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文档简介
1.第二章电阻应变传感器。1.电阻应变传感器的工作原理。1.电阻应变效应,导体,电阻相对变化:DL/L=:轴向应变,单位:微应变da/a=2dr/r=-2:-材料泊松比d/:电阻率相对变化,金属材料的应变敏感系数,系数:比例比,金属材料:金属材料的电阻应变效应主要是由于尺寸变化,辅以电阻率变化,康铜:0.3,C1 (12) 1.6c (1-2) 0.4,轴向力,拉伸/压缩,电阻变化,l,a,变化,2,半导体材料:比例,半导体应变半导体材料的电阻应变效应主要是由于压阻效应:极高的灵敏度:轴向应力e:弹性膜量k:压阻系数(压阻效应),ks=(50-80) km,2,电阻应变传感器结构,1-敏感栅:敏感元件,金属线/箔,电阻值超过100,康铜/硅,P442-衬底:保持敏感栅的形状、尺寸和位置,转移应变,胶水,薄0.02-0.04 mm3-引线:连接到敏感栅,镀锡铜线,钎焊使用时:基底的测量部分-转移应变,(a)导线型(b)箔型(c)半导体,3,(1)金属电阻应变片的结构和类型金属电阻应变片的基本结构如图3.1所示。它由覆盖层、敏感栅、衬底和引线组成。敏感栅格可以由金属线或金属箔制成,金属线或金属箔是转换元件并粘贴在基板上。用粘合剂粘贴在传感器弹性元件或测试件上的应变仪通过衬底将应变传递到敏感栅格,衬底充当绝缘体。覆盖层起到绝缘保护的作用。敏感栅两端焊接的引线用于连接测量引线。图3.1应变式电阻传感器1-敏感栅2-衬底3-引线4-覆盖层5-粘合剂4的结构原理示意图。目前,常用的金属电阻应变片主要包括线型应变片、箔型应变片、金属薄膜应变片等结构形式。金属丝应变片的敏感栅由金属丝缠绕而成。金属丝材料是具有大电阻率和小电阻温度系数的材料。线应变计的规格通常用可用面积(Lb)和敏感网格的电阻值来表示。电阻值通常在50-1000的范围内,通常使用120。箔式应变计是一种非常薄的金属网格,通过光刻、蚀刻等工艺制成,厚度为0.003-0.010毫米。它的优点是表面积与横截面积之比大,散热条件好,允许大电流通过,所需形状多样,便于大规模生产。金属薄膜应变仪通过真空溅射或真空沉积制成。它将可变形金属或合金直接沉积在弹性元件上,无需粘合剂。该应变片具有较好的性能和较高的灵敏度。薄膜是指厚度为0.1m或更小的金属膜。厚度约为25m的厚膜箔应变计是厚膜。(1)静态特性:灵敏度系数:传感器灵敏度系数,敏感门灵敏度系数?横向系数,横向效应系数,电阻变化率,灵敏度系数,传感器=敏感栅衬底盖的粘合引线,6,机械滞后:应变极限:非线性误差高达10%的应变值,过载能力,蠕变和零漂移:(2)动态特性:滞后,正弦响应:振幅减小,阶跃响应:振荡,粘附-过热/过载残余变形,预载/重复加载,未对准,内应力,滑移,固化,增加弹性膜量,粘附,7,4,电阻应变传感器的测量电路,功能:组成:(1) DC桥: u:电源电压U0:输出电压RL:负载电阻,初始状态:R1R3=R2
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