JJF 1806-2020微小孔径测量仪校准规范

中华人民共和国国家计量技术规范 JJF18062020 微小孔径测量仪校准规范 CalibrationSpecificationforMeasuringEquipment ofDiameterofMicroandSmallHole 2020-01-17发布 2020-04-17实施 国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发 布 中 华 人 民 共 和 国 国 家 计 量 技 术 规 范 微小孔径测量仪校准规范 JJF18062020 国家市场监督管理总局发布 * 中 国 标 准 出 版 社 出 版 发 行北京市朝阳区和平里西街甲 号 2 (100029) 北京市西城区三里河北街 号 16 (100045) 网址 : 服务热线 :400-168-0010 年 月第一版 2020 6 * 书号 :155066J-3682 版权专有 侵权必究 JJF18062020 微小孔径测量仪校准规范 CalibrationSpecificationforMeasuring JJF18062020 EquipmentofDiameterofMicroand SmallHole 归 口 单 位 全国几何量工程参量计量技术委员会 : 起 草 单 位 哈尔滨工业大学 : 黑龙江省计量检定测试院 本规范委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释 JJF18062020本规范起草人 : 谭久彬 哈尔滨工业大学 ( ) 崔继文 哈尔滨工业大学 ( ) 崔俊宁 哈尔滨工业大学 ( ) 刘文滨 黑龙江省计量检定测试院 ( ) JJF18062020 目 录 引言 () 范围1 (1) 引用文件2 (1) 术语和计量单位3 (1) 瞄准触发3.1 (1) 瞄准触发测量3.2 (1) 微小孔3.3 (1) 深径比3.4 (1) 尺寸桥3.5 (1) 概述4 (1) 计量特性5 (2) X Z 轴运动的直线度5.1 、 (2) X Z 轴运动的定位精度5.2 、 (2) Y 轴运动的最小有效位移5.3 (2) 重复性5.4 (3) 示值误差5.5 (3) 激光干涉仪5.6 (3) 校准条件6 (3) 环境条件6.1 (3) 测量标准及其他设备6.2 (3) 校准项目和校准方法7 (4) X Z 轴运动的直线度7.1 、 (4) X Z 轴运动的定位精度7.2 、 (5) Y 轴运动的最小有效位移7.3 (6) 重复性7.4 (6) 示值误差7.5 (6) 校准结果表达8 (6) 复校时间间隔9 (7)附录 微小孔径测量仪示值误差测量结果不确定度评定 A (8)附录 校准证书内容 B (13)附录 校准证书内页格式 C (14) JJF18062020 引 言 国家 计 量 校 准 规 范 编 写 规 则 通 用 计 量 术 语 及 定 义 JJF1071 、JJF1001 、 测量不确 定 度 评 定 与 表 示 坐 标 测 量 机 校 准 规JJF1059.12012 、JJF10642010 范 测量仪器特性评定 几何量测量设备校准中 、JJF10942001 、JJF11302005 的不确定度评定指南 共同构成支撑本校准规范制定的基础性系列规范 。 本规范为首次发布 。 JJF18062020 微小孔径测量仪校准规范1 范围 本规范适用于微小孔径测量仪的校准 该测量仪用于测量范围为 , (0.1 1)mm、深度不超过 深径比不大于 的微孔和测量范围为 深度不 3mm、 91 (1 20)mm、超过 深径比不大于 的小孔的测量 150mm、 131 。2 引用文件 本规范引用了下列文件 : 激光干涉仪 JJG7392005 坐标定位测量系统校准规范 JJF12512010 直线度误差检测 GB/T113362004 机床检验通则 第 部分 数控轴线的定位精度和重复定 GB/T17421.22016 2 :位精度的确定 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本规范 凡是不注日期的引用文 , ;件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本规范 , ( ) 。3 术语和计量单位 瞄准触发3.1 aimingandtriggering 传感器移动到测量方案所规定的指定位置时 发出 已瞄准 的信号 此信号启动 , “ ” ,测量仪的相关测量机构和部件开始或结束工作的过程 。 瞄准触发测量3.2 measurementwithaimingandtriggering 应用瞄准触发原理进行的测量 。 微小孔3.3 microandsmallhole 微孔和小孔的统称 微孔是指直径小于 的孔 小孔是指直径不小于 且 。 1mm , 1mm不大于 的孔 20mm 。 深径比3.4 aspectratio 孔的深度和直径的比值 。 尺寸桥3.5 gaugebridge 由量块按 型结构研合而成的标准尺寸体 U 。4 概述 微小孔径