半导体FAB生产厂房各个系统材料材质表

序序号号系系统统数数量量单单位位 设设计计院院推推荐荐材材料料 室室外外埋埋地地 2CentralCentral UtilitiesUtilities 中中央央工工艺艺 City Water(自來水) 大于或同50mm用钢丝网 骨架增强PE复合管（ PN=1MPa),小于50mm用 内筋嵌入式衬塑钢管（ 内衬PP-R，PN=1.25MPa ）卡环连接 PCW製程冷卻水系統) CDA(製程高壓空氣系統) Process Vacuum(製程真空系統) House Vacuum(2)(清潔真空系統)NA 冷却塔 中温冷水（12oC/18OC) 冷冻水（5oC/12oC)）（空调冰水主机） 热水（80o/70oC（锅炉） 排水用铸铁管，承插接 口 中温水（37oC/27OC) 天然气给锅炉无缝钢管 地埋燃油罐 3 3洁洁净净室室 Make-up Air(MUA)(新风) Supporting-Area(支援區) Recirculation（循环） 空调冷凝水排水PVC-U 重力流空调冷凝水回收 3ExhaustExhaust（排排风风） General(一般排氣) Acid(酸排氣) Solvent(溶劑排氣) 4UltraUltra PurePure WaterWater（超超高高纯纯净净水水） UPW超高纯净水 R.O UPW冷冻纯净水 Reclaim DI(回收系統) 5BulkBulk GasGas（大大众众气气体体） 气体站进纯化间管路（普通氮气） 气体站进纯化间管路（其它） General N2普通氮气 CDA Process N2(2+1) 纯净氮气 Process O2(1+1)纯净氧气 Process Ar Process H2(1+1)纯净氢气 Process He 6SpecialSpecial GasGas特特别别气气体体 Inert(惰性氣體) Corrosive(腐蝕性氣體) Flammable(揮發性氣體) Toxic(毒性氣體) 7ChemicalChemical化化学学物物品品 Acid(酸) Base(碱) 有机类 显影液 8WasteWaste WaterWater废废水水 Neutralization Fluoride Others Total 9DrainDrain SystemSystem排排废废系系统统 DR-R(回收)PP DR-W(一般酸鹼)PP DR-HF(濃)PP DR-DHF(稀)PP DR-S溶劑SS304 Total 10 CentralCentral MonitoringMonitoring & & ControlControl SystemSystem 中中央央检检测测及及控控制制系系统统 11OthersOthers其其他他 12FireFire FightingFighting SystemSystem消消防防系系统统 1室外消防栓 2室内消防栓 3消防喷淋 4灭火器 1414FireFire DetectionDetection SystemSystem消消防防报报警警系系 统统 1烟感应 2排烟 3Vesda System 消防空气检测系统 1515 CleanroomCleanroom ControlControl SystemSystem 洁洁净净室室 控控制制系系统统 1616ProductionProduction areaarea 生生产产区区 内内装装 二次钢结构吨 天花 1.2 x 1.2mm2 盲板m2 高架地板600 x 600mmm2 墙版m2 门及配件1800 x 2100个 门及配件1800 x 2100个 窗 密封胶m2 环氧树脂m2 风淋室个 暖暖通通 FFU 1.2 x 1.2m个 FFU 1.2 x 0.6m个 超高效过滤器1.2 x 1.2m个 超高效过滤器1.2 x 0.6m 新风机 干盘管（DCC）个 保温棉 热水保温 电电气气 设备配电箱 照明配电箱 桥架 控制桥架 IT桥架 防静电 控控制制 湿度控制器 温度控制器 控制阀 控制风阀 平衡阀 过滤风机 排烟 消消防防系系统统 消防栓箱及管道 空气采样管道 备备注注 室室外外 室室内内埋埋的的/ /穿穿墙墙/ /穿穿 楼楼板板 室室内内 PP-RPP-R SS304SS304 SS304SS304 干燥器前 SS304, 干燥器后 SS 304 Sch 80 UPVC Sch 80 UPVC NANANA 用焊接钢管及螺旋埋 弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋埋 弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋埋 弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋埋 弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋埋 弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋埋 弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋埋 弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋埋 弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋埋 弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋埋 弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋埋 弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋埋 弧焊钢管 排水用铸铁管，承插接口 用焊接钢管及螺旋埋 弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋埋 弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋埋 弧焊钢管 无缝钢管无缝钢管无缝钢管 用无缝钢管 镀锌铁皮镀锌铁皮 镀锌铁皮 镀锌铁皮 PVC-UPVC-UPVC-U PVC-UPVC-U 镀锌圆管 PP风管 SS304圆管 回水用PP-H，PN=1MPa 设设计计院院推推荐荐材材料料 到MAU加湿用Sch40 PVC Clean PVCClean PVCClean PVC Clean PVCClean PVCClean PVC SS304-AP SS304-BA SS304-APSS304-AP SS304-APSS304-AP SS316L-EPSS316L-EP SS316L-EPSS316L-EP SS316L-EPSS316L-EP SS316L-EPSS316L-EP SS316L-EPSS316L-EP SS316L-EPSS316L-EP SS316L-EPSS316L-EP SS316L-EPSS316L-EP SS316L-EPSS316L-EP PFA+透明PVC PFA+透明PVC SS316L-BA SS316L-BA PN=1MPa PN=1MPa PN=1MPa PPPPPPPN=1MPa PPPPPPPN=1MPa PPPPPPPN=1MPa PPPPPPPN=1MPa SS304SS304SS304PN=1MPa 双壁热镀锌管双壁热镀锌管 双壁热镀锌管双壁热镀锌管 小于100mm螺纹连接，大于 100mm卡环连接 双壁热镀锌管双壁热镀锌管 小于100mm螺纹连接，大于 100mm卡环连接 镀锌铁皮 ABS 系统要包括起管道及线 铝合金 12MM夹心彩钢板 压铸铝合金大于20%的开孔率