LEDA-P6800 维护保养手册

P6800 MAINTAIN MANUAL 目錄目錄 目錄目錄 .2 圖目錄圖目錄 .3 表目錄表目錄 .4 1.導論導論.5 2.設備說明設備說明.5 2.1 設備外觀說明 .6 2.2 內部機構說明 .7 3. 設備安裝設備安裝 .9 3.1 機台調整 .9 3.1.1 機台水平調整 .9 3.1.2 CHUCK水平調整.10 3.1.3XY 直交調整 .11 4.EDGE SENSOR T12 使用說明使用說明.12 4.1 各部名稱.12 4.2 使用說明.12 4.3 EDGE SENSOR 安裝.13 4.4 使用 NFJ 調針模組調整針壓 .15 5. 定期保養維護定期保養維護 .16 5.1 P6800 定期保養維護時程表.16 5.2 保養維護說明 .17 5.2.1 清潔散熱風扇 .17 5.2.2 螺桿滑軌清潔及上油 .18 5.2.3 檢查真空壓力 .20 6. 相關電路圖相關電路圖 .21 圖目錄圖目錄 圖 2.1 設備全機外觀.6 圖 2.2 設備外觀說明.7 圖 2.3 機台內部機構.8 圖 2.4 Platform 模組.9 圖 3.1 水平儀.10 圖 3.2 機台水平調整說明.10 圖 3.3 千分錶.11 圖 3.4 Chuck 水平調整說明 .11 圖 3.5 Chuck 水平調整螺絲處 .12 圖 3.6 XY 直交調整.12 圖 4.1 Edge Sensor 細部名稱說明.13 圖 4.2 Edge Sensor 細部名稱說明.14 圖 4.3 NFJ 調針模組.15 圖 4.4 QLMZ 快拆模組 .15 圖 4.5 NFJ 調針模組.16 圖 4.6 NFJ 調針過程.16 圖 4.7 NFJ 調針完成圖.17 圖 5.1 清潔散熱風扇說明.19 圖 5.2 XY 軸螺桿滑軌保養說明.20 圖 5.3 Z 軸螺桿保養說明 .21 圖 5.4 檢查真空壓力值.21 圖 6.2 Main Power.23 圖 6.3 Prober X&Y.24 圖 6.4 Prober Z&T.25 圖 6.5 Prober Sens.26 圖 6.6 Keypad Boar.27 圖 6.7 S&INK Boa.28 圖 6.8 IF Board .29 圖 6.9 PC Module .30 表目錄表目錄 表 2.1.7 表 2.2.8 表 2.3.9 表 5.1 定期保養維護時程表.17 1. 導論導論 此手冊詳細說明 P6800 機台設備其保養維護的建議時程及方法，內容主要包含 設備說明、設備安裝、定期保養維護、相關電路圖等四大部分。其中，在設備 說明部份，將介紹設備外觀及內部各機構模組名稱及功能說明。在設備安裝部 分，將介紹安裝機台方法，包括機台水平調整、Chuck 水平調整、XY 直交調整、 Probe Card 水平調整等。最後定期保養維護部分，則列出定期保養維護時程表， 請客戶端依照此表確實維護保養。此外也一併說明保養方式及所需注意事項。 最後列出本設備相關電路圖予以參考。 2. 設備說明設備說明 此設備應用於晶粒自動化針測，如圖 2.1 所示。在晶粒的製程中，當晶片電路 製作完成後，需黏附於藍膜上並經過切割、崩裂、擴張，再進行測試。此設備 即提供藍膜上所有分離晶粒進行影像定位儲存、自動針測，搭配晶粒光電特性 測試機進行測試。此系統外觀主要包含點測、控制面板區域、開關控制、控制 主機、手動上片區等。 圖 2.1 設備全機外觀 2.1 設備外觀說明設備外觀說明 此機台設備外觀主要包含訊號燈、LCD 螢幕、手動上片區、鍵盤操作區、顯微 鏡外罩門板、控制面板、電源開關、測試機等區域，相關詳細位置及細部名稱 如圖 2.2 及表 2.1 所示。 圖 2.2 設備外觀說明 表 2.1 項次項次名稱名稱 001 訊號燈 002 LCD 螢幕 003 手動上片區 004 鍵盤操作處 005 顯微鏡外罩 006 控制面板 007 電源開關 008 測試機 001 002 005 003 006 004007 008 2.2 內部機構內部機構說明說明 此機台內部機構主要包含 XT 模組、ZT 模組、Platform 模組等三部份。其中 ZT 模組主要功能為乘載點測晶片，XY 模組則為移動 ZT 使其到達所需位置。