondensesintoliquid,correctingtheunbalance.,.,49,4.3.5超硬砂轮精密磨削的磨床,1)磨床应有高精度，砂轮主轴回转精度中，径向圆跳动应0.001mm，轴向圆跳动应0.005mm，主轴轴承多用动压轴承或动静压组合轴承，也可用静压轴承，以保证精密磨削所要求的加工精度。2)磨床必须要有足够的刚度，要求稳定性高，振动小。机床刚度的大小会影响磨削加工的稳定性、抗振性，从而影响超硬磨料砂轮的耐用度和寿命，同时也影响磨削加工质量，一般要求比普通磨床刚度提高50%左右。3)要求有良好的进给系统，精度高，速度均匀稳定，速度范围广，高速保证生产率要求，低速保证磨削尺寸、形状精度和表面粗糙度要求。4)应考虑超硬磨料砂轮的修整问题，超硬磨料砂轮修整会涉及一些特殊装置、工作液、修整参数的需求等，应使机床有改装的可能性。5)机床各运动部件如主轴回转部分、进给运动导轨部分等都应有可靠的密封，以防止超硬磨料进入引起严重磨损。6)应有完善的磨削工作液处理系统，以保证磨削工作液的洁净和作用，以免影响加工表面粗糙度，防止磨削工作液不洁净对机床运动部件造成磨损。7)超硬磨料砂轮磨削时要求振动小，机床应置于防振地基上，采取相应的防振、隔振措施，如砂轮应精细修整、平衡，机床与地面接触处加防振垫等。,.,50,4.4超精密磨削,超精密磨削是近年来发展起来的最高加工精度、最低表面粗糙度的砂轮磨削方法。一般是指加工精度达到或高于0.1m，表面粗糙度低于Ra0.025m，是一种亚微米级、纳米级的砂轮磨削加工方法。镜面磨削一般是指加工表面粗糙度达到Ra0.02-0.01m，表面光泽如镜的磨削方法，它在加工精度的含义上不够明确，比较强调了表面粗糙度的要求。,.,51,4.4.1超精密磨削的产生,金刚石刀具超精密切削技术比较成熟，目前主要是用于加工铜、铝及其合金等软金属，但不宜切削钢、铁，淬火件和陶瓷、玻璃、半导体等硬脆材料。对硬脆材料，超精密磨削是一种重要的有前途的超精密加工方法，特别是超硬磨料微粉砂轮超精密磨削更显示了它的生命力。,.,52,4.4.2超精密磨削的机理,超微量切除超精密磨削是一种极薄切削，切屑厚度极小，磨削深度可能小于晶粒的大小，磨削就在晶粒内进行，因此磨削力一定要超过晶体内部非常大的原子、分子结合力，从而磨粒上所承受的剪切应力就急速地增加，并变得非常大，可能接近被磨材料的剪切强度极限。同时，磨粒切削刃处受到高温和高压作用，要求磨粒材料有很高的高温强度和高温硬度。对于普通磨料，在这种高温高压和高剪切应力的作用下，磨粒将会很快磨损或崩裂，以随机方式不断形成新切削刃，虽然使连续磨损成为可能，但得不到高精度低表面粗糙度的磨削质量。因此，在超精密磨削时，一般多采用人造金刚石、立方氮化硼等超硬磨料砂轮。,.,53,超精密磨削的机理,超精密磨削加工过程磨粒切削刃的切入深度是从零开始逐渐增加，到达最大值再逐渐减少，最后到零。磨粒磨削时在与工件的接触过程中，开始是弹性区，继而塑性区、切削区、塑性区最后是弹性区，与切屑形成形状相符合。超精密磨削时有微切削作用、塑性流动和弹性破坏作用，同时还有滑擦作用。当刀刃锋利，有一定磨削深度时，微切削作用较强；如果刀刃不够锋利，或磨削深度太小，磨粒切削刃不能切入工件，则产生塑性流动、弹性破坏和滑擦。