半导体存储器_课程设计讲解.ppt

半导体存储器技术SemiconductorMemoryTechnologies,潘立阳清华大学微纳电子学系,第9讲课程设计：工艺及器件模拟,2,内容：非挥发性存储器：快闪存储器,5半导体存储器集成工艺5.1CMOS集成工艺技术5.2DRAM存储器集成工艺5.3Flash存储器集成工艺5.4器件与工艺的仿真设计参考文献：SILVACO用户手册,3,SilvacoTutorial,5.4.1Introduction5.4.2GettingStarted5.4.3Athena5.4.4Atlas5.4.5Tonyplot,4,Introduction,仿真器:Athena：工艺仿真器仿真工艺过程，输出器件物理结构Atlas：器件仿真器根据物理结构，在特定偏置下仿真器件电气性质交互式工具:Deckbuild：交互式运行环境Tonyplot：交互式图形环境,来源:SUPREM(StanfordUniversityPRocessEngineeringModule),1977,5,SilvacoTutorial,5.4.1Introduction5.4.2GettingStarted5.4.3Athena5.4.4Atlas5.4.5Tonyplot,6,GettingStarted,登陆至unix工作站开启一个终端点击右键工具终端,7,GettingStarted,建立工作文件夹，并进入工作文件夹%mkdirexample%cdexample,8,GettingStarted,进入交互式运行环境deckbuild%deckbuildc.gummelisfasterforlowcurrentcases.d.可组合使用，提高仿真速度Allstructure/parameterspecificationmustbebeforethisstatement;Allsolutionspecificationmustbeafterit.,37,Atlas-基本语句(5),Slove语句：基本语法：sloveinit:前面没有任何solution时，必须有此解初始状态的语句。相当于在所有电极上加上0电位slovevgate=0.1:dc分析，在gate电极上加0.1v电压slovevgate=0vstep=0.2vfinal=5name=gate:dc扫描，在gate电极上加扫描电压，初始值为0，终值为5，步长为0.2Note：电极名对大小写敏感应力应逐渐递增，初始时步长应短一些，如此较易收敛,38,Atlas-基本语句(6),Log语句：基本语法：logoutfile=a.outfile:指定log输出文件的文件名Save语句：基本语法：Saveoutfile=a.outfile:指定solution输出文件的文件名,39,SourcesofErrorinDeviceSimulation,InaccuratedopingprofileslargesterrorsourceforsmallgeometrydevicesInsufficientphysicsUnknownorinaccuratematerialparametersInaccuratemodelparametersRelianceonempiricallyfittedmodelsMeshinducederrorsExternaleffects,40,Atlas-例子1NMOSVT,goatlas#devicestructuredefinitionmeshinfile=0d18.str#materialmodelsdefinitionmodelscvtsrhprintcontactname=gaten.polyinterfaceqf=3e10#numericalmethoddefinitionmethodgummelnewton#solvevtsolveinitsolvevdrain=0.1logoutf=0d18_vt.logsolvevgate=0vstep=0.2vfinal=5name=gatesaveoutf=0d18_vt.str,41,Atlas-例子2CHE编程时的时间扫描,#CHEprogram#solveinitlogoutf=che_program.logsolvevgate=0.1solvevgate=0.2solvevgate=1solvevgate=2solvevgate=4solvevgate=6solvevdrain=0.1solvevdrain=0.2solvevdrain=1solvevdrain=2solvevdrain=4solvetstep=1e-9tfinal=5e-5,42,SilvacoTutorial,5.4.1Introduction5.4.2GettingStarted5.4.3Athena5.4.4Atlas5.4.5Tonyplot,43,Tonyplot,选中需要看的结构的文件名Toolsplotplotstructure可打开tonyplot窗口,在器件区点击右键选中Display出现Display窗口,44,Tonyplot,网格,边界,材料,分布,电极,结,DefineSelected可显示选中项的细节,45,Tonyplot,分布显示的变量,显示的材料,分布显示的颜色一般选rainbow30,46,Tonyplot,Toolscutlines能够打开cutline窗口显示某条切线的浓度分布,47,总结,本讲主要对Silvaco器件及工艺模拟工具进行了介绍。主要知识点：