而 Platform 模組又可細分為顯微鏡模組、CCD 視覺模組、PCH 模組、探針平台組 等，相關詳細位置及細部名稱如圖 2.3、2.4 及表 2.2、2.3 所示。 圖 2.3 機台內部機構 表 2.2 項次項次名稱名稱 001 ZT 模組 002 Platform 模組(包含探針 平台組、顯微鏡模組、 PCH 模組、視覺模組等) 003 XY 模組 001 003 002 圖 2.4 Platform 模組 表 2.3 項次項次名稱名稱 001 顯微鏡模組 002 視覺模組 003 探針平台模組 004 PCH 模組 001 002 003 004 3. 設備安裝設備安裝 本章將介紹設備安裝及調整方式。原則上，設備出廠時，本公司人員皆會將機 台安裝定位並調整至正常運作狀態。 3.1 機台調整機台調整 此部份介紹機台裝機時所須調整細項，包含機台水平調整、Chuck 水平調整、 XY 直交調整、Probe Card 水平調整。 3.1.1 機台水平調整機台水平調整 當設備出廠至客戶端後，機台欲定位時，必須先進行機台水平調整。首先準備 水平儀(圖 3.1)，將其放置 Platform 上平面處，如圖 3.2 所示。以此水平儀為基 準，使用活動鈑手調整骨架下方四根支撐地腳至機台完全水平，此部分建議值 為正負 0.1 度以內。 圖 3.1 水平儀 圖 3.2 機台水平調整說明 將水平儀置於此處 調整支撐地腳 3.1.2 Chuck 水平調整水平調整 機台水平調整完成後，接著進行 Chuck 水平調整，Chuck 水平為機台調整中相 當重要的一個調整程序。我們使用千分錶(圖 3.3)為調整器具，將其磁性座吸附 於 Platform 上平面處，如圖 3.4 所示，以此為基準對 Chuck 進行水平調整， 圖 3.3 千分錶 圖 3.4 Chuck 水平調整說明 將千分錶置於此處 千分錶磁性座 千分錶錶頭 千分錶探針 圖 3.5 Chuck 水平調整螺絲處 3.1.3 XY 直交調整直交調整 Chuck 水平調整完成後，接著進行 XY 直交調整，此部份建議由本公司專業客 服人員進行。調整步驟如下: 3. 使用調整晶片，以 X 軸為基準，調整晶片 THETA 角度對準 X 軸，檢查 Y 軸有無偏差，若偏差超過 8um 則進行調整。 4. 鬆開 X 軸滑塊螺絲共 16 顆進行調整，如圖 3.6 所示。 5. 調整後，16 顆螺絲需平均施力鎖固，並再次確認直交。 圖 3.6 XY 直交調整 4. Edge Sensor T12 使用說明使用說明 此部份介紹 Edge Sensor T12 使用方式，內容包含 sensor 各部位詳細名稱介紹、 使用、安裝及調整方式。 4.1 各部名稱各部名稱 圖 4.1 Edge Sensor 細部名稱說明 4.2 使用說明使用說明 使用前須先將 T12 安裝至夾針座上，詳細上針步驟如下: 1. 將 T12 自盒內取出或在拿取的時候，請以 M3 螺孔附近之鋁塊為施力點並 避免碰撞到 T12 之前段。 2. 上針的時候輕捏住 T12 之中間部分，如圖 4.2 所示。 3. 將兩顆一字螺絲鬆開但不脫落，把針小心的由下往上放進溝槽內針前端突出 約 56mm，並將螺絲鎖上但不可太過用力避免變形。 鎖固旋鈕調整旋鈕M3 螺孔針訊號線 夾針座針壓彈簧ES 感應線 圖 4.2 Edge Sensor 細部名稱說明 4.3 Edge Sensor 安裝安裝 上針步驟完成後，接著將 Edge Sensor 安裝至機台上，詳細安裝步驟如下: 1.裝上機台前請先確認 Platform 與 Chuck 高度避免撞針，亦可將 Chuck 移開 方便作業。 2.使用內六角 M3 螺絲將 T12 固定在針座上，並請固定住針訊號線與 Edge sensor 線避免 Chuck 在移動時碰到而影響針的接觸。 3.鬆開鎖固旋鈕，使用調整旋鈕調整針壓彈簧壓力，使針痕在 2530um 左右 為最佳工作狀態，調整完畢將鎖固旋鈕鎖緊。 4.每星期檢查一次針壓彈簧壓力，若不足則再進行上一步驟調整。 5.若有選購 NFJ 調針模組(如圖 4.3)與 QLMZ 快拆模組(如圖 4.4)，則直接調 整針壓為 8 12 g，針訊號線與 Tester 測試線在連接時建議用焊接的方式並 套上熱縮套管。 