ASM设备中几种常见马达介绍ppt课件

.,1,ASM设备中几种常见马达介绍,陈廷劲2014.10.06,.,2,前言：对马达的认识,马达的称呼：马达，电机，Motor马达的作用：运动的执行机构，把电能转化为机械能。马达的分类：？,.,3,目录,一）简要说明；二）步进马达；三）一般伺服马达；四）线性伺服马达；五）DC马达；六）AD8912机台马达概况。,.,4,一.简要说明,ASM设备中常见马达分类：COBASM主要设备：DB:AD898,AD8912,ISLinDA,COE139,IBE139;WB:Eagle60,EagleXtreme,LBE139,LTE139;HA:AD868,868LA2,868LA3。,.,5,二.步进马达,2.1步进马达(StepperMotor)机台上的应用:SanyoDenkiSteppingMotor是ASM设备中常用的步进马达,AD8912SteppingMotorsOutputElevatorY，ZOutputConveyInputElevatorY，ZInputConveyWaferTableThetaTrackWidthDownSetBondAnvilDispenseAnvilDispenseWindowClampBondWindowClamp,步进马达作一般电机用，精度一般,.,6,二.步进马达,2.2步进马达(StepperMotor)精度控制：,ElevatorInputKickerMotor,WorkholderDownSetMotor,.,7,三.一般伺服马达,3.1一般伺服马达(ServoMotor)在设备中应用：TamagawaDenkiServoMotor是ASM设备中常用的一般伺服马达,AD8912BondheadY,ZEpoxyWriterX,Y,ZEjectorPinAD868LA,LA2BondheadX,ZPickheadX,Z,一般伺服马达：1，精度非常高；2，马达自带Encoder。,.,8,三.一般伺服马达,3.2一般伺服马达(ServoMotor)精度控制：一般伺服马达自带Encoder，与马达形成闭环系统，精度可达微米级。,.,9,四.线性伺服马达,4.1线性伺服马达(LineMotor)在设备中的应用：线性伺服马达在ASM设备中应用广泛。,.,10,四.线性伺服马达,4.2线性伺服马达(LineMotor)基本结构：线性伺服马达是一个组合体，由几大块组成。,.,11,四.线性伺服马达,4.3线性伺服马达(LineMotor)精度：以下DBAD898线性伺服马达一些基本情况。,.,12,五.DC马达,5.1TsukasaDC马达在ASM设备中的应用很多：,ElevatorDAWBAD868,LA2,LA3IBE139LBE139,COE139部分传动马达IBE139部分传动马达LBE139部分传动马达,TsukasaDC马达,COE139,IBE139,LBE139,.,13,五.DC马达,5.2DC马达性能特点：,DC马达特点A,效率高，便于控制，在ASMHipec系统中，与Solenoid归为一类；B,一般由Sensor或继电器控制其位移，也有的连接Encoder进行实行信息反馈。,COE139中的DC马达，标注DC/SOL,AD8