PE蝶阀与挡板阀的快速拆装_第1页
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文档简介

蝶阀与挡板阀的拆装真空泵真空管路图一PE主机台1. 炉管降温 在工控机操作界面中，将炉管温度由原来的450设置为200。2. 真空泵的吹扫2.1抽真空；将反应压力设为0，关掉N2输入，打开预抽，当压力小 于500时，关掉预抽，打开主抽，直到管内为真空状态（压力小于 40mtorr）；2.2设置N2输入为8000，反应压力为1700mtorr；2.3将真空泵的N2稀释阀调到最大约84.4pam3/S；吹扫至少进行 20min。 STOPN2稀释阀电源开关 冷却水图二 真空泵3. 关真空泵3.1点操作面板的stop，选择关闭真空泵（并非延时关闭）；3.2拉下真空泵的黑色电源开关，并且将真空泵的冷却水关掉，保持 真空泵的N2为打开状态。4. 工具的准备 一套开口扳手（主要使用7mm、12mm、13mm、14mm） 一套内六角（主要使用5mm） 小、大型一字螺丝刀各一把 一小桶酒精、扎带或胶带、无尘纸若干 一个吸尘器、一个插线排、一支记号笔、一个收纳盒。5. 技术资料 每个机台有四根管，每根管有单独的真空系统（第一、二管使用135短管与挡板阀、蝶阀连接呈倾斜状，如图三；第三、四管取消135短管呈垂直状，如图四。）彼此之间使用勾形夹连接。231 图三 倾斜连接 图四 垂直连接 蝶阀 挡板阀 135短管 6.拆装顺序图五 6.1将电磁阀下方的黑色塑料螺帽柠开，取下电磁阀端头；取下电磁阀左侧的两个黄色消声器，拆下真空气管（使用12、14的开口扳手）并用扎带或胶带将气管打折，防止气管冲击将人打伤。 6.2按蝶阀电源线、传感器线或通讯线的D型公插头以及地线的顺序依次拆除。 6.3短管与挡板阀连接处和短管与蝶阀连接处的勾形夹松开，取下蝶阀和挡板阀用酒精和无尘纸进行清理，取蝶阀与挡板阀时需两人配合，一人扶着，一人上下，左右来回晃动，不得暴力拆除。每拆除一管做相应的标记，以便于安装。清理时发现有密封圈损坏的要及时进行更换，以免重新安装会影响真空度与漏率。如果拆装的第一、二管，将135短管拆下，并把直管固定座松开，为了蝶阀与挡板阀安装的配合，即先将拆下来的135短管与蝶阀挡板阀进行组装，然后将三部分组装好的整体进行安装。安装时，先进行短管（炉门侧）与挡板阀的搭接，再通过调整真空管进行安装，最后将勾形夹和直管固定座的所有螺丝打紧，安装完成进行测漏。7现场整理 将工具放于工具箱内，其他器械放于指定区域，用过的无尘纸放于指定的垃圾桶内，清理的生成物用吸尘器清理，最后用酒精润湿的无尘纸清理机台和地面。8注意事项 8.1炉管必须降温，防止烫伤和发生火灾； 8.2拆除下的小物体放于收纳盒，防止丢失； 8.3安装时密封圈、管口进行沾有酒精的无尘纸清理，密封圈不得漏装和不装； 8.4不
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