圖 4.3 NFJ 調針模組 圖 4.4 QLMZ 快拆模組 4.4 使用使用 NFJ 調針模組調整針壓調針模組調整針壓 如有選購 NFJ 調針模組(如圖 4.3)與 QLMZ 快拆模組(如圖 4.4)時，可依照下述 步驟調整針壓。 1.打開 NFJ 模組的 E/S 訊號電源與微電子秤電源，此時 E/S 訊號燈亮起，如 圖 4.5 所示。 2.放上快拆模組與 T12，並注意針尖不碰觸秤面，再將快拆模組鎖緊並接上 ES 感應線後，ES 訊號燈此時為熄滅狀態，如圖 4.6 所示。 3.調整快拆模組 Z 軸高度，使針碰觸秤面，觀察 ES 訊號燈與微電子秤克數， 利用 T12 調整旋鈕調整針壓，使針壓在 816g 時，ES 訊號燈亮起，如圖 4.7 所示，即完成調整。 圖 4.5 NFJ 調針模組 圖 4.6 NFJ 調針過程 圖 4.7 NFJ 調針完成圖 5. 定期保養維護定期保養維護 此章節介紹 5.1 P6800 定期保養維護時程表定期保養維護時程表 表 5.1 列出此機台需定期保養維護之時程及細節項目，請操作人員確實依照此 表格內容維護保養。 表 5.1 定期保養維護時程表 時程時程作法作法 項次項次 每日每週每月每季每半年酒精真空潤滑油工具 A. 外觀零件 1. 清潔外罩 無塵紙巾 2. 清潔散熱風扇 軟毛刷 3. 檢查外部電子零件是否正常 4. 檢查外部螺絲是否鬆脫 B. ZT 模組 1. 清潔外部零件 軟毛刷 2. 清潔感測器 3. 清潔潤滑螺桿圓軌 4. 檢查真空管路 5. 檢查電子接頭是否鬆脫 6. 檢查外部螺絲是否鬆脫 C. XY 模組 1. 清潔外部零件 軟毛刷 2. 清潔感測器 3. 清潔潤滑螺桿圓軌 4. 檢查外部螺絲是否鬆脫 D. Platform 平台 1. 清潔外部零件 軟毛刷 2. 清潔感測器 3. 清潔潤滑螺桿圓軌 4. 檢查電子接頭是否鬆脫 5. 清潔 CCD 鏡頭 拭鏡紙 吹球 6. 清潔顯微鏡 拭鏡紙 吹球 7. 檢查外部螺絲是否鬆脫 E. 其他項目 1. 清潔鍵盤 軟毛刷 2. 清潔 LCD 銀幕 3. 檢查真空壓力是否過低 5.2 保養維護說明保養維護說明 以下將分別說明機台保養維護方式，當客戶端進行機台保養時，請依照表 5.1 定期保養維護時程表確實進行。在進行保養前，請先切斷機台總電源，避免發 生工安事故。 5.2.1 清潔散熱風扇清潔散熱風扇 此機台背面裝設有數個散熱風扇以供機台散熱之用，建議客戶端進行保養時， 使用真空及軟毛刷予以清潔，以確保散熱功能正常，如圖 5.1 所示。 圖 5.1 清潔散熱風扇說明 5.2.2 螺桿滑軌清潔及上油螺桿滑軌清潔及上油 以下分別說明 XY 軸及 Z 軸螺桿滑軌保養方式: XY 軸螺桿滑軌保養 1. 將 Stage 移動到 X 軸行程最左方打開 X 軸右防塵護套，以無塵布將滾 珠螺桿與線性滑軌上的舊潤滑油拭去。 2. 將潤滑油塗抹至滾珠螺桿的螺牙內與滑軌兩側的滑槽內，正面只需塗抹少 量潤滑油即可。 3. 操作搖桿將 Stage 由行程最左方移動到最右方，使潤滑油均勻分佈。 4. 將 X 軸左防塵護套打開重覆步驟 1 3 對 X 軸螺桿另一半上潤滑油，完成 第一次的潤滑。 5. 再將 Stage 移動到左方，以無塵布將第一次的潤滑油拭去，再重覆步驟 1 至步驟 5 進行第二次潤滑。 6. 若進行第一次潤滑前滾珠螺桿與線性滑軌上舊有的油漬已變色，則必需重 覆多次潤滑動作，直到變色的油漬完全清除為止。 7. 重覆上述步驟對 Y 軸螺桿與線性滑軌進行潤滑及保養。 散熱風扇處 圖 5.2 XY 軸螺桿滑軌保養說明 Z 軸螺桿保養 1. 可先移除 Plat Form 上的 Edge Sensor、INK 或其他可能被 Chuck 碰撞的物 品。 2. 拆下 Chuck 和隔離盤，可看到 Z 軸螺桿，如圖 5.3 所示。 3. VACUUM Off,此時 Z 軸是降到最低位置 0，用無塵布將舊的潤滑油擦掉， 塗上潤滑油。 4. 更改 Z 軸高度 Base = 9 mm，小心注意 Z 軸上升 9mm 範圍內，是否可能 碰撞物件。VACUUM ON、Off，來回上下 20 次,使潤滑油均勻。潤滑完 成後，將 Z 軸高度更改回 Base 位置。 5. 裝回隔離盤和 Chuck，Chuck 鎖回螺絲時，因螺帽是固定在鐵弗龍上，請 勿太過用力，平均施力鎖上即可。 6. 保養完成後，請依照 3.1.2 Chuck 水平調整，並復原機台