,平面磨削时的切屑形状,单颗粒磨削的切入模型,.,54,4.4.3典型的超精密磨削技术,金属基超硬磨料砂轮在线电解修整(Electrolyticin-processDressing，简称ELID)细粒度含石墨弹性结合剂砂轮镜面磨削硬脆材料延性域磨削（Ductile-RegimeGrinding）,.,55,4.4.3.1在线电解修锐(Electrolyticin-processDressing，ELID)镜面磨削技术,日本理化学研究所的大森整、东京大学的中川威雄开发的铸铁纤维、铸铁等金属结合剂超硬磨料砂轮ELID镜面磨削技术,成功地解决了超细金刚石、CBN磨料(粒径为几微米至5nm)制成的金属结合剂砂轮修锐的难题。获得表面粗糙度为纳米级甚至为亚纳米级的镜面，面型精度达到/4（=632.8nm）；实现了硅片的延性域磨削，亚表面损伤层深度0.4m，只有传统研磨硅片损伤层深度的1/31/10。,.,56,ELID磨削的原理,阳极砂轮表面的铁离子电离,磨料凸出；在砂轮表面形成一层有绝缘作用的氧化膜,该膜的厚度对导电率有直接影响,可以减缓和阻止进一步的电解,使电解速度降低,以免使砂轮损耗过快。当砂轮表面的磨料磨损后,出刃高度降低,由于工件材料的刮擦作用,使氧化膜变薄,导电性恢复,金属基体电解过程加快,使磨料出刃高度增加,氧化膜变厚。由于这种非线性电解作用的结果，可以使修整过程对磨削过程有一定的自适应能力，砂轮表面金属基体的去除速度与磨料消耗的速度达到动态的平衡,.,57,在平面磨床上进行ELID磨削的装置,.,58,ELID磨削的特点,砂轮表面结合剂基体不断被电解,新的磨料不断地露出，以保证金属基砂轮在磨削过程中的锐利性，不会由于表层磨料的磨损和脱落而失去切削能力造成切屑堵塞现象，非常有利于使用微细粒度砂轮和提高磨削表面质量。而砂轮也不会过快消耗，能充分发挥超硬磨料的磨削能力,对硬脆材料实现高精度、高效率的超精密镜面磨削。通过调整电解修整电源的参数,可以适应不同的磨削条件。这种修整方法可以在磨削过程中在线进行,节省了修整砂轮的时间,使磨削过程可以高效、连续地进行。,.,59,ELID磨削的表面粗糙度,日本理化学研究所对部分材料进行ELID磨削的表面粗糙度。,.,60,ELID磨削的磨除率,上表列出了日本用140#、磨料浓度为100%、150mm的CIFB金刚石平砂轮对几种材料的磨除率,此时法向磨削力只是普通磨削的1/21/3,而且磨削力稳定,充分显示了其高效率磨削的特点。,.,61,ELID磨削的硬质合金试件,硬质合金外圆加工,硬质合金平面加工,.,62,ELID磨削的陶瓷试件,氮化硅陶瓷内环加工,氮化硅陶瓷外圆加工,.,63,ELID磨削的应用,ELID磨削方法除适用于金刚石砂轮外，也适用于氮化硼砂轮，应用范围几乎可以覆盖所有的工件材料。它最适合于加工平面，磨削后的工件表面粗糙度可达Ra1nm的水平，即使在可见光范围内，这样的表面确实可以作为镜面来使用。ELID也被用于加工其他几何形状如球面、柱面和环面等。按镜面的不同要求，可用于部分取代抛光或把抛光的时间降到最低的水平。ELID磨削的生产率远远超过常规的抛光加工，故在许多应用场合取代了抛光工序。,.,64,4.4.3.2细粒度含石墨弹性结合剂砂轮镜面磨削,砂轮：细粒度600#800#，或1014；含石墨填充剂；弹性结合剂，如树脂结合剂，PVA（聚乙烯醇）结合剂。砂轮需要精细修整，使砂轮工作面形成等高性好的切削微刃。经过充分光磨。,.,65,镜面磨削机理,与陶瓷砂轮相比，弹性好，在磨削力的作用下，微刃有伸缩的余地，使微刃等高性更好，也可减少微刃破碎的机会。微刃磨损后的变得平坦和半钝化，在润滑液的作用下产生摩擦抛光作用。摩擦抛光产生的磨削热使凸出点软化，被磨钝的微刃碾平。石墨具有好的润滑性能。