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文档简介

2-8小尺寸测量,本节主要内容,一、光衍射法测量金属丝直径二、激光能量法测量光纤直径三、磁头与磁盘间隙的测量方法四、小球径的测量：原理、特点、精度。,一、光衍射法测量金属丝直径,细丝直径d为：d=kl/Sk细丝直径的极限测量误差dlim为：,二、激光能量法测量光纤直径,光纤本身就相当于曲率很大的柱面透镜。为提高测量的灵敏度，将透过分光镜1后的全部能量充分地用于光纤的光束扩展，透镜2最好将激光束会聚成小于光纤直径的光点照到光纤上，因此它的焦距很短，只有5mm左右，可根据被测光纤的直径大小选取。这种方法的测量精度可达1%左右。,如图示2-61所示。,三、磁头与磁盘间隙的测量方法,磁盘与磁头之间间隙的一般在2-6m之间，比较先进的计算机,头盘间隙已达小于1m的数量级。测量原理如图2-62所示。,此法的测量精度较高，取决于波长的检定精度和的读数瞄准精度。实践证明，其极限测量误差0.2um。,采用两种波长（，）的光源，测出两组干涉条纹的尾数差m，便可按下式计算出间隙值h。,四、小球径的测量,特点：非接触测量，精度较高，原理误差为/2。原理：如图2-63所示。利用测量表面粗糙度的干涉显微镜，将被测球径与量块直接比较，可测高精度的球径d。,N、-两次测量中，零级干涉带在条纹垂直方向上以条纹的整数和小数表示的偏离量；方法要点：（1）零级干涉带位置的确定；（2）确定上述公式的正负号。,1.用干涉显微镜测球径,2小内球面半径的测量原理：小内球面（如宝石轴承内半球面）的曲率半径可应用常用的6JA型干涉显微镜测量。在测微目镜中测出第两个（任选）干涉环的半径，则内半球和半径可由下式确定：,式中：测量用光波波长。这种方法的相对测量误差不大于0.2-0.3%。测量时，应注意干涉条纹的稳定性（即干涉环始终位于光
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