,.,66,磨削结果,.,67,4.4.3.3硬脆材料延性域磨削（Ductile-RegimeGrinding）,塑性磨削它主要是针对脆性材料而言，其命名来源出自该种工艺的切屑形成机理，即磨削脆性材料时，切屑形成与塑性材料相似，切屑通过剪切的形式被磨粒从基体上切除下来。所以这种磨削方式有时也被称为剪切磨削（ShereModeGrindins）。由此磨削后的表面没有微裂级形成，也没有脆必剥落时的元规则的凹凸不平，表面呈有规则的纹理。,.,68,塑性磨削机理,塑性磨削的机理至今不十分清楚在切屑形成由脆断向逆性剪切转变为塑断，这一切削深度被称为临界切削深度，它与工件材料特性和磨粒的几何形状有关。一般来说，临界切削深度在100m以下，因而这种磨削方法也被称为纳米磨削（Nanogrinding）。对形成塑性磨削的另一种观点认为切削深度不是唯一的因素，只有磨削温度才是切屑由脆性向塑性转变的关键。从理论上讲，当磨粒与工件的接触点的温度高到一定程度时，工件材料的局部物理特性会发生变化，导致了切屑形成机理的变化。,.,69,单晶硅片的延性域磨削机理,减小或抑制表面/亚表面裂纹延性域磨削实现单晶硅等脆性材料延性域磨削的条件,单个磨粒最大切削深度agmax小于脆性材料的临界切削深度agc，即agmaxagcagc=0/(tan2)1/2(KIC/H)2式中0系数，取值为1350020000压头几何因子，维氏压头，=2H脆性材料的硬度KIC脆性材料的断裂韧性压头与磨粒锥顶半角,问题：如何使单颗粒磨削划痕试验更接近于实际？如何判别脆性域塑性域转变？如何确定临界切削深度？,普通的单颗磨粒磨削试验方法,脆性材料金刚石压痕试验,.,70,单颗金刚石磨粒磨削单晶硅的新实验方法,.,71,单颗磨粒磨痕的扫描电镜SEM照片,脆性域,延性域,磨粒切削深度减小,.,72,单颗金刚石磨粒磨削单晶硅的实验结果,单颗金刚石磨粒磨削划痕的微观形貌脆性延性转变,脆性延性域转变时的磨削划痕的三维形貌,脆性域单颗粒磨削划痕的三维形貌,延性域磨削划痕的三维形貌,单颗粒磨削划痕的显微镜照片,.,73,单颗金刚石磨粒磨削单晶硅的实验结果,单颗金刚石磨粒磨削单晶硅的划痕截面和亚表面层的微观分析,亚表面裂纹与磨痕深度变化关系Nomarski显微照片(6角度抛光),脆性域塑性域转变的判别：两方面：表面微观形貌亚表面裂纹特征,.,74,塑性磨削对磨床的要求,塑性磨削要靠特殊磨床来实现。这种特殊磨床必须满足如下要求：l）极高的定位精度和运动精度。以免因磨粒的切削深度超过100m时，导致转变为脆性磨削。2）极高的刚性。因为塑性磨削的切削力远超过脆性磨削的水平，机床刚性太低，会因切削力引起的变形而破坏塑性切屑形成的条件。,.,75,4.4.4超精密磨削的特点,超精密磨削不是一种单纯的加工方法，是一个系统工程。,.,76,4.4.5超精密磨削的应用,1)磨削钢铁及其合金等金属材料，如耐热钢、钛合金、不锈钢等合金钢，特别是经过淬火等处理的淬硬钢，也可用于磨削铜、铝及其合金等有色金属。2)可用于磨削非金属的硬脆材料，如陶瓷、玻璃、石英、半导体、石材等，这些材料都比较难加工，超硬磨料砂轮超精密磨削是其主要的超精密加工方法。3)磨削作为一种典型的传统加工方法，有外圆磨削、内圆磨削、平面磨削、无心磨削、坐标磨削(行星磨削)、成形磨削等多种形式，用途广泛，超精密磨削也是如此。4)超精密磨削和超精密游离磨料加工是相辅相成的。超精密磨削具有精度、表面质量、效率等多方面的优势，可替代部分超精密游离磨料加工。,.,77,4.4.6超精密磨削的磨床4.4.6.1超精密磨床的特点,(1)高精度目前国内外各种超精密磨床的磨削精度和表面粗糙度可